射频/微波MEMS Shunt开关的开启时间研究

本文描述了射频 /微波MEMSshunt开关的理论模型和数值结论 .把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动 .给出了典型MEMSshunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值 .根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同 ,得到了典型的MEMSshunt开关的开启时间大约为 1～ 40μs.其计算值同文献 [4 ]的值相符得很好 .本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性 .