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Efficient thermal analysis method for large scale compound semiconductor integrated circuits based on heterojunction bipolar transistor 被引量:1
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作者 Shi-Zheng Yang Hong-Liang Lv +3 位作者 Yu-Ming Zhang Yi-Men Zhang Bin Lu Si-Lu Yan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第10期598-606,共9页
In this paper, an efficient thermal analysis method is presented for large scale compound semiconductor integrated circuits based on a heterojunction bipolar transistor with considering the change of thermal conductiv... In this paper, an efficient thermal analysis method is presented for large scale compound semiconductor integrated circuits based on a heterojunction bipolar transistor with considering the change of thermal conductivity with temperature.The influence caused by the thermal conductivity can be equivalent to the increment of the local temperature surrounding the individual device. The junction temperature for each device can be efficiently calculated by the combination of the semianalytic temperature distribution function and the iteration of local temperature with high accuracy, providing a temperature distribution for a full chip. Applying this method to the InP frequency divider chip and the GaAs analog to digital converter chip, the computational results well agree with the results from the simulator COMSOL and the infrared thermal imager respectively. The proposed method can also be applied to thermal analysis in various kinds of semiconductor integrated circuits. 展开更多
关键词 thermal analysis temperature distribution iterative algorithm compound semiconductor inte-grated circuit
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半导体激光器驱动器的SPICE仿真及其在气体传感系统的应用
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作者 丛梦龙 周昆鹏 《现代电子技术》 北大核心 2024年第18期77-82,共6页
为了提高激光器的工作可靠性和稳定性,借助TINA-SPICE软件对其驱动电路进行辅助设计,并通过电调制和光电检测系统实验检验设计效果。对驱动器的恒流输出电路的幅频特性和瞬态响应进行仿真,预测潜在的电流振荡现象,并提出一种用于补偿环... 为了提高激光器的工作可靠性和稳定性,借助TINA-SPICE软件对其驱动电路进行辅助设计,并通过电调制和光电检测系统实验检验设计效果。对驱动器的恒流输出电路的幅频特性和瞬态响应进行仿真,预测潜在的电流振荡现象,并提出一种用于补偿环路增益的易用方案。通过对比补偿前后的仿真曲线,验证了该方案的可行性。在此基础上,以STM32H743作为中央处理核心,通过触摸屏图形化设置和监测驱动电流参数,从而调度激光器驱动电路的运行。在296 K环境温度下,利用该电路进行半导体激光器电调制特性实验,通过拟合波长与电流得到调制系数为0.045 cm-1/mA。进一步地,将该控制器引入基于红外光谱吸收技术的气体传感系统,完成了对甲烷气体的定量分析。分析结果表明,所设计的电路能稳定地驱动激光器并实现对波长的精准调制,获得的气体传感系统的检测下限低于8 ppm。 展开更多
关键词 半导体激光器 驱动电路 压控电流源 SPICE仿真 气体传感器 电调制 环路增益
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适用于SiC MOSFET的漏源电压积分自适应快速短路保护电路研究 被引量:1
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作者 李虹 胡肖飞 +1 位作者 王玉婷 曾洋斌 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期1542-1552,I0024,共12页
SiC MOSFET因其高击穿电压、高开关速度、低导通损耗等性能优势而被广泛应用于各类电力电子变换器中。然而,由于其短路耐受时间仅为2~7μs,且随母线电压升高而缩短,快速可靠的短路保护电路已成为其推广应用的关键技术之一。为应对不同... SiC MOSFET因其高击穿电压、高开关速度、低导通损耗等性能优势而被广泛应用于各类电力电子变换器中。然而,由于其短路耐受时间仅为2~7μs,且随母线电压升高而缩短,快速可靠的短路保护电路已成为其推广应用的关键技术之一。为应对不同母线电压下的Si C MOSFET短路故障,文中提出一种基于漏源电压积分的自适应快速短路保护方法(drain-sourcevoltageintegration-basedadaptivefast short-circuit protection method,DSVI-AFSCPM),研究所提出的DSVI-AFSCPM在硬开关短路(hardswitchingfault,HSF)和负载短路(fault under load,FUL)条件下的保护性能,进而研究不同母线电压对DSVI-AFSCPM的作用机理。同时,探究Si CMOSFET工作温度对其响应速度的影响。最后,搭建实验平台,对所提出的DSVI-AFSCPM在发生硬开关短路和负载短路时不同母线电压、不同工作温度下的保护性能进行实验测试。实验结果表明,所提出的DSVI-AFSCPM在不同母线电压下具有良好的保护速度自适应性,即母线电压越高,短路保护速度越快,并且其响应速度受Si CMOSFET工作温度影响较小,两种短路工况下工作温度从25℃变化到125℃,短路保护时间变化不超过90 ns。因此,该文为Si CMOSFET在不同母线电压下的可靠使用提供一定技术支撑。 展开更多
关键词 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 短路保护 漏源电压积分 母线电压 自适应
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雪崩晶体管电压斜坡触发模式下终端失效机理研究 被引量:1
4
作者 温凯俊 梁琳 陈晗 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期220-226,共7页
随着超宽带脉冲信号系统在新能源汽车智能化感知技术等许多重要领域的应用,高幅值、快前沿脉冲源的研发得到了广泛研究。针对纳秒级前沿脉冲对超快功率半导体开关的需求,进行了雪崩晶体管在电压斜坡触发模式下终端失效机理的研究。利用... 随着超宽带脉冲信号系统在新能源汽车智能化感知技术等许多重要领域的应用,高幅值、快前沿脉冲源的研发得到了广泛研究。针对纳秒级前沿脉冲对超快功率半导体开关的需求,进行了雪崩晶体管在电压斜坡触发模式下终端失效机理的研究。利用仿真模型的静态特性与器件样品进行对比分析,测试了器件样品的动态开通特性。在成功得到纳秒级开通速度器件的基础上,对器件在电压斜坡触发模式下出现的失效现象进行了分析。 展开更多
关键词 雪崩晶体管 二次击穿 半导体器件建模 MARX电路 失效分析
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基于WMS的可调谐半导体激光器驱动与温控电路设计
5
作者 彭燕 矫雷子 +2 位作者 郑培超 董大明 邢振 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第7期29-35,共7页
针对可调谐半导体激光器工作时,其工作电流和工作温度的波动导致激光器的输出的波长和功率不能保持恒定的问题,设计了一套基于STM32F407为主控芯片联合FPGA的半导体激光器小型化驱动与温控电路。通过与上位机交互,系统可实现激光器驱动... 针对可调谐半导体激光器工作时,其工作电流和工作温度的波动导致激光器的输出的波长和功率不能保持恒定的问题,设计了一套基于STM32F407为主控芯片联合FPGA的半导体激光器小型化驱动与温控电路。通过与上位机交互,系统可实现激光器驱动电流和工作温度的连续可调,使半导体激光器的输出光的波长在最佳的范围内。经过测试,系统的驱动模块电流稳定度为0.075%,电流的实际值与理论值之间的相对误差平均值为0.538%;温度电路的稳定度在0.03℃,完全满足实际应用需求。 展开更多
关键词 FPGA STM32F407 激光器驱动电路 可调谐半导体激光器
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微光栅加速度计温度控制研究
6
作者 周陆强 杨波 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期9-16,25,共9页
微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点,但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性,提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理,分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯... 微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点,但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性,提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理,分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯片的温度特性对其造成的影响。针对加速度计设计了温控电路,对其搭载两级内外温控系统,使其工作温度保持恒定,最后对该系统进行了实验测试。实验结果表明:在该温控系统下,加速度计的工作温度控制精度可达±0.02℃。对于加速度计的噪声性能而言,在0.01~10 Hz频段,相较于未加温控系统的加速度计,整体信噪比提高了20 dB。 展开更多
关键词 微光栅 加速度计 两级温度控制 温控电路 半导体激光器
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Modeling analysis and optimization design of the thermostatical control system of laser instrument of the semiconductor 被引量:11
7
作者 张新义 张建军 《微计算机信息》 北大核心 2008年第1期268-270,共3页
Influence produced by the heat effect at work of the laser instrument crystal of the semiconductor, the text designs a kind of temperature control system to the crystal of the laser instrument, using the thought and m... Influence produced by the heat effect at work of the laser instrument crystal of the semiconductor, the text designs a kind of temperature control system to the crystal of the laser instrument, using the thought and method of the classical control theory to analyze this temperature control system, and establishes mathematics model. According to mathematics model the text demonstrated the system at S field and time- area, and proposed optimizing basis to the total mark of proportion and differential parameter to con- troller PID, thus proposed a kind of temperature control scheme. And the thermostatically system is simulated by MATLAB. 展开更多
关键词 激光器 半导体制冷器 PID控制电路
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用于射频能量收集的低阈值CMOS整流电路设计
8
作者 徐雷钧 孙鑫 +1 位作者 白雪 陈建锋 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第4期365-372,共8页
基于TSMC 180 nm工艺,设计了一款高效率低阈值整流电路。在传统差分输入交叉耦合整流电路的基础上,提出源极与衬底之间增加双PMOS对称辅助晶体管配合缓冲电容的改进结构,对整流晶体管进行阈值补偿。有效缓解了MOS管的衬底偏置效应,降低... 基于TSMC 180 nm工艺,设计了一款高效率低阈值整流电路。在传统差分输入交叉耦合整流电路的基础上,提出源极与衬底之间增加双PMOS对称辅助晶体管配合缓冲电容的改进结构,对整流晶体管进行阈值补偿。有效缓解了MOS管的衬底偏置效应,降低了整流电路的开启阈值电压,针对较低输入信号功率,提高了整流电路的功率转换效率(PCE)。同时将低阈值整流电路三级级联以提高输出电压。测试结果显示,在输入信号功率为-14 dBm@915 MHz时,三级级联低阈值整流电路实现了升压功能,能稳定输出1.2 V电压,峰值PCE约为71.32%。相较于传统结构,该低阈值整流电路更适合用于射频能量收集。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体(CMOS) 射频能量收集 低阈值电压 RF-DC整流电路 差分输入交叉耦合整流电路
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银基合金靶材研究现状及发展趋势
9
作者 高洋 廖锋尧 +2 位作者 李强 柳春锡 葛春桥 《材料研究与应用》 CAS 2024年第5期685-694,共10页
银及银合金靶材是新型显示与半导体集成电路中重要的电子材料之一,但其制备技术在我国未能实现产业化。近年来,随着我国新型显示技术及半导体集成电路领域的快速发展,银合金靶材的市场需求总量及经济价值也在持续快速增长,相关产业化进... 银及银合金靶材是新型显示与半导体集成电路中重要的电子材料之一,但其制备技术在我国未能实现产业化。近年来,随着我国新型显示技术及半导体集成电路领域的快速发展,银合金靶材的市场需求总量及经济价值也在持续快速增长,相关产业化进程也在逐渐加快。为此,从银合金靶材的制备技术、专利现状、应用前景及市场概况等方面进行综合评述。针对银合金靶材制备过程中原料提纯、微合金化等关键技术的工艺原理及靶材微观组织调控方法进行分析讨论。阐述了银合金靶材制备工艺流程及微观组织形貌、晶体学取向调控的作用机制和其对合金薄膜性能的影响,提出了目前我国在银合金靶材制备领域的主要问题。此外,针对银与银合金薄膜在实际应用过程中不耐氧化、硫化和耐气候性差的特点,对国内外申请的专利进行了归纳,重点分析了微合金化过程中In、Pd、Cu、Sc、Sn等元素添加对靶材抗氧化、抗硫化、耐气候性的性能的影响及作用机理,为研发新型组分的银合金靶材提供了借鉴。最后,从市场规模及技术发展方向等方面对现阶段我国银合金靶材的研究进展进行了总结,提出了微合金化及组织优化仍是未来银合金靶材新产品开发的主要方向,指出了产业链的健全及多领域的协同联动不足是当前银合金行业发展面临的主要困难和挑战。 展开更多
关键词 半导体集成电路 银合金 微合金化 溅射靶材 抗氧化 抗硫化 耐气候性 专利分析
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10 kV与20 kV系统在半导体项目上的设计要点分析
10
作者 李伟杰 《电子工业专用设备》 2024年第2期20-26,共7页
半导体作为国家目前发展的重点,新建了很多200 mm(8英寸)和300 mm(12英寸)的半导体项目,而半导体项目自身又具有高用电需求的特点,所以针对10 kV和20 kV不同电压等级对技术要点进行分析和研究是十分必要。分别对10 kV和20 kV的电力系统... 半导体作为国家目前发展的重点,新建了很多200 mm(8英寸)和300 mm(12英寸)的半导体项目,而半导体项目自身又具有高用电需求的特点,所以针对10 kV和20 kV不同电压等级对技术要点进行分析和研究是十分必要。分别对10 kV和20 kV的电力系统方案进行分析,并对短路电流计算进行理论试算,归纳所对应的设备选型所对应参数,并结合实际案例分析比较所对应的站房需求和结构柱网型式,最终得出两种电压等级下所对应的设计要点,为其他设计人员在后续设计中提供借鉴。 展开更多
关键词 电压等级 半导体 短路电流 设计要点
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基于STM32的半导体激光器驱动电路设计
11
作者 胡乐 《今日自动化》 2024年第9期45-46,143,共3页
文章对基于STM32的半导体激光器驱动电路进行设计,介绍了半导体激光器的基本原理和应用场景,分析了现有驱动电路设计存在的问题,提出了一种基于STM32的新型驱动电路设计方案。在设计过程中,充分考虑了电路的稳定性、可靠性。结果表明,... 文章对基于STM32的半导体激光器驱动电路进行设计,介绍了半导体激光器的基本原理和应用场景,分析了现有驱动电路设计存在的问题,提出了一种基于STM32的新型驱动电路设计方案。在设计过程中,充分考虑了电路的稳定性、可靠性。结果表明,该驱动电路设计能够有效控制激光器的输出功率和频率,且具有较高的稳定性和可调性。 展开更多
关键词 STM32 半导体激光器 驱动电路 控制 精确控制
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200 V全碳化硅集成技术
12
作者 顾勇 马杰 +5 位作者 刘奥 黄润华 刘斯扬 柏松 张龙 孙伟锋 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期2183-2189,共7页
本文提出了一种基于N衬底P外延晶圆的全碳化硅(Silicon Carbide,SiC)集成工艺平台,该工艺平台兼容低压互补金属氧化物半导体场效应晶体管(Complementary Metal Oxide Semiconductor field-effect transistor,CMOS)、横向扩散金属氧化物... 本文提出了一种基于N衬底P外延晶圆的全碳化硅(Silicon Carbide,SiC)集成工艺平台,该工艺平台兼容低压互补金属氧化物半导体场效应晶体管(Complementary Metal Oxide Semiconductor field-effect transistor,CMOS)、横向扩散金属氧化物半导体(Laterally-Diffused MOS,LDMOS)以及高压二极管等器件.采用P型缓冲层技术调节器件垂直方向电场分布,使高压器件垂直方向耐受电压提高212.4%;在1μm厚度的P型缓冲层和1μm厚度的P型外延层上,实现LDMOS、高压二级管和高侧区域耐受电压大于300 V.基于该工艺平台,搭建了SiC CMOS反相器和反相器链电路,均实现了0~20 V轨至轨的电压输出;设计了半桥驱动电路,低压侧驱动电路由四阶反相器构成;高压侧驱动电路由电平移位电路和高侧区域反相器链电路组成,实现了180~200 V浮空栅极驱动信号输出. 展开更多
关键词 碳化硅(SiC) 集成 碳化硅集成电路 碳化硅反相器 碳化硅横向扩散金属氧化物半导体
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集成电路器件的可靠性测试与失效分析
13
作者 张大为 《集成电路应用》 2024年第8期33-35,共3页
阐述可靠性测试和失效分析能够确保半导体产品质量和延长使用寿命。通过对早期故障的老化识别筛选,到偶然失效期的故障率预测和耗损失效期的综合分析,探讨半导体集成电路器件的可靠性测试及其在产品生命周期中不同阶段的应用。
关键词 集成电路 半导体器件 老化测试 可靠性测试 可靠度函数 累积失效概率
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功率MOSFET在永磁同步电机控制中的影响和分析
14
作者 田朝阳 朱德明 +1 位作者 王兴理 佟月伟 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2024年第3期82-86,共5页
在现代雷达控制系统中,伺服系统的转速稳定性和定点精度,直接影响到最终成像品质。文中针对伺服系统常用的永磁同步电机控制器中的功率器件金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)展开研究,主要分析了MOSFET的米勒效应,介绍了MOSFET的... 在现代雷达控制系统中,伺服系统的转速稳定性和定点精度,直接影响到最终成像品质。文中针对伺服系统常用的永磁同步电机控制器中的功率器件金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)展开研究,主要分析了MOSFET的米勒效应,介绍了MOSFET的电路模型和开通过程,分析了米勒平台电压的振荡原因和米勒效应对驱动电路的危害,并设计两种优化电路来抑制米勒效应。理论分析和实验结果表明,经过改进的驱动电路有效抑制了米勒效应产生的栅源脉冲电压尖峰。所设计电路已应用于20 kHz/1 kW永磁同步电机驱动器,有效提升了雷达伺服系统的环境适应性和稳定性。 展开更多
关键词 金属-氧化物半导体场效应晶体管 米勒效应 电机控制 驱动电路
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半导体设备中的晶圆搬运机械手应用综述
15
作者 吴天尧 《集成电路应用》 2024年第3期66-67,共2页
阐述智能化半导体设备中的晶圆搬运机械手面临着环境适应性、安全性和可靠性,以及数据管理和集成等挑战。解决这些挑战,才能更好地适应复杂的制造环境,实现数据的高效管理和无缝集成。
关键词 集成电路制造 智能化半导体设备 晶圆搬运机械手
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一种改进型抑制SiC MOSFET桥臂串扰的门极驱动设计
16
作者 李庆辉 潘三博 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第5期300-308,共9页
针对传统驱动中SiC MOSFET在高开关频率下其寄生参数造成的桥臂串扰更加严重,而现有抑制串扰驱动电路多以增加开关损耗、增长开关延时和增加控制复杂度为代价的问题,根据降低串扰产生过程中驱动回路阻抗的思路,提出1种在栅源极间增加PN... 针对传统驱动中SiC MOSFET在高开关频率下其寄生参数造成的桥臂串扰更加严重,而现有抑制串扰驱动电路多以增加开关损耗、增长开关延时和增加控制复杂度为代价的问题,根据降低串扰产生过程中驱动回路阻抗的思路,提出1种在栅源极间增加PNP三极管串联二极管和电容的新型有源米勒钳位门极驱动设计,分析其工作原理,并对改进驱动电路并联电容参数进行计算设计;搭建直流母线电压为300 V的同步Buck变换器双脉冲测试实验平台,分别与传统串扰抑制电路、典型串扰抑制电路的正负向串扰电压尖峰抑制效果和开通关断速度进行对比分析。实验结果表明,所提串扰抑制驱动电路正负向电压尖峰分别比传统和典型串扰抑制电路降低了80%和40%,同时减少了32%的器件开关延时。 展开更多
关键词 SiC MOSFET 串扰抑制 桥式电路 栅极驱动电路
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Multifunctional silicon-based light emitting device in standard complementary metal oxide semiconductor technology 被引量:2
17
作者 王伟 黄北举 +1 位作者 董赞 陈弘达 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期677-683,共7页
A three-terminal silicon-based light emitting device is proposed and fabricated in standard 0.35 μm complementary metal-oxide-semiconductor technology. This device is capable of versatile working modes: it can emit ... A three-terminal silicon-based light emitting device is proposed and fabricated in standard 0.35 μm complementary metal-oxide-semiconductor technology. This device is capable of versatile working modes: it can emit visible to near infra-red (NIR) light (the spectrum ranges from 500 nm to 1000 nm) in reverse bias avalanche breakdown mode with working voltage between 8.35 V-12 V and emit NIR light (the spectrum ranges from 900 nm to 1300 nm) in the forward injection mode with working voltage below 2 V. An apparent modulation effect on the light intensity from the polysilicon gate is observed in the forward injection mode. Furthermore, when the gate oxide is broken down, NIR light is emitted from the polysilicon/oxide/silicon structure. Optoelectronic characteristics of the device working in different modes are measured and compared. The mechanisms behind these different emissions are explored. 展开更多
关键词 optoelectronic integrated circuit complementary metal-oxide-semiconductor technology silicon-based light emitting device ELECTROLUMINESCENCE
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新阶段全球半导体供应链重构及其思考 被引量:3
18
作者 何明珂 《北京工商大学学报(社会科学版)》 CSSCI 北大核心 2023年第1期62-76,共15页
半导体攸关国家安危,百年未有之大变局中的诸多因素诱发第四次全球半导体供应链重构。梳理了前三次全球半导体供应链重构的过程,并基于系统动力学、演化经济学等理论构建了产品—企业—区域—全球(PERG)分析框架,探讨了第四次全球半导... 半导体攸关国家安危,百年未有之大变局中的诸多因素诱发第四次全球半导体供应链重构。梳理了前三次全球半导体供应链重构的过程,并基于系统动力学、演化经济学等理论构建了产品—企业—区域—全球(PERG)分析框架,探讨了第四次全球半导体供应链重构的原因及趋势。虽然中国内地半导体产品和企业实力与美欧日韩及中国台湾地区具有很大差距,但全球影响力已上升为全球第二梯队。第四次全球半导体供应链重构由美国主导,但中国内地将成为第四次全球半导体供应链重构的核心力量。中国内地应做好半导体产业发展的长期规划,发挥新型举国体制和现代市场机制的作用,从PERG四个方面全面发力提升自身实力,稳定半导体领域外资和台资,持续推动本土替代,深度嵌入美欧日韩及中国台湾地区的全球半导体供应链。 展开更多
关键词 全球供应链重构 半导体/芯片/集成电路 科技革命 产业变革 卡脖子
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Progress in Antimonide Based III-V Compound Semiconductors and Devices 被引量:1
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作者 Chao Liu Yanbo Li Yiping Zeng 《Engineering(科研)》 2010年第8期617-624,共8页
In recent years, the narrow bandgap antimonide based compound semiconductors (ABCS) are widely regarded as the first candidate materials for fabrication of the third generation infrared photon detectors and integrated... In recent years, the narrow bandgap antimonide based compound semiconductors (ABCS) are widely regarded as the first candidate materials for fabrication of the third generation infrared photon detectors and integrated circuits with ultra-high speed and ultra-low power consumption. Due to their unique bandgap structure and physical properties, it makes a vast space to develop various novel devices, and becomes a hot research area in many developed countries such as USA, Japan, Germany and Israel etc. Research progress in the preparation and application of ABCS materials, existing problems and some latest results are briefly introduced. 展开更多
关键词 ANTIMONIDE BASED COMPOUND semiconductorS (ABCS) IR Laser IR DETECTOR Integrated circuit Functional Device
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高温SiC器件及其集成电路在空间电子领域应用展望 被引量:1
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作者 贺永宁 赵小龙 崔万照 《空间电子技术》 2023年第2期1-7,共7页
金星、火星等行星空间探索对航天器电子学系统耐高温、抗辐照、抗腐蚀性等提出了严峻挑战。极低温电子学和高温电子学是近年来深空探索中的强烈需求。文章主要阐述高温SiC集成电路的起源,数字、模拟和功率IC的发展历程和研究现状。重点... 金星、火星等行星空间探索对航天器电子学系统耐高温、抗辐照、抗腐蚀性等提出了严峻挑战。极低温电子学和高温电子学是近年来深空探索中的强烈需求。文章主要阐述高温SiC集成电路的起源,数字、模拟和功率IC的发展历程和研究现状。重点综述分析了高温SiC集成电路设计方法和流片验证的两条技术途径:首先,基于多层外延制造工艺的BJT器件单元及其双极集成电路;其次,基于离子注入掺杂工艺的互补单元及其CMOS集成电路。在此基础上还进一步介绍了高温SiC传感芯片、BCD功率IC及功率模块的应用可靠性验证。目前国际研究现状展示了SiC BJT和CMOS IC研制中大学学术界和半导体企业界的协同创新格局。最后展望了其在深空探索中的潜在应用及其面临的挑战性。本综述对国内研制空间环境用宽禁带半导体SiC高温集成电路及其电子学系统具有借鉴价值。 展开更多
关键词 极端环境电子学 SiC宽禁带半导体 高温集成电路 深空探索
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