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半导体行业中超纯水的质控 被引量:3
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作者 万明球 《电子工业专用设备》 2004年第5期35-36,39,共3页
USP(《美国药典》)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMulti模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求。
关键词 USP 超纯水 电导率 sevenmulti
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