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电感耦合等离子体原子发射光谱法测定Si-B-C-N陶瓷材料中的硅和硼 被引量:1
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作者 刘悦婷 刘亮 +1 位作者 徐林 卢鹉 《化学分析计量》 CAS 2023年第7期7-11,共5页
建立了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定Si-B-C-N陶瓷材料中硅和硼元素含量的方法。将SiB-C-N陶瓷材料粉碎过孔径为75μm(200目)的筛并于160℃烘干1 h,称取50 mg样品,置于镍坩埚中,加入1.5 g氢氧化钾,以650℃高温熔融,冷却后用... 建立了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定Si-B-C-N陶瓷材料中硅和硼元素含量的方法。将SiB-C-N陶瓷材料粉碎过孔径为75μm(200目)的筛并于160℃烘干1 h,称取50 mg样品,置于镍坩埚中,加入1.5 g氢氧化钾,以650℃高温熔融,冷却后用稀硝酸浸取熔融物,用水定容至200 mL。采用Burgener雾化器提高雾化效率,以钾盐进行基体匹配,以元素钇作为内标进行定量。硅(硼)的质量浓度与硅(硼)元素和内标元素的谱线强度比具有良好的线性关系,硅元素的检出限为0.0004 mg/mL,硼元素的检出限为0.00006 mg/mL。硅、硼元素测定结果的相对标准偏差均不大于1.0%(n=6),实际样品加标回收率为95.1%~97.1%。该方法硅、硼的测定结果与GJB 1679A—2008《高硅氧玻璃纤维纱规范》中二氧化硅含量测试方法和JB/T 7993—1999《碳化硼化学分析方法》中总硼含量的测试方法的测定结果一致。该方法适用于批量样品的检测。 展开更多
关键词 硅硼碳氮陶瓷产品 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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Si/C/N纳米粉体的吸波特性研究 被引量:20
2
作者 焦桓 罗发 周万城 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期595-598,共4页
采用XRD研究了氮原子百分含量为11.61%的Si/C/N纳米粉体的相组成,并测定了粉体介电常数根据介电常数,分别优化设计了单层和双层的吸波涂层,设计的吸波涂层对8~18GHz范围的电磁波有较好的吸收作用.设计厚度为2.7mm的单层吸波涂层,在8~1... 采用XRD研究了氮原子百分含量为11.61%的Si/C/N纳米粉体的相组成,并测定了粉体介电常数根据介电常数,分别优化设计了单层和双层的吸波涂层,设计的吸波涂层对8~18GHz范围的电磁波有较好的吸收作用.设计厚度为2.7mm的单层吸波涂层,在8~15GHz范围内反射率<-5dB.设计厚度为2.8mm的双层吸波涂层,在8~18GHz频率范围内电磁波的反射率均<-5dB,反射率<-8dB的频带为6GHz.针对纳米粉体的吸波特性,提出了Si/C/N纳米粉体的吸波机理. 展开更多
关键词 si/c/n纳米粉体 吸波特性 介电性能 吸波结构 优化设计 吸波机理 碳化硅 隐身材料 氮化硅 复合材料
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C/Si-C-N复合材料的制备及其氧化行为研究 被引量:5
3
作者 卢国锋 乔生儒 +2 位作者 弓满锋 侯军涛 焦更生 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期13-17,共5页
采用CVI方法制备出了以Si-C-N陶瓷为基体以热解炭为界面的炭纤维增强陶瓷基复合材料(C/Si-C-N)。采用热重法研究了C/Si-C-N复合材料在空气中的氧化行为,并探讨了基体制备温度对复合材料抗氧化性能的影响。研究表明:不同温度下制备的... 采用CVI方法制备出了以Si-C-N陶瓷为基体以热解炭为界面的炭纤维增强陶瓷基复合材料(C/Si-C-N)。采用热重法研究了C/Si-C-N复合材料在空气中的氧化行为,并探讨了基体制备温度对复合材料抗氧化性能的影响。研究表明:不同温度下制备的复合材料,其氧化行为完全不同。高温下制备的C/Si-C-N复合材料其氧化失重随氧化温度的升高而持续增加;低温下制备的C/Si-C-N复合材料则其氧化失重先随温度的升高而增加,随后在800-1000℃之间随温度的升高而减小,接着又随温度的升高而增加。较高的制备温度可使复合材料在900℃以下温度区间的抗氧化性能得到提高,但却使900℃以上温度区间的抗氧化性能降低。 展开更多
关键词 复合材料 抗氧化性能 sicn 裂纹 热膨胀系数
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新型SiBCN先驱体的合成及其陶瓷性能的研究进展 被引量:7
4
作者 杨治华 贾德昌 周玉 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期300-304,共5页
综述了近年来采用有机先驱体制备S iBCN复合陶瓷的研究现况.详细介绍了S iBCN先驱体合成的两种主要方法,并对利用这两种方法获得的先驱体和裂解后的陶瓷的产率等方面进行了比较.阐述了S iBCN复合陶瓷与纯S iC和S i3N4陶瓷在力学,抗蠕变... 综述了近年来采用有机先驱体制备S iBCN复合陶瓷的研究现况.详细介绍了S iBCN先驱体合成的两种主要方法,并对利用这两种方法获得的先驱体和裂解后的陶瓷的产率等方面进行了比较.阐述了S iBCN复合陶瓷与纯S iC和S i3N4陶瓷在力学,抗蠕变,抗氧化等性能的差别. 展开更多
关键词 si—B—cn 先驱体 裂解 复合陶瓷
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新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性 被引量:4
5
作者 郭岩 畅庚榕 +2 位作者 吴贵智 马胜利 徐可为 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期172-176,共5页
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶/非晶复合结构(nc-Ti(C,N)/a-Si_3N_4/a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,... 用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶/非晶复合结构(nc-Ti(C,N)/a-Si_3N_4/a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高,当原始晶粒尺寸在8—10 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃;当原始晶粒尺寸在2—4 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃,薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性,分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈地抑制晶界滑移与晶粒长大,从而使Ti-Si-C-N薄膜的热稳定性显著提高。 展开更多
关键词 Ti—sicn 纳米复合超硬薄膜 晶粒尺寸 显微硬度 热稳定性
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纳米Si/C/N复相粉体-硅溶胶涂层的介电和吸波性能研究 被引量:7
6
作者 耿健烽 周万城 +2 位作者 张颖娟 罗发 朱冬梅 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期23-25,共3页
以硅溶胶为粘结剂,氧化铝为主要填料,纳米Si/C/N复相粉体为吸收剂,制备了一系列不同吸收剂含量的耐高温吸波涂层。结果表明,当氧化铝和硅溶胶的质量分数分别为64.7%和32.3%时,涂层具有很好的耐高温性能。随着纳米Si/C/N复相粉体含量的增... 以硅溶胶为粘结剂,氧化铝为主要填料,纳米Si/C/N复相粉体为吸收剂,制备了一系列不同吸收剂含量的耐高温吸波涂层。结果表明,当氧化铝和硅溶胶的质量分数分别为64.7%和32.3%时,涂层具有很好的耐高温性能。随着纳米Si/C/N复相粉体含量的增加,试样的复介电常数显著提高,尤其是复介电常数的虚部;且随着频率的增大,复介电常数的实部有明显的减小趋势,呈频散效应。当纳米Si/C/N复相粉体的含量为2.92%(质量分数,下同),涂层厚度为1.6mm、1.7mm、1.8mm时,最高吸收峰随着厚度的增加向低频移动,反射率均小于-4dB。 展开更多
关键词 吸波涂层 介电性能 纳米si/c/n复相粉体
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聚苯胺与Si/C/N复合粉体的制备及其微波介电特性 被引量:2
7
作者 赵海涛 孙旭东 +2 位作者 修稚萌 张罡 李喜坤 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1251-1253,共3页
  用原位合成法在Si/C/N纳米粉表面包覆聚苯胺,制备出聚苯胺与Si/C/N复合材料,复合粉体近似球形,粒径为1~3μm。研究了聚苯胺与Si/C/N复合粉在8.2~12.4GHz的微波介电特性,与纳米Si/C/N相比,聚苯胺与Si/C/N复合粉体的ε′、ε″和ta...   用原位合成法在Si/C/N纳米粉表面包覆聚苯胺,制备出聚苯胺与Si/C/N复合材料,复合粉体近似球形,粒径为1~3μm。研究了聚苯胺与Si/C/N复合粉在8.2~12.4GHz的微波介电特性,与纳米Si/C/N相比,聚苯胺与Si/C/N复合粉体的ε′、ε″和tanδ有所增加,ε′在5.16~5.88范围内波动,ε″的变化范围为1.96~2.53,介电损耗角正切值达到了0.43,具有较好的微波介电特性。在8~12.4GHz范围内随频率的增加,聚苯胺与Si/C/N复合粉体的ε′、ε″和tanδ值均出现频响效应,是较为理想的微波吸收材料。 展开更多
关键词 si/c/n纳米粉 聚苯胺与si/c/n复合粉体 微波介电特性 微波吸收材料
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纳米Si/C/N复相粉体的制备及其在不同基体中的微波介电特性 被引量:7
8
作者 赵东林 周万城 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期909-914,共6页
以六甲基二硅胺烷((Me3Si)2NH)(Me:CH3)为原料,用双反应室激光气相合成纳米粉体装置制备了纳米Si/C/N复相粉体.研究了纳米Si/C/N复相粉体在不同基体中8.2~12.4GHz的微波介电特性,纳米粉... 以六甲基二硅胺烷((Me3Si)2NH)(Me:CH3)为原料,用双反应室激光气相合成纳米粉体装置制备了纳米Si/C/N复相粉体.研究了纳米Si/C/N复相粉体在不同基体中8.2~12.4GHz的微波介电特性,纳米粉体介电常数的实部(ε’)和虚部(ε”)随频率增大而减小,介电损耗(tgδ=ε”/ε’)较高·纳米Si/C/N复相粉体中的SiC微晶固溶了大量的N原子,在纳米Si/C/N复相粉体中形成大量的带电缺陷;极化弛豫是吸收电磁波的主要原因. 展开更多
关键词 纳米si/c/n复相粉体 微波介电常数 微观结构 界面作用 热压烧结 纳米复合材料
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Si-C-N_(np)/Si_3N_4复合材料的室温和高温显微结构与力学性能 被引量:9
9
作者 唐耿平 张长瑞 +1 位作者 冯坚 周新贵 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期30-32,共3页
以 Si- C- N纳米微粉为增强相 ,Si3N4 为基相 ,采用热压的方法制备了 Si Cp/ Si3N4 纳米复相陶瓷。应用扫描电镜 (SEM)、高分辨透射电镜 (HRTEM)对其结构进行了观察 ,并讨论了结构与性能之间的关系。结果表明 ,所得的 Si Cp/ Si3N4 复... 以 Si- C- N纳米微粉为增强相 ,Si3N4 为基相 ,采用热压的方法制备了 Si Cp/ Si3N4 纳米复相陶瓷。应用扫描电镜 (SEM)、高分辨透射电镜 (HRTEM)对其结构进行了观察 ,并讨论了结构与性能之间的关系。结果表明 ,所得的 Si Cp/ Si3N4 复相陶瓷的室温力学性能比氮化硅单相陶瓷有较大的提高 ,而 135 0℃断裂韧性达 14 .6 6 MPa· m1 / 2 。Si C微晶在晶粒内和在晶界玻璃相内的钉扎作用是材料高温性能提高的主要因素。 展开更多
关键词 si-c-nnp/si3n4复合材料 力学性能 si-c-n纳米微粉 显微结构 氮化硅 碳化硅 纳米复相陶瓷
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Si/C/N纳米微波吸收剂的制备 被引量:2
10
作者 刘晓魁 周万城 +1 位作者 罗发 朱冬梅 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1135-1138,共4页
采用化学气相沉积方法,在1200℃~1600℃温度范围内,于不同的NH3流量条件下,合成了Si/C/N纳米粉体,研究了粉体的制备工艺、成分、相组成与其微波介电性能之间的关系.结果表明:NH3流量增加,粉体中N含量升高,随着合成温度的提高,粉体的... 采用化学气相沉积方法,在1200℃~1600℃温度范围内,于不同的NH3流量条件下,合成了Si/C/N纳米粉体,研究了粉体的制备工艺、成分、相组成与其微波介电性能之间的关系.结果表明:NH3流量增加,粉体中N含量升高,随着合成温度的提高,粉体的晶化程度增强,主要为β-SiC相.在SiC晶格中固溶有N原子,且N原子的固溶量随合成温度升高而减少.Si/C/N纳米粉体中SiC微晶含量,以及SiC微晶中固溶的N原子浓度对粉体的ε',ε(")和损耗因子tgδ(ε"/ε')起着重要作用.N原子固溶所导致的极化驰豫损耗和漏导损耗是Si/C/N纳米粉体具有吸波性能的主要机理. 展开更多
关键词 化学气相沉积 si/c/n纳米粉体 微波介电性能 吸波机理
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B_4C改性酚醛树脂对Si_3N_4的高温粘接性能 被引量:7
11
作者 蒋海云 王继刚 吴申庆 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期178-181,共4页
以酚醛树脂为基体,加入B4c作为改性填料制备出高温粘结剂,并对si3N4陶瓷进行粘接。在300~800℃温度范围内对Si3N4陶瓷粘接试样进行热处理,并测试了不同温度热处理后的室温剪切强度。结果表明,经过700~800℃热处理后,粘结剂表现... 以酚醛树脂为基体,加入B4c作为改性填料制备出高温粘结剂,并对si3N4陶瓷进行粘接。在300~800℃温度范围内对Si3N4陶瓷粘接试样进行热处理,并测试了不同温度热处理后的室温剪切强度。结果表明,经过700~800℃热处理后,粘结剂表现出较为理想的粘接性能,剪切强度测试结果为Si3N4陶瓷基体破坏。利用扫描电镜研究了粘接试样的断面形貌及胶层结构特征。研究表明,在高温热处理过程中,B4C改性填料发生了复杂的物理、化学变化,通过B4C与树脂挥发分之间的改性反应,有效提高了酚醛树脂热解后的残炭值,进而改善了粘接胶层结构的高温稳定性;纤维状物质的形成与B2O3颗粒的细化,有助于提高粘接胶层的连接强度。 展开更多
关键词 B4c 酚醛树脂 高温粘接剂 si3n4
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CVI制备C/Si_3N_4复合材料及其表征 被引量:6
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作者 刘永胜 成来飞 +2 位作者 张立同 徐永东 刘谊 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期1208-1214,共7页
以SICl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透法CVI)制备C/Si3N4复合材料.渗透产物的能谱和X射线衍射表明渗透产物为非晶态Si3N4,经1350℃真空热处理后,产物仍然为非晶态Si3N4;经1450℃真空热处理后,产物已经发生晶型转变,由非晶态转变... 以SICl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透法CVI)制备C/Si3N4复合材料.渗透产物的能谱和X射线衍射表明渗透产物为非晶态Si3N4,经1350℃真空热处理后,产物仍然为非晶态Si3N4;经1450℃真空热处理后,产物已经发生晶型转变,由非晶态转变为晶态的α-Si3N4和β-Si3N4.渗透温度、渗透时间、气体流量对试样致密化、增重及微观结构的影响研究表明渗透温度为900℃、SiCl4流量为30mL/min、H2流量为100mL/min、NH3流量为80mL/min、渗透时间120h、系统压力1000Pa时,气体渗透进入碳布预制体后,在预制体内反应均匀,制备的复合材料较均匀. 展开更多
关键词 化学气相渗透(cVI) c/si3n4复合材料 微观结构 工艺参数
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Si/C/N晶须的微波介电性能 被引量:9
13
作者 焦桓 周万城 罗发 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期34-38,共5页
 研究了Si/C/N纳米晶须的制备、组成和微波介电性能。利用CVD法制备了化学组成一定的纳米Si/C/N晶须,XRD研究发现晶须的物相主要为β-SiC。热重分析表明该晶须在700℃以上开始氧化,具有较好的抗氧化性。测定了Si/C/N晶须的复介电常数...  研究了Si/C/N纳米晶须的制备、组成和微波介电性能。利用CVD法制备了化学组成一定的纳米Si/C/N晶须,XRD研究发现晶须的物相主要为β-SiC。热重分析表明该晶须在700℃以上开始氧化,具有较好的抗氧化性。测定了Si/C/N晶须的复介电常数与作用频率的关系,并计算了介电损耗角正切。依据介电性能数据,分别设计了单层和双层吸波材料,对所设计材料的吸波性能进行了计算。对Si/C/N纳米晶须的吸波机理进行了初步的探讨。 展开更多
关键词 si/c/n 抗氧化性 复介电常数 吸波材料 吸波机理
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B_4C加入量对Si_3N_4结合SiC材料抗氧化性的影响 被引量:14
14
作者 张志华 王文武 吴吉光 《耐火材料》 CAS 北大核心 2017年第1期28-31,共4页
为提高Si_3N_4结合SiC材料的高温抗氧化性,在黑碳化硅(粒度1.43~0.5和≤0.5 mm的颗粒料及粒度≤0.064 mm细粉)、硅粉(粒度≤0.043 mm)的基础配料中引入不同含量的B4C,以木质素磺酸钙为结合剂,经混练、成型、烘干后,在N2气氛下1 450℃保... 为提高Si_3N_4结合SiC材料的高温抗氧化性,在黑碳化硅(粒度1.43~0.5和≤0.5 mm的颗粒料及粒度≤0.064 mm细粉)、硅粉(粒度≤0.043 mm)的基础配料中引入不同含量的B4C,以木质素磺酸钙为结合剂,经混练、成型、烘干后,在N2气氛下1 450℃保温10 h热处理,制备了Si_3N_4结合SiC材料。研究了900℃水蒸气气氛下,B_4C加入量(质量分数分别为0.4%、0.8%、1.2%、1.6%)对Si_3N_4结合Si C材料抗氧化性的影响。结果表明:Si_3N_4结合SiC材料中加入B_4C后,材料的体积密度增大,显气孔率减小,质量变化率改变,体积变化率减小,材料的抗氧化性得到显著提高,最合适的B_4C加入量(w)为0.4%。 展开更多
关键词 si3n4结合sic B4c 抗氧化性、
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C/C复合材料Mo-Si-N抗氧化涂层的制备 被引量:11
15
作者 来忠红 朱景川 +1 位作者 全在昊 尹钟大 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1794-1797,共4页
在C/C复合材料表面采用熔浆法制备Mo-Si系涂层的烧结过程中通入氮气,开发了Si3N4-MoSi2/Si-SiC(Mo-Si-N系)多层抗氧化涂层,并初步考察了涂层的抗氧化性能.结果表明,多层涂层的致密性主要受制于起始氮化温度.只有在Si熔点以上通入氮气,... 在C/C复合材料表面采用熔浆法制备Mo-Si系涂层的烧结过程中通入氮气,开发了Si3N4-MoSi2/Si-SiC(Mo-Si-N系)多层抗氧化涂层,并初步考察了涂层的抗氧化性能.结果表明,多层涂层的致密性主要受制于起始氮化温度.只有在Si熔点以上通入氮气,才能获得致密无缺陷的涂层.多层涂层的底层为SiC,外层为Si3N4,中间层为MoSi2/Si.这种多层涂层的抗氧化性能与涂层中MoSi2的含量有关;MoSi2含量为30%(体积分数,下同)和40%时,与真空中合成的Mo-Si涂层相比,高温抗氧化性能显著改善,抗氧化温度提高到1400℃~1450℃. 展开更多
关键词 c/c复合材料:抗氧化涂层:si3n4 Mosi2/si sic
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C/Mullite/Si-C-N复合材料的组织结构及其弯曲行为研究 被引量:4
16
作者 卢国锋 乔生儒 +1 位作者 焦更生 徐浩龙 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期82-86,91,共6页
本研究制备出了以莫来石为界面层的炭纤维增强Si-C-N陶瓷基复合材料(C/Mullite/Si-C-N)。使用三点弯曲法研究了复合材料在室温、1300℃和1600℃时的弯曲断裂行为,利用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察了复合材料的组织和弯曲断口形貌... 本研究制备出了以莫来石为界面层的炭纤维增强Si-C-N陶瓷基复合材料(C/Mullite/Si-C-N)。使用三点弯曲法研究了复合材料在室温、1300℃和1600℃时的弯曲断裂行为,利用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察了复合材料的组织和弯曲断口形貌。结果表明:在室温和1300℃时,C/Mullite/Si-C-N复合材料的断口呈现出明显的脆性断裂特征;而在1600℃时,则呈现出韧性断裂特征。1300℃时的弯曲强度高于室温强度,模量则与室温下的基本相等。1600℃时,复合材料的弯曲强度和模量都明显下降。与具有热解炭界面层的C/Si-C-N复合材料相比,采用莫来石界面后,C/Si-C-N复合材料的强度明显下降。 展开更多
关键词 弯曲强度 c/si-c-n复合材料 莫来石 界面层
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PCVD制备新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜及其微观结构表征 被引量:4
17
作者 郭岩 畅庚榕 +1 位作者 马胜利 徐可为 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期985-988,共4页
用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法,在高速钢试样表面沉积出一种新型Ti-Si-C-N薄膜材料.研究了不同SICl4流量对薄膜成分、微观组织形貌以及薄膜晶体结构的影响.X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)... 用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法,在高速钢试样表面沉积出一种新型Ti-Si-C-N薄膜材料.研究了不同SICl4流量对薄膜成分、微观组织形貌以及薄膜晶体结构的影响.X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)分析结果表明:Ti-Si-C-N薄膜是由Ti(C,N)/a-C/a-SiaN4组成的纳米复合结构,薄膜的晶粒尺寸在2-25nm范围内;当Ti-Si-C-N薄膜中N含量很少时,Ti(C,N)结构转变为TiC,薄膜的表面形貌由颗粒状转变为粗条状. 展开更多
关键词 Ti-si-c-n PcVD 纳米复合薄膜 微观结构
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(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层高温性能研究 被引量:1
18
作者 王彦锋 李争显 +3 位作者 王宝云 华云峰 杜继红 姬寿长 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1202-1205,共4页
采用等离子增强电弧离子镀联合磁控溅射工艺制备了含35%(原子比)C的(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层,并利用扫描电镜、X射线衍射仪及高温摩擦磨损试验仪表征了膜层在不同退火条件下的性能及组织演变行为。研究结果表明,复合膜层在低于800℃的退... 采用等离子增强电弧离子镀联合磁控溅射工艺制备了含35%(原子比)C的(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层,并利用扫描电镜、X射线衍射仪及高温摩擦磨损试验仪表征了膜层在不同退火条件下的性能及组织演变行为。研究结果表明,复合膜层在低于800℃的退火条件下,膜层仍表现出较高的显微硬度、较低的摩擦系数以及氧化增重率,复合膜层的显微结构并未发生显著的变化。在800℃、氧化7 h后,膜层发生了严重的氧化失效。因此,复合膜层在长时间高温氧化下的性能仍需要进一步提高。 展开更多
关键词 (Ti Al si c)n 硬质膜层 高温性能 显微组织 摩擦磨损
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SiC(N)纤维的研制进展 被引量:9
19
作者 胡海峰 陈朝辉 冯春祥 《材料导报》 EI CAS CSCD 1996年第4期40-43,共4页
对耐高温SiC(N)纤维的研制进行了综述,重点是先驱体转化法纤维的研制。控制纤维组成尤其是杂质含量,以及掺杂其他元素抑制相转变,是提高纤维耐温性能,增加致密度的有效途径。
关键词 耐高温材料 碳化硅纤维 陶瓷纤维
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等离子体技术沉积SiCN薄膜中杂质O的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响 被引量:6
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作者 赵艳艳 徐军 +2 位作者 丁万昱 张明明 陆文琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期26-30,共5页
利用微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射法制备了硅碳氮(SiCN)薄膜,并利用X射线光电子能谱、扫描电镜、椭偏光谱仪等对薄膜成分、结构、性能等进行表征。结果表明薄膜中O杂质含量及其结合态对薄膜的化学结构和机械性能都产生了很大影响... 利用微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射法制备了硅碳氮(SiCN)薄膜,并利用X射线光电子能谱、扫描电镜、椭偏光谱仪等对薄膜成分、结构、性能等进行表征。结果表明薄膜中O杂质含量及其结合态对薄膜的化学结构和机械性能都产生了很大影响。Si靶溅射功率最低时(100W),薄膜中O杂质含量高达10.63%,以Si-O键结构为主,此时薄膜的疏松结构导致大气环境下O的化学吸附是O杂质的主要来源;在高Si靶溅射功率情况下(>250W),薄膜中O杂质含量低于4%,且以C-O键结构为主,薄膜致密,硬度最高达29.1GPa、折射率可达2.43。 展开更多
关键词 sicn薄膜 微波-EcR等离子体 化学结构 杂质
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