半导体生产线全局修正式重调度方法研究

基于群体智能思想,提出了全局修正式半导体生产线重调度方法。首先,给出了基于群体智能思想的重调度模型;然后,在此模型基础上,给出了全局修正式重调度算法;最后,基于实际生产线的仿真模型对全局修正式重调度算法与企业原有算法进行了对比分析。仿真结果表明,在不确定的半导体生产线环境下,在适当的时候使用全局修正式重调度算法生成重调度方案,能够更好地优化模型的在制品移动次数、在制品移动速率与工件操作准时交货率等短期性能指标。目前,该方法已在某实际半导体生产线中应用并取得了良好的效果。

半导体生产线群体智能调度模型研究

模仿蚁群生态系统 ,提出了半导体生产线群体智能调度模型。该调度模型由集中优化控制MAS(C -MAS)与分布式动态控制人工蚁群MAS(D -MAS)构成 ,实现了优化控制与动态调度的优势互补。其中 ,C -MAS主要由仿真Agent与调度Agent构成 ;D -MAS由一个蚁后Agent和代表半导体生产线物理实体的多个工件蚂蚁Agent与多个资源蚂蚁Agent构成 ,蚂蚁Agent通过基于信息素的间接交互实现半导体生产线的动态调度 ,蚁后Agent用于实现C -MAS与D -MAS的紧密协作 ,从而获得半导体生产线优化的动态智能调度。给出了基于群体智能调度模型的智能动态调度算法 。

基于CBR的半导体生产线组合调度策略研究

将调度策略及其作用于具体生产模型时得到的生产性能指标作为调度实例存储到实例库中,利用CBR方法找到与新的调度要求最相似的几个实例,并把这些相似实例所采用的调度规则按不同的权重进行组合后运用于该模型,以达到优化生产性能指标的目的。具体调度实例是对SRPT、LPT及SPT3种调度策略进行组合,仿真结果显示,相对于3种调度策略中的一种来说,组合调度策略作用下的平均加工周期及其方差得到了一定程度的优化。

基于遗传算法的半导体生产线调度方法研究

在介绍遗传算法及其在流水车间调度(flowshop)应用现状的基础上,针对半导体生产线可重入的特性,研究了基于遗传算法的半导体生产线调度算法,并用一个例子给出了算法的计算过程。

浅析半导体硅片行业废水处理工程

近年来国内半导体产业发展态势良好,硅片生产规模不断扩大,但随之出现的就是废水排放及处理问题。文中以300 mm硅片生产废水处理工程为例,根据工程概况,阐述含氟废水、CMP废水、含铜废水的处理工艺,并以此为基础提出改进建议。

晶圆厂信息控制系统介绍

信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一。介绍了65nm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构。