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Si1-xGex/Si多量子阱红外探测器
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《红外技术》 CSCD 1993年第2期36-36,共1页
关键词 美国加利福尼亚大学 si1-xgex/si 量子 红外探测器
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Ge_xSi_(1-x)/Si量子阱和超晶格红外光电压谱
2
作者 朱文章 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1992年第4期398-401,共4页
采用电容耦合法,在18~300K 温度范围内测量了一系列 Ge_xSi_(1-x)/Si应变层多量子阱和 Ge/Si 超薄超晶格在不同温度下的红外光电压谱。实验结果表明,在长波段有强的光电压信号。文中还对 Ge_xSi_(1-x)/Si 量子阱和超晶格的能带排列和... 采用电容耦合法,在18~300K 温度范围内测量了一系列 Ge_xSi_(1-x)/Si应变层多量子阱和 Ge/Si 超薄超晶格在不同温度下的红外光电压谱。实验结果表明,在长波段有强的光电压信号。文中还对 Ge_xSi_(1-x)/Si 量子阱和超晶格的能带排列和光伏效应作了讨论。 展开更多
关键词 量子 超晶格 Gesi/si材料
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SiGe/Si量子阱结构材料的激子发光谱 被引量:4
3
作者 黄大鸣 杨敏 +4 位作者 盛篪 卢学坤 龚大卫 张翔九 王迅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第3期213-216,共4页
在用分子束外延生长的SiGe/Si多量子阱结构中,观察到激子发光光谱,从无声子参与的或TO-声子参与的激子发光峰位能量,计算了量子阱中合金的组份,并与通过X-射线衍射谱得到的结果作了比较,发现在Ge的组份比较小时,利... 在用分子束外延生长的SiGe/Si多量子阱结构中,观察到激子发光光谱,从无声子参与的或TO-声子参与的激子发光峰位能量,计算了量子阱中合金的组份,并与通过X-射线衍射谱得到的结果作了比较,发现在Ge的组份比较小时,利用激子发光峰位能量确定合金组份比利用X-射线衍射谱更为方便和精确. 展开更多
关键词 siGE/si 量子 激子 发光谱
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Si1-xGex:C缓冲层上Ge薄膜的CVD外延生长 被引量:3
4
作者 王荣华 韩平 +11 位作者 夏冬梅 李志兵 韩甜甜 刘成祥 符凯 谢自力 修向前 朱顺明 顾书林 施毅 张荣 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期151-154,共4页
用化学气相沉积方法,在Si(100)衬底上生长Si1xGex:C合金作为缓冲层,继而外延生长了Ge晶体薄膜.根据AES测量结果可以认为,缓冲层包括由衬底中的Si原子扩散至表面与GeH4,C2H4反应而生成的Si1-xGex:C外延层和由Si1-xGex:C外延层中Ge原子向... 用化学气相沉积方法,在Si(100)衬底上生长Si1xGex:C合金作为缓冲层,继而外延生长了Ge晶体薄膜.根据AES测量结果可以认为,缓冲层包括由衬底中的Si原子扩散至表面与GeH4,C2H4反应而生成的Si1-xGex:C外延层和由Si1-xGex:C外延层中Ge原子向衬底方向扩散而形成的Si1-xGex层.缓冲层上外延所得Ge晶体薄膜晶体取向较为单一,其厚度超过在Si上直接外延Ge薄膜的临界厚度,且薄膜中的电子迁移率与同等掺杂浓度(1.0×1019 cm-3)的体Ge材料的电子迁移率相当. 展开更多
关键词 化学气相淀积 si1-xgex:C缓冲层 Ge薄膜
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应变Si1-xGex(100)电子散射几率 被引量:2
5
作者 赵丽霞 张鹤鸣 +1 位作者 宣荣喜 胡辉勇 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期86-89,105,共5页
基于费米黄金法则及玻尔兹曼方程碰撞项近似理论,针对离化杂质、声学声子、谷间声子及合金无序散射机制,研究了应变Si1-xGex/(100)Si材料电子散射几率与应力及能量的关系.结果表明:在应力的作用下,应变Si1-xGex/(100)Si材料声学声子及f2... 基于费米黄金法则及玻尔兹曼方程碰撞项近似理论,针对离化杂质、声学声子、谷间声子及合金无序散射机制,研究了应变Si1-xGex/(100)Si材料电子散射几率与应力及能量的关系.结果表明:在应力的作用下,应变Si1-xGex/(100)Si材料声学声子及f2、f3型谷间声子散射几率显著降低.Si基应变材料电子迁移率增强与其散射几率密切相关. 展开更多
关键词 应变si1-xgex 电子 散射
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Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响 被引量:1
6
作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 王浩 孙慧卿 郑树文 郭志友 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期375-378,共4页
采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5... 采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5In0 .5P/Ga0 .5In0 .5P多量子阱的发光强度。相对于未故意掺杂的样品 ,多量子阱垒层掺Si使多量子阱的发光强度提高了 13倍 ,阱层和垒层均掺Si使多量子阱的发光强度提高了 2 8倍。外延片的X射线双晶衍射测试表明 。 展开更多
关键词 ALGAINP AlGaInP/GaInP多量子 X射线双晶衍射 si掺杂 光致发光
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掺Si对AlGaInP/GaInP多量子阱发光性能的影响
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作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 郑树文 王浩 郭志友 孙慧卿 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1159-1163,共5页
研究了Si掺杂对MOCVD生长的(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5P多量子阱发光性能的影响.样品分为两类:一类只生长了(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5P多量子阱结构;另一类为完整的多量子阱LED结构.对于只生长了(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5... 研究了Si掺杂对MOCVD生长的(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5P多量子阱发光性能的影响.样品分为两类:一类只生长了(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5P多量子阱结构;另一类为完整的多量子阱LED结构.对于只生长了(Al0.3Ga0.7)In0.5P/Ga0.5In0.5P多量子阱结构的样品,掺Si没有改变量子阱发光波长,但使得量子阱发光强度略有下降,发光峰半高宽明显增大.这应是掺Si使量子阱界面质量变差导致的.而在完整LED结构的情况下,掺Si却大大提高了量子阱的发光强度.相对于未掺杂多量子阱LED结构,垒层掺Si使多量子阱的发光强度提高了13倍,阱层和垒层均掺Si使多量子阱的发光强度提高了28倍,并对这一现象进行了讨论. 展开更多
关键词 量子 AIGaInP MOCVD si掺杂 光致发光
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GeSi/Si多量子阱光波导模特性分析和吸收层结构设计
8
作者 李娜 李宁 +3 位作者 陆卫 沈学础 李国正 刘恩科 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期203-208,共6页
根据普适于任意阱数的方波折射率分布的多量子阱光波导的模场分布函数和模特征方程,分析了在以GeSi/Si多量子阱为波导芯、Si为覆盖层的光波导结构中.Ge含量、周期数、占空度、厚度、折射率分布等参量对光波导传播常数的影... 根据普适于任意阱数的方波折射率分布的多量子阱光波导的模场分布函数和模特征方程,分析了在以GeSi/Si多量子阱为波导芯、Si为覆盖层的光波导结构中.Ge含量、周期数、占空度、厚度、折射率分布等参量对光波导传播常数的影响.并结合吸收特点对MQW吸收层结构进行优化设计. 展开更多
关键词 GEsi/si 量子 光波导 吸收层 模特性
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Si上Si1-xGex:C 缓冲层的载流子分布
9
作者 夏冬梅 王荣华 +10 位作者 王琦 韩平 梅琴 陈刚 谢自力 修向前 朱顺明 顾书林 施毅 张荣 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期111-114,共4页
用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上生长了Ge组分渐变的Si1-xGex:C合金缓冲层.研究表明,较高温度下生长的Si1-xGex:C缓冲层中Ge的平均含量较高,其晶体质量要优于较低温度下生长的外延薄膜.载流子浓度沿衬底至表面方向逐渐上升且Si1-xGe... 用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上生长了Ge组分渐变的Si1-xGex:C合金缓冲层.研究表明,较高温度下生长的Si1-xGex:C缓冲层中Ge的平均含量较高,其晶体质量要优于较低温度下生长的外延薄膜.载流子浓度沿衬底至表面方向逐渐上升且Si1-xGex:C缓冲层总体呈p型导电,存在一局域n型导电区,本文对其导电分布特性进行了分析研究. 展开更多
关键词 化学气相淀积 si1-xgex:C缓冲层 载流子
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SiGe/Si多量子阱中垂直方向红外吸收及共振色散效应
10
作者 吴兰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期87-90,共4页
用垂直入射的中红外光束调制非掺杂SiGe Si量子阱中光致子带间吸收 .氩离子激光器作为子带间跃迁的光泵浦源在阱中产生载流子 ,红外调制光谱用步进式傅立叶变换光谱仪记录 .实验中观察到明显的层间干涉效应及与子带间跃迁有关的色散效... 用垂直入射的中红外光束调制非掺杂SiGe Si量子阱中光致子带间吸收 .氩离子激光器作为子带间跃迁的光泵浦源在阱中产生载流子 ,红外调制光谱用步进式傅立叶变换光谱仪记录 .实验中观察到明显的层间干涉效应及与子带间跃迁有关的色散效应 .理论和实验分析认为样品折射率变化造成的位相调制可以补偿吸收所造成的幅度调制 . 展开更多
关键词 siGe/si量子 红外吸收 硅锗多量子 垂直方向子带间吸收 色散效应 光致吸收 共振吸收
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用光电压谱研究 GeSi/Si 量子阱的带间光跃迁
11
作者 朱文章 徐恭勤 《集美航海学院学报》 1997年第4期20-24,共5页
在18~300K温度范围内,测量了x=0.2和0.5两种不同结构的GexSi1-x/Si应变层多量子阱的光电压谱,观测到HH1,LH1,HH2等激子光吸收跃迁信号以及TO声子辅助HH1激子光吸收跃迁信号.低温下的光电... 在18~300K温度范围内,测量了x=0.2和0.5两种不同结构的GexSi1-x/Si应变层多量子阱的光电压谱,观测到HH1,LH1,HH2等激子光吸收跃迁信号以及TO声子辅助HH1激子光吸收跃迁信号.低温下的光电压谱反映了量子阱台阶式的状态密度分布.方形势阱模型的理论计算结果与实验结果符合较好. 展开更多
关键词 GEsi/si 量子 带间光跃迁 光电压谱
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硅基上Si1-xGex合金的外延生长及性能研究 被引量:1
12
作者 袁紫媛 潘睿 +5 位作者 夏顺吉 魏炼 叶佳佳 李晨 陈延峰 芦红 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2178-2193,共16页
硅基上高质量的异质外延生长是实现高性能微电子器件的基础,本文通过低温分子束外延技术在Si衬底上实现了全组分的Si1-xGex(0<x≤1)薄膜的生长,并对Si1-xGex/Si异质结构的应力弛豫、热输运等方面展开了研究。运用低温外延和高温退火... 硅基上高质量的异质外延生长是实现高性能微电子器件的基础,本文通过低温分子束外延技术在Si衬底上实现了全组分的Si1-xGex(0<x≤1)薄膜的生长,并对Si1-xGex/Si异质结构的应力弛豫、热输运等方面展开了研究。运用低温外延和高温退火的方法实现了界面上位错的调控,获得了具有超高迁移率的Ge薄膜。此外,本文还介绍了硅基上Ge量子点的生长和调控。以上工作为大失配异质结构外延的理论研究和应用提供了新的思路和方法。 展开更多
关键词 分子束外延 si1-xgex合金 硅基锗 GE量子 异质外延 界面调控
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Ge/Si量子阱结构的C-V特性的模拟 被引量:1
13
作者 程佩红 黄仕华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期110-115,共6页
采用有限深对称方势阱近似模型求解薛定谔方程得到Ge/Si量子阱中的子能级分布,并基于迭代法数值求解泊松方程模拟计算了量子阱结构样品在不同偏压下的载流子浓度分布和C-V特性.C-V曲线上电容平台的存在是量子阱结构C-V特性的显著特征,... 采用有限深对称方势阱近似模型求解薛定谔方程得到Ge/Si量子阱中的子能级分布,并基于迭代法数值求解泊松方程模拟计算了量子阱结构样品在不同偏压下的载流子浓度分布和C-V特性.C-V曲线上电容平台的存在是量子阱结构C-V特性的显著特征,它与量子阱结构参数有密切的关系.随着覆盖层厚度的减小,C-V曲线上平台起始点的电容值增加,并且向低电压方向移动直至其消失.随着量子阱中的掺杂浓度提高,阱中的载流子浓度也会相应增加,那就需要更高的外加电压才能耗尽阱中的载流子,因此平台宽度也就随着掺杂浓度的增加而增加.当覆盖层厚度增加时,由于电压的分压作用,使得降在量子阱上的分压相应减少,因此需要更大的外加偏压才能使阱中载流子浓度全部耗尽,这就使平台的宽度增大.同样地,当覆盖层掺杂浓度增加时,覆盖层中更多的载流子转移到阱内,也就需要更高的外加偏压才能使阱中载流子全部耗尽,平台的宽度也就随之增大. 展开更多
关键词 Ge/si量子 C-V特性法 迭代法
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采用Ga(In,As)P异变缓冲层的GaP/Si衬底上InAs量子阱
14
作者 黄卫国 顾溢 +6 位作者 金宇航 刘博文 龚谦 黄华 王庶民 马英杰 张永刚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期253-261,共9页
本工作在GaP/Si衬底上基于In_(0.83)Al_(0.17)As异变缓冲层实现了InAs/In_(0.83)Al_(0.17)As量子阱的生长。研究了Ga_(x)In_(1-x)P和GaAs_(y)P_(1-y)递变缓冲层对量子阱结构材料性能的影响。采用Ga_(x)In_(1-x)P组分渐变缓冲层的样品X... 本工作在GaP/Si衬底上基于In_(0.83)Al_(0.17)As异变缓冲层实现了InAs/In_(0.83)Al_(0.17)As量子阱的生长。研究了Ga_(x)In_(1-x)P和GaAs_(y)P_(1-y)递变缓冲层对量子阱结构材料性能的影响。采用Ga_(x)In_(1-x)P组分渐变缓冲层的样品X射线衍射倒易空间衍射峰展宽更小,表明样品中的失配位错更少。两个样品均在室温下实现了中红外波段的光致发光,而采用Ga_(x)In_(1-x)P组分渐变缓冲层的样品在不同温度下都具有更高的光致发光强度。这些结果表明在GaP/Si复合衬底上采用阳离子混合的渐变缓冲层对生长中红外InAs量子阱结构具有相对更优的效果。 展开更多
关键词 量子 GaP/si 异变缓冲层 中红外
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Determination of conduction band edge characteristics of strained Si/Si1-xGex 被引量:15
15
作者 宋建军 张鹤鸣 +2 位作者 胡辉勇 戴显英 宣荣喜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第12期3827-3831,共5页
The feature of conduction band (CB) of Tensile-Strained Si(TS-Si) on a relaxed Si1-xGex substrate is systematically investigated, including the number of equivalent CB edge energy extrema, CB energy minima, the po... The feature of conduction band (CB) of Tensile-Strained Si(TS-Si) on a relaxed Si1-xGex substrate is systematically investigated, including the number of equivalent CB edge energy extrema, CB energy minima, the position of the extremal point, and effective mass. Based on an analysis of symmetry under strain, the number of equivalent CB edge energy extrema is presented; Using the K.P method with the help of perturbation theory, dispersion relation near minima of CB bottom energy, derived from the linear deformation potential theory, is determined, from which the parameters, namely, the position of the extremal point, and the longitudinal and transverse masses (m1^* and mt^*)are obtained. 展开更多
关键词 strained si/si1-xgex CONDUCTION-BAND K.P method
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垒层Si掺杂对多量子阱InGaN绿光LED性能的影响
16
作者 郝锐 马学进 +2 位作者 马昆旺 林志霆 李国强 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期186-189,263,共5页
InGaN系绿光LED的量子阱结构具有较高的In含量,InN与GaN之间较大的晶格失配度使得绿光器件的量子限制Stark效应更显著。对内建电场的屏蔽可以有效提高载流子的辐射复合效率。论文探讨了绿光多量子阱中垒层的Si掺杂对绿光器件性能的影响... InGaN系绿光LED的量子阱结构具有较高的In含量,InN与GaN之间较大的晶格失配度使得绿光器件的量子限制Stark效应更显著。对内建电场的屏蔽可以有效提高载流子的辐射复合效率。论文探讨了绿光多量子阱中垒层的Si掺杂对绿光器件性能的影响。研究发现,多量子阱中垒层适度Si掺杂(3.4×1016 cm-3)可以改善多量子阱结构界面质量和In组分波动,在外加正向电流的作用下更大程度地屏蔽极化电场;同时,还能够增强电流的横向扩展性,提高活化区的有效发光面积。然而,多量子阱中垒层的过度Si掺杂对于绿光LED器件的性能带来诸多的负面影响,比如加剧阱垒晶格失配、漏电途径明显增加等,致使器件光效大幅度降低。 展开更多
关键词 绿光LED INGAN 量子 si掺杂 量子限制Stark效应
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硅基Si/Si0.65Ge0.35多量子阱APD响应特性的研究 被引量:1
17
作者 赵永红 孙芳魁 +1 位作者 丁卫强 刘燕玲 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 2019年第3期359-362,共4页
以硅基材料为基底,外延生长20周期Si/Si0.65Ge0.35多量子阱结构的雪崩光电二极管(APD)探测器,分析了硅基量子阱结构的APD探测器能带对光子探测波长和响应灵敏度的影响。利用SilvacoTCAD进行工艺建模和光电性能仿真模拟。仿真结果表明,... 以硅基材料为基底,外延生长20周期Si/Si0.65Ge0.35多量子阱结构的雪崩光电二极管(APD)探测器,分析了硅基量子阱结构的APD探测器能带对光子探测波长和响应灵敏度的影响。利用SilvacoTCAD进行工艺建模和光电性能仿真模拟。仿真结果表明,量子阱结构APD探测器响应峰值波长为0.95μm,探测响应截止波长为1.4μm,探测响应度提高了38%,实现了硅基APD探测器对微弱高频近红外光子的响应。 展开更多
关键词 硅基APD si/si0.65 Ge0.35 量子 响应特性 红外吸收
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太赫兹Si/SiGe量子级联激光器的能带设计 被引量:4
18
作者 林桂江 赖虹凯 +2 位作者 李成 陈松岩 余金中 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期916-920,共5页
使用nextnano^3模拟软件计算Si/Si1-xGex/Si量子阱的能带结构,对Si/SiGe量子级联激光器有源区的能带结构进行设计,结果表明使用Ge组分为0.27~0.3,量子阱宽度为3nm的SiGe合金与垒宽为3nm的Si层构成对称应变级联异质结构,有利... 使用nextnano^3模拟软件计算Si/Si1-xGex/Si量子阱的能带结构,对Si/SiGe量子级联激光器有源区的能带结构进行设计,结果表明使用Ge组分为0.27~0.3,量子阱宽度为3nm的SiGe合金与垒宽为3nm的Si层构成对称应变级联异质结构,有利于优化THz Si/SiGe量子级联激光器结构。 展开更多
关键词 si/siGE 量子级联激光器 子带间跃迁 nextnano^3
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高频大功率Si_(1-x)Ge_x/Si HBT研究进展 被引量:3
19
作者 薛春来 成步文 +1 位作者 姚飞 王启明 《微纳电子技术》 CAS 2004年第9期14-21,共8页
回顾了Si_(1-x)Ge_x/Si HBT在几十年中的重要进展以及目前的研究现状。通过不同材料器件的对比表明,Si1-xGex/SiHBT在高频功率应用方面存在着巨大的优势,并将在未来无线通信和射频设计中占据重要地位。通过对研制成功的高频大功率Si1-xG... 回顾了Si_(1-x)Ge_x/Si HBT在几十年中的重要进展以及目前的研究现状。通过不同材料器件的对比表明,Si1-xGex/SiHBT在高频功率应用方面存在着巨大的优势,并将在未来无线通信和射频设计中占据重要地位。通过对研制成功的高频大功率Si1-xGex/SiHBT性能参数和结构的分析,深刻探讨了目前限制高频大功率Si1-xGex/SiHBT发展的问题,提出了解决办法和对进一步研究的想法。 展开更多
关键词 si1-xgex/si HBT 大功率 高频
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Si_(1-x)Ge_x/SOI材料的基本性质与应用前景 被引量:4
20
作者 张海鹏 章红芳 吕幼华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期35-40,共6页
主要讨论了Si1-xGex/SOI材料的Si1-xGex应变层临界厚度、折射率增量、载流子迁移率、超晶格的线性电光效应、等离子色散效应等基本性质,比较了SOI、Si1-xGex/SOI光波导与石英光波导在光、光电集成方面的优势,简述了与体硅相比,SOI在VLS... 主要讨论了Si1-xGex/SOI材料的Si1-xGex应变层临界厚度、折射率增量、载流子迁移率、超晶格的线性电光效应、等离子色散效应等基本性质,比较了SOI、Si1-xGex/SOI光波导与石英光波导在光、光电集成方面的优势,简述了与体硅相比,SOI在VLSI应用方面的优越性及其在微电子领域的广泛应用。最后探讨了SiGe/SOI材料在光电集成和光集成领域的巨大应用前景。 展开更多
关键词 si1-xgex/SOI 应变层 光波导 光电集成 超晶格 应用
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