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Si/GaAs晶圆片键合热应力及其影响因素分析 被引量:4
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作者 仇寻 郭祥虎 +2 位作者 王典 孙利杰 施祥蕾 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第6期813-817,845,共6页
分别利用Suhir双金属带热应力分布理论和有限元法研究了Si/GaAs晶圆片键合界面在退火过程中的热应力分布,并将热应力分布理论计算结果与有限元分析结果进行了对比验证,得到了一致的结论。根据计算分析结果,对晶圆片进行了结构热变形分析... 分别利用Suhir双金属带热应力分布理论和有限元法研究了Si/GaAs晶圆片键合界面在退火过程中的热应力分布,并将热应力分布理论计算结果与有限元分析结果进行了对比验证,得到了一致的结论。根据计算分析结果,对晶圆片进行了结构热变形分析,并研究了不同因素对键合热应力的影响,提出了减小键合热应力的有效措施。 展开更多
关键词 si/gaas 键合 热应力 有限元法 影响因素
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Si/GaAs异质结界面态及其价带不连续性
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作者 黄春晖 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第7期485-492,共8页
本文报道用自洽EHT方法研究Si/GaAs异质结界面态分布和价带不连续性。用准共度晶格模型处理晶格失配问题,并对晶格常数作了修正。通过对Si/GaAs(111)、Si/GaAs(111)和Si/GaAs(110)异质结中Si应变和GaAs应变的情况,分别进行计算,得到界... 本文报道用自洽EHT方法研究Si/GaAs异质结界面态分布和价带不连续性。用准共度晶格模型处理晶格失配问题,并对晶格常数作了修正。通过对Si/GaAs(111)、Si/GaAs(111)和Si/GaAs(110)异质结中Si应变和GaAs应变的情况,分别进行计算,得到界面态分布和价带不连续值等物理量,结果表明:它们不仅依赖于组成异质结的两种材料的体性质,而且还依赖于界面晶向和材料应变。文中给出了这些计算结果,并作了初步的讨论。 展开更多
关键词 si/gaas 异质结 界面态 价带
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Si/Co/GaAs体系中界面反应的竞争机制 被引量:2
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作者 金高龙 陈维德 许振嘉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期681-686,T001,共7页
本文采用AES、XRD和TEM等技术对Si/Co/GaAs三层结构的界面反应作了较详细的研究。结果表明:Si/Co与Co/GaAs两界面的反应具有一定的相似性,即当退火温度低于300℃时,两界面都保持完整;当退火温度高于400℃时,两界面都发生了化学反应,并... 本文采用AES、XRD和TEM等技术对Si/Co/GaAs三层结构的界面反应作了较详细的研究。结果表明:Si/Co与Co/GaAs两界面的反应具有一定的相似性,即当退火温度低于300℃时,两界面都保持完整;当退火温度高于400℃时,两界面都发生了化学反应,并形成相应的化合相。由于两界面的初始反应条件相近,因而界面反应存在着竞争机制,通过进一步的实验,结果表明;Si/Co界面的反应速度要比Co/GaAs的快,从而为在GaAs衬底上形成CoSi_2/GaAs金半接触提供了有利条件。 展开更多
关键词 金属半导体 界面 结构 si/Co/gaas
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Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of InAs/GaAs Quantum Dots Directly Grown on Si Substrates
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作者 王霆 刘会赟 张建军 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第4期52-55,共4页
The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantu... The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantum on a Si substrate is further investigated using atomic force microscopy, etch pit density and temperature-dependent photoluminescence (PL) measurements. The PL for Si-based InAs/GaAs quantum dots appears to be very sensitive to the initial OaAs nucleation temperature and thickness with strongest room-temperature emission at 40000 (17Onto nucleation layer thickness), due to the lower density of defects generated under this growth condition, and stronger carrier confinement within the quantum dots. 展开更多
关键词 gaas INAS Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of InAs/gaas Quantum Dots Directly Grown on si Substrates of si on
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