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半导体行业中超纯水的质控
被引量:
3
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作者
万明球
《电子工业专用设备》
2004年第5期35-36,39,共3页
USP(《美国药典》)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMulti模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求。
关键词
USP
超纯水
电导率
sevenmulti
下载PDF
职称材料
题名
半导体行业中超纯水的质控
被引量:
3
1
作者
万明球
机构
梅特勒-托利多仪器(上海)有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2004年第5期35-36,39,共3页
文摘
USP(《美国药典》)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMulti模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求。
关键词
USP
超纯水
电导率
sevenmulti
Keywords
USP
Ultra pure water
Conductivity
sevenmulti
分类号
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
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1
半导体行业中超纯水的质控
万明球
《电子工业专用设备》
2004
3
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