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Room-temperature direct-bandgap photoluminescence from strain-compensated Ge/SiGe multiple quantum wells on silicon 被引量:1
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作者 胡炜玄 成步文 +4 位作者 薛春来 张广泽 苏少坚 左玉华 王启明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第1期493-498,共6页
Strain-compensated Ge/Si0.15Ge0.85 multiple quantum wells were grown on an Si0.1 Ge0.9 virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition technology on an n+-Si(001) substrate. Photoluminescence mea... Strain-compensated Ge/Si0.15Ge0.85 multiple quantum wells were grown on an Si0.1 Ge0.9 virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition technology on an n+-Si(001) substrate. Photoluminescence measurements were performed at room temperature, and the quantum confinement effect of the direct-bandgap transitions of a Ge quantum well was observed, which is in good agreement with the calculated results. The luminescence mechanism was discussed by recombination rate analysis and the temperature dependence of the luminescence spectrum. 展开更多
关键词 ge multiple quantum wells strain compensated
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Direct-bandgap electroluminescence from tensile-strained Ge/SiGe multiple quantum wells at room temperature
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作者 何超 刘智 +3 位作者 张旭 黄文奇 薛春来 成步文 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期427-430,共4页
Tensile-strained Ge/SiGe multiple quantum wells (MQWs) were grown on a Ge-on-Si virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition on an n+-Si (001) substrate. Direct-bandgap electroluminescence f... Tensile-strained Ge/SiGe multiple quantum wells (MQWs) were grown on a Ge-on-Si virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition on an n+-Si (001) substrate. Direct-bandgap electroluminescence from the MQWs light emitting diode was observed at room temperature. The quantum confinement effect of the direct-bandgap transitions is in good agreement with the theoretical calculated results. The redshift mechanism of emission wavelength related to the thermal effect is discussed, 展开更多
关键词 ge multiple quantum wells tensile strain ELECTROLUMINESCENCE
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Ge/SiGe非对称耦合量子阱强度调制特性仿真
3
作者 江佩璘 张意 +5 位作者 黄强 石浩天 黄楚坤 余林峰 孙军强 余长亮 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期388-396,共9页
硅基光子学已被广泛认为是能实现片上光电子集成的有效平台,然而迄今为止,对硅基光源、探测器以及调制器等硅基有源器件的研究仍然具有一定的挑战性。为此,提出并仿真分析了一种可以用于实现硅基强度调制的Ge/SiGe非对称耦合量子阱结构... 硅基光子学已被广泛认为是能实现片上光电子集成的有效平台,然而迄今为止,对硅基光源、探测器以及调制器等硅基有源器件的研究仍然具有一定的挑战性。为此,提出并仿真分析了一种可以用于实现硅基强度调制的Ge/SiGe非对称耦合量子阱结构。首先,利用8带k·p理论模型对耦合量子阱的能带结构和电子波函数进行了仿真计算;然后,详细分析了外加电场强度在0 kV/cm至60 kV/cm范围内,非对称耦合量子阱对TE和TM偏振模式的传输光的光吸收谱随外加电场强度的变化。仿真结果表明,对于TE偏振模式的传输光,在无外加电场强度条件下,非对称耦合量子阱的第一个吸收带边约在1449 nm处;而在30 kV/cm外加电场下,该量子阱的吸收带边相比于无外加电场情况向长波方向移动约22 nm,比相同外加电压下的普通量子阱显著。本工作所提出的Ge/SiGe非对称耦合量子阱结构是一种有望实现更低工作电压、更高速和更低损耗硅基强度调制器的结构。 展开更多
关键词 光电子学 强度调制 量子限制斯塔克效应 ge/sige量子阱 非对称耦合量子阱
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Novel vertical stack HCMOSFET with strained SiGe/Si quantum channel 被引量:4
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作者 姜涛 张鹤鸣 +2 位作者 王伟 胡辉勇 戴显英 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第6期1339-1345,共7页
A novel vertical stack heterostructure CMOSFET is investigated, which is structured by strained SiGe/Si with a hole quantum well channel in the compressively strained Sil-xGex layer for p-MOSFET and an electron quantu... A novel vertical stack heterostructure CMOSFET is investigated, which is structured by strained SiGe/Si with a hole quantum well channel in the compressively strained Sil-xGex layer for p-MOSFET and an electron quantum well channel in the tensile strained Si layer for n-MOSFET. The device possesses several advantages including: 1) the integration of electron quantum well channel with hole quantum well channel into the same vertical layer structure; 2) the gate work function modifiability due to the introduction of poly-SiGe as a gate material; 3) better transistor matching; and 4) flexibility of layout design of CMOSFET by adopting exactly the same material lays for both n-channel and p-channel. The MEDICI simulation result shows that p-MOSFET and n-MOSFET have approximately the same matching threshold voltages. Nice performances are displayed in transfer characteristic, transconductance and cut-off frequency. In addition, its operation as an inverter confirms the CMOSFET structured device to be normal and effective in function. 展开更多
关键词 strained sige/si quantum well channel heterostructure CMOSFET poly-sige gate
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Modelling of the Quantum Transport in Strained Si/SiGe/Si Superlattices Based P-i-n Infrared Photodetectors for 1.3 - 1.55 μm Optical Communication
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作者 Noureddine Sfina Naima Yahyaoui +1 位作者 Moncef Said Jean-Louis Lazzari 《Modeling and Numerical Simulation of Material Science》 2014年第1期37-52,共16页
In this paper, a p-i-n heterojunction based on strain-compensated Si/Si1-xGex/Si multiple quantum wells on relaxed Si1-yGey is proposed for photodetection applications. The Si1-yGey/Si/Si1-xGex/Si/Si1-yGey stack consi... In this paper, a p-i-n heterojunction based on strain-compensated Si/Si1-xGex/Si multiple quantum wells on relaxed Si1-yGey is proposed for photodetection applications. The Si1-yGey/Si/Si1-xGex/Si/Si1-yGey stack consists in a W-like potential profile strain-compensated in the two low absorption windows of silica fibers infrared (IR) photodetectors. These computations have been used for the study of p-i-n infrared photodetectors operating at room temperature (RT) in the range 1.3 - 1.55 μm. The electron transport in the Si/Si1-xGex/Si multi-quantum wells-based p-i-n structure was analyzed and numerically simulated taking into account tunneling process and thermally activated transfer through the barriers mainly. These processes were modeled with a system of Schrodinger and kinetic equations self-consistently resolved with the Poisson equation. Temperature dependence of zero-bias resistance area product (RoA) and bias-dependent dynamic resistance of the diode have been analyzed in details to investigate the contribution of dark current mechanisms which reduce the electrical performances of the diode. 展开更多
关键词 STRAINED sige/si quantum wells Band Structure Device Engineering P-I-N Infrared Photodetectors
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Si基Ge异质结构发光器件的研究进展 被引量:3
6
作者 刘智 李传波 +1 位作者 薛春来 成步文 《中国光学》 EI CAS 2013年第4期449-456,共8页
近年来,与Si的CMOS工艺相兼容的Ge/Si异质结构发光器件取得很多重要的进展。本文概述了Si基Ge异质结构发光器件的最新成果,如Ge/Si量子点发光二极管、Si衬底上的Ge发光二极管及激光器和Ge/SiGe多量子阱发光二极管,分别描述了这些器件的... 近年来,与Si的CMOS工艺相兼容的Ge/Si异质结构发光器件取得很多重要的进展。本文概述了Si基Ge异质结构发光器件的最新成果,如Ge/Si量子点发光二极管、Si衬底上的Ge发光二极管及激光器和Ge/SiGe多量子阱发光二极管,分别描述了这些器件的特点和增强其发光特性的途径。最后展望了Si基Ge异质结构发光器件的发展趋势,指出尽管Si基Ge异质结构发光器件获得了很大的发展,但是器件的发光效率仍然很低,离实用还有一定距离,还需要在材料和器件的结构方面有更多的创新。 展开更多
关键词 发光器件 发光二极管 ge ge si量子点 ge sige量子阱
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
7
作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 ge量子点 siO2薄膜 si(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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束流密度对Ge/Si量子点溅射生长的影响 被引量:2
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作者 杨杰 王茺 +1 位作者 陶东平 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第16期2239-2242,2246,共5页
采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力显微镜测试结果表明,随着束流密度的增加,量子点的面密度持续增大,其尺寸不断减小,量子点的形貌由圆顶形... 采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力显微镜测试结果表明,随着束流密度的增加,量子点的面密度持续增大,其尺寸不断减小,量子点的形貌由圆顶形转变为过渡圆顶形。计算直径标准偏差的结果表明,当束流密度为0.86mA/cm2时,量子点的尺寸均匀性最佳。束流密度与沉积速率成正比,影响着表面吸附原子与其它原子相遇而形成晶核的能力。 展开更多
关键词 离子束溅射沉积 ge/si量子点 束流密度 原子力显微镜
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光子晶体对nc-Ge/Si岛发光增强的模拟 被引量:4
9
作者 唐海侠 王启明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期435-441,共7页
在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多... 在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多的Si基发光材料体系中,Ge/Si量子点材料,不仅生长工艺与标准的CMOS工艺有很好的兼容性,而且发光波长能够覆盖重要的光通信波段即1.3—1.55μm,因此成为实现Si基发光器件的重要途径之一。但是目前这种材料的发光效率仍很低,所以提高其发光效率自然成为人们关注的焦点。如果将光子晶体引入到nc—Ge/Si材料中,它不仅可以改变材料本身的自发发射特性,而且可以改变发射的光子的提取效率,从而使材料的发光效率得到增强。提出了在Ge/Si量子点材料中引入光子晶体结构来提高其发光效率,包括光子晶体点缺陷腔结构和带边模式工作的完整光子晶体结构,并从理论上分析了发光效率提高的原理。针对发光波长在1.5μm附近的材料结构,模拟出了相应的光子晶体的结构参数。从模拟结果可以看出,对于缺陷腔的光子晶体结构,采用单点缺陷微腔很好地实现了单模运作,但是微腔内有源材料的体积很小,因此得到的发光效率很低。而采用耦合缺陷腔的结构和H2腔都增加了腔内有源区的体积。但是耦合腔与H2腔相比,谐振腔模减少,主谐振模式的峰值强度增加,更容易实现单模发光。因而更适用于提高nc—Ge/Si的发光效率。而带边模式工作的光子晶体结构,尺寸较大,不需引入缺陷,工艺上更容易实现。 展开更多
关键词 光子晶体 光子带隙 谐振腔 nc—ge/si 量子点
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Ge/Si量子点生长的研究进展 被引量:1
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作者 鲁植全 王茺 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第19期117-122,共6页
回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以... 回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以及Ge量子点的演变及组分变化。 展开更多
关键词 ge/si量子点生长 图形衬底 表面原子掺杂 超薄siO2层 ge组分
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小尺寸Si/Ge量子点内应变和组分的拉曼光谱表征 被引量:2
11
作者 谭平恒 周霞 +3 位作者 杨富华 K.Brunner D.Bougeard G.Abstreiter 《光散射学报》 2004年第3期203-207,共5页
本文详细地研究了原始生长和退火处理后的Si/Ge量子点的拉曼光谱。我们观测到了Si/Ge量子点的一系列本征的拉曼振动模以及Ge-Ge模的LO和TO声子峰间4.2cm-1的频率劈裂。通过这些参数,我们自洽地确定了原始生长的平面直径为20nm和高为2nm... 本文详细地研究了原始生长和退火处理后的Si/Ge量子点的拉曼光谱。我们观测到了Si/Ge量子点的一系列本征的拉曼振动模以及Ge-Ge模的LO和TO声子峰间4.2cm-1的频率劈裂。通过这些参数,我们自洽地确定了原始生长的平面直径为20nm和高为2nm的Si/Ge量子点内Ge的平均组分为80%,平均应变为-3.4%。分析清楚地表明了这种小尺寸的Si/Ge量子点内的应变仍遵从双轴应变,并且应变的释放主要由量子点和Si隔离层间Si-Ge原子互扩散决定。 展开更多
关键词 量子点 拉曼光谱 应变 组分 sige原子互扩散
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量子点的形成对Si/Ge界面互扩散的影响
12
作者 周星飞 施斌 +3 位作者 胡冬枝 樊永良 龚大卫 蒋最敏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期731-734,共4页
在Si(10 0 )衬底上低温生长了一层完全应变的Ge层 ,高温退火形成量子点 .我们用喇曼光谱研究了量子点形成时Si/Ge界面的互扩散现象 ,实验表明量子点的形成伴随着Si/Ge原子之间的互扩散 ,通常在Si衬底上形成的是SiGe合金量子点 ,而不是... 在Si(10 0 )衬底上低温生长了一层完全应变的Ge层 ,高温退火形成量子点 .我们用喇曼光谱研究了量子点形成时Si/Ge界面的互扩散现象 ,实验表明量子点的形成伴随着Si/Ge原子之间的互扩散 ,通常在Si衬底上形成的是SiGe合金量子点 ,而不是纯Ge量子点 . 展开更多
关键词 量子点 si/ge界面互扩散 分子束外延 硅衬底 喇曼光谱
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Si_(1-x)Ge_x/Si量子阱发光材料的分子束外延生长及其结构研究
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作者 杨宇 黄醒良 +5 位作者 刘晓晗 黄大鸣 蒋最敏 龚大卫 张翔九 赵国庆 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期285-292,共8页
采用固源Si分子束外延,在较高的生长温度于Si(100)衬底上制备出Si1-xGex/Si量子阱发光材料.发光样品的质量和特性通过卢瑟福背散射、X射线双晶衍射及光致发光评估.背散射实验中观察到应变超晶格的反常沟道效应... 采用固源Si分子束外延,在较高的生长温度于Si(100)衬底上制备出Si1-xGex/Si量子阱发光材料.发光样品的质量和特性通过卢瑟福背散射、X射线双晶衍射及光致发光评估.背散射实验中观察到应变超晶格的反常沟道效应;X射线分析表明材料的生长是共度的、无应力释放的,结晶完整性好.低温光致发光主要是外延合金量子阱中带边激子的无声发射和横光学声子参与的激子复合.并讨论了生长温度对量于阱发光的影响. 展开更多
关键词 分子束外延 量子阱 发光材料 反常沟道效应
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弛豫SiGe衬底上SiGe/Si Ⅱ型量子阱
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作者 李代宗 黄昌俊 +3 位作者 于卓 成步文 余金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期875-880,共6页
采用 UHV / CVD系统 ,在 Si衬底上生长了具有渐变 Si1 - x Gex 缓冲层结构的弛豫 Si0 .76 Ge0 .2 4虚衬底和 5个周期的 Si0 .76 Ge0 .2 4/ Si多量子阱 .在渐变 Si1 - x Gex 缓冲层生长过程中引入原位退火 ,消除了残余应力 ,抑制了后续... 采用 UHV / CVD系统 ,在 Si衬底上生长了具有渐变 Si1 - x Gex 缓冲层结构的弛豫 Si0 .76 Ge0 .2 4虚衬底和 5个周期的 Si0 .76 Ge0 .2 4/ Si多量子阱 .在渐变 Si1 - x Gex 缓冲层生长过程中引入原位退火 ,消除了残余应力 ,抑制了后续生长的 Si Ge中的位错成核 .透射电子显微照片显示 ,位错被有效地限制在组份渐变缓冲层内 ,而 Si Ge上层和 Si Ge/Si量子阱是无位错的 .在样品的 PL 谱中 ,观察到跃迁能量为 0 .96 1e V的 型量子阱的无声子参与 (NP)发光峰 .由于 型量子阱中电子和空穴不在空间同一位置 ,较高光功率激发下引起的高浓度载流子导致能带弯曲严重 .NP峰随激发功率增加向高能方向移动 ,在一定激发条件下 ,电子跃迁或隧穿至弛豫 Si Ge层弯曲的导带底后与处于同一位置的空穴复合发光 ,所以 展开更多
关键词 应变驰豫 Ⅱ型量子阱 硅化硅 衬底
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SiGe材料系自组织Ge量子点研究(英文)
15
作者 黄昌俊 王启明 《中国科学院研究生院学报》 CAS CSCD 2003年第4期510-516,共7页
在当今Si基光电子研究中,SiGe材料系自组织Ge量子点是最有希望对Si材料运用能带工程实现人工改性的途径之一。Ge在Si上 4.2 %的晶格失配可以制造大小尺寸不同的纳米结构,还可适应其他多种器件需要。对自组织Ge量子点的形成过程、形貌演... 在当今Si基光电子研究中,SiGe材料系自组织Ge量子点是最有希望对Si材料运用能带工程实现人工改性的途径之一。Ge在Si上 4.2 %的晶格失配可以制造大小尺寸不同的纳米结构,还可适应其他多种器件需要。对自组织Ge量子点的形成过程、形貌演化、光学和电学性质,以及提高量子点平面排布有序性的方法进行了系统的分析和研究,并着重介绍了实验中发现的新现象、新模型和新方法,其中包括量子点的反常形状跃迁、自覆盖效应、Ge/Si量子点的II型能带结构。 展开更多
关键词 ge量子点 si基光电子 自组织纳米微结构 异质外延生长
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用光电压谱研究 GeSi/Si 量子阱的带间光跃迁
16
作者 朱文章 徐恭勤 《集美航海学院学报》 1997年第4期20-24,共5页
在18~300K温度范围内,测量了x=0.2和0.5两种不同结构的GexSi1-x/Si应变层多量子阱的光电压谱,观测到HH1,LH1,HH2等激子光吸收跃迁信号以及TO声子辅助HH1激子光吸收跃迁信号.低温下的光电... 在18~300K温度范围内,测量了x=0.2和0.5两种不同结构的GexSi1-x/Si应变层多量子阱的光电压谱,观测到HH1,LH1,HH2等激子光吸收跃迁信号以及TO声子辅助HH1激子光吸收跃迁信号.低温下的光电压谱反映了量子阱台阶式的状态密度分布.方形势阱模型的理论计算结果与实验结果符合较好. 展开更多
关键词 gesi/si 量子阱 带间光跃迁 光电压谱
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Ge_xSi_(1-x)/Si量子阱和超晶格红外光电压谱
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作者 朱文章 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1992年第4期398-401,共4页
采用电容耦合法,在18~300K 温度范围内测量了一系列 Ge_xSi_(1-x)/Si应变层多量子阱和 Ge/Si 超薄超晶格在不同温度下的红外光电压谱。实验结果表明,在长波段有强的光电压信号。文中还对 Ge_xSi_(1-x)/Si 量子阱和超晶格的能带排列和... 采用电容耦合法,在18~300K 温度范围内测量了一系列 Ge_xSi_(1-x)/Si应变层多量子阱和 Ge/Si 超薄超晶格在不同温度下的红外光电压谱。实验结果表明,在长波段有强的光电压信号。文中还对 Ge_xSi_(1-x)/Si 量子阱和超晶格的能带排列和光伏效应作了讨论。 展开更多
关键词 量子阱 超晶格 gesi/si材料
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磁控溅射Ge/Si多层膜的发光特性研究 被引量:5
18
作者 宋超 孔令德 杨宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2007年第2期67-70,共4页
采用磁控溅射技术,在Si(100)衬底上制备了一系列不同周期、不同Ge层厚度的Ge/Si多层膜样品。用室温光致发光(PL)、Raman散射和AFM图谱对样品进行表征。结果表明:Ge/Si多层膜中的PL发光峰主要来自于Ge晶粒,并且Ge晶粒生长的均匀性对PL发... 采用磁控溅射技术,在Si(100)衬底上制备了一系列不同周期、不同Ge层厚度的Ge/Si多层膜样品。用室温光致发光(PL)、Raman散射和AFM图谱对样品进行表征。结果表明:Ge/Si多层膜中的PL发光峰主要来自于Ge晶粒,并且Ge晶粒生长的均匀性对PL发光影响较大,生长均匀的Ge晶粒中量子限域效应明显,随着晶粒的减小,PL发光主峰发生蓝移;在Ge晶粒均匀性较差时,PL发光峰强度较弱,量子限域效应不明显。 展开更多
关键词 ge/si多层膜 量子限域效应 光致发光 磁控溅射
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Ge/Si量子点的控制生长 被引量:2
19
作者 潘红星 王茺 +3 位作者 杨杰 张学贵 靳映霞 杨宇 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期416-420,454,共6页
采用离子束溅射技术,在生长了Si缓冲层的硅晶片上制备了一系列Ge量子点样品.借助原子力显微镜(AFM)和Raman光谱等测试手段研究了Ge/Si量子点生长密度、尺寸及排列均匀性的演变规律.结果表明,改变Si缓冲层厚度及其生长方式,可以有效控制... 采用离子束溅射技术,在生长了Si缓冲层的硅晶片上制备了一系列Ge量子点样品.借助原子力显微镜(AFM)和Raman光谱等测试手段研究了Ge/Si量子点生长密度、尺寸及排列均匀性的演变规律.结果表明,改变Si缓冲层厚度及其生长方式,可以有效控制量子点的尺寸、均匀性和密度.随缓冲层厚度增大,量子点密度先增大后减小,停顿生长有利于提高缓冲层结晶性,从而提高量子点的密度,可以达到1.9×1010cm-2.还研究了Si缓冲层在Ge量子点生长过程中的作用,并提出了量子点的生长模型. 展开更多
关键词 硅缓冲层 锗量子点 离子束溅射
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偏压对Ge/Si单量子点电流分布的影响 被引量:1
20
作者 张丽红 王茺 +2 位作者 杨杰 杨涛 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1331-1336,共6页
采用扫描探针显微镜(SPM),对离子束溅射自组装生长的Ge/Si量子点的电学性能进行分析。实验结果表明,施加正向偏压于圆顶形量子点上时,由于表面氧化物的生成,扫描区域的电流信号是不可恢复的。施加负向偏压时,单量子点区域的电流分布特... 采用扫描探针显微镜(SPM),对离子束溅射自组装生长的Ge/Si量子点的电学性能进行分析。实验结果表明,施加正向偏压于圆顶形量子点上时,由于表面氧化物的生成,扫描区域的电流信号是不可恢复的。施加负向偏压时,单量子点区域的电流分布特征保持环状,且电流剖面图呈双峰结构,随着负向偏压的增大,各个电流峰顶部形状由尖锐变为截平,呈现出饱和的趋势。通过对电流值大小分布的统计,证实了Ge/Si量子点的电流传导主导机制为热电子发射。 展开更多
关键词 ge/si单量子点 导电原子力显微镜 偏压 电学特性
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