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光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 被引量:8
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作者 齐克奇 向阳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1518-1524,共7页
根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理,为了满足可见光原理样机对球面波的需求,设计了一种具有大行程、高精度、可自锁等优点的球面波发生装置。该球面波是通过针孔衍射的方法产生的。装置在结构上采用了二自由度串联柔性机构,并... 根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理,为了满足可见光原理样机对球面波的需求,设计了一种具有大行程、高精度、可自锁等优点的球面波发生装置。该球面波是通过针孔衍射的方法产生的。装置在结构上采用了二自由度串联柔性机构,并通过一种特殊的压电驱动器进行驱动。通过有限元方法对球面波发生装置在受力状态下的变形情况进行了仿真,分析结果确认了驱动器的驱动力满足要求,并对结构进行了模态分析。经实验测量,得出了该球面波发生装置的位移分辨率,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。 展开更多
关键词 光刻物镜 波像差 剪切干涉 针孔 有限元方法
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显微物镜数字剪切波面像差评价仪
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作者 白剑 程上彝 +1 位作者 刘承 杨国光 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期285-288,296,共5页
本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ... 本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ/20。 展开更多
关键词 剪切波面 有限元 显微镜 像质评价仪
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基于半无限单元的改进剪切质点系法及其应用
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作者 邓亚虹 夏唐代 +1 位作者 薛捷 孙振峰 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2015年第4期131-134,共4页
基于水平层状场地自振频率的一致质量剪切质点系法基本原理,考虑传统剪切质点系法刚性半空间假设对计算结果的影响.引入半无限单元,发展和建立可考虑半空间弹性的改进剪切质点系法.以改进剪切质点系法分析传统半空间刚性假设对场地自振... 基于水平层状场地自振频率的一致质量剪切质点系法基本原理,考虑传统剪切质点系法刚性半空间假设对计算结果的影响.引入半无限单元,发展和建立可考虑半空间弹性的改进剪切质点系法.以改进剪切质点系法分析传统半空间刚性假设对场地自振频率计算结果的影响.分析表明,半空间刚性假设引起的计算误差随着剪模比、覆盖层厚度及半无限单元衰减系数的增大而减小.对于一般实际场地,在剪模比和覆盖层厚度不是很小的情况下,采用传统刚性假设剪切质点系法计算场地自振频率亦可获得比较满意的精度. 展开更多
关键词 层状场地 自振频率 剪切质点系法 弹性半空间 半无限单元
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剪力墙—地基体系自振特性的影响参数分析
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作者 丁春林 王园园 《上海铁道大学学报》 CAS 1998年第8期14-19,53,共7页
应用有限元—无界元耦合法分析了剪力墙—地基体系的自振特性,阐述了剪力墙—地基体系的力学模型的建立,推导了无界元的单元刚度矩阵,编制了相应的计算程序DYFEM。通过若干算例的计算,分析了地基土弹性模量、墙体埋深、墙体与... 应用有限元—无界元耦合法分析了剪力墙—地基体系的自振特性,阐述了剪力墙—地基体系的力学模型的建立,推导了无界元的单元刚度矩阵,编制了相应的计算程序DYFEM。通过若干算例的计算,分析了地基土弹性模量、墙体埋深、墙体与地基接触面宽度以及层土特性对体系自振特性的影响。 展开更多
关键词 剪力墙 地基 有限元 无界元 自振特性
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预应力型钢混凝土梁-钢管混凝土叠合柱框架中节点受剪性能分析 被引量:12
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作者 王琨 查志远 +1 位作者 刘宏潮 陈再现 《工程力学》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期89-101,共13页
基于ABAQUS平台,建立了预应力型钢混凝土梁-钢管混凝土叠合柱框架中节点精细化数值有限元模型,计算得到了柱顶水平荷载-位移滞回和单调加载曲线。在对比计算单调加载和实测滞回曲线基础上,研究了节点在柱顶水平荷载下的破坏全过程,细致... 基于ABAQUS平台,建立了预应力型钢混凝土梁-钢管混凝土叠合柱框架中节点精细化数值有限元模型,计算得到了柱顶水平荷载-位移滞回和单调加载曲线。在对比计算单调加载和实测滞回曲线基础上,研究了节点在柱顶水平荷载下的破坏全过程,细致考察了框架中节点的混凝土、型钢骨架、钢筋骨架以及预应力筋的应力状态,探讨了此类框架节点的破坏机理;基于参数分析结果,研究了轴压比、预应力度、核心区钢管配钢率和配箍率对节点柱顶水平荷载-位移曲线和核心区剪力-剪切变形的影响,提出了节点核心区受剪承载力计算公式。研究结果表明,当节点试件水平荷载达到峰值点时,核心区钢管、箍筋及预应力筋均达到屈服,核心区混凝土被压碎,此时可作为节点核心区抗剪承载力计算的标志;提出的节点核心区的抗剪承载力计算公式,可供工程设计参考。 展开更多
关键词 预应力型钢混凝土梁 钢管混凝土叠合柱 框架节点 受剪性能 有限元模型
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细胞三维模型的有限元分析 被引量:3
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作者 程琴 邓林红 《贵州农业科学》 CAS 北大核心 2009年第6期33-35,共3页
在有限元分析方法平台下,建立一个受剪切力作用的三维细胞模型,此模型由细胞膜、细胞质和细胞核构成,其中细胞膜为线弹性材料,细胞质与细胞核为粘弹性。计算结果显示,细胞内部细胞核下沿处的应力最大,最大位移发生于细胞顶部,从时间-应... 在有限元分析方法平台下,建立一个受剪切力作用的三维细胞模型,此模型由细胞膜、细胞质和细胞核构成,其中细胞膜为线弹性材料,细胞质与细胞核为粘弹性。计算结果显示,细胞内部细胞核下沿处的应力最大,最大位移发生于细胞顶部,从时间-应力曲线上看出,细胞核与细胞质发生了应力松弛。 展开更多
关键词 细胞模型 三维模型 剪切力 有限元
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框剪结构与地基动力相互作用分析
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作者 康仲山 王克成 《建筑结构》 CSCD 北大核心 1997年第11期40-44,共5页
本文首次将模拟地基的映射动力无穷元与有限元耦合模型应用于框剪结构-地基系统的动力相互作用分析中.分析了E_g/E_s,H/L等参数对上述动力耦合系统相互作用的影响,得出了一些有益的结论.
关键词 土动力学 框剪结构 地基 耦合 动力相互作用
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