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薄膜结构对Si/SiO_2 I-V特性的影响 被引量:1
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作者 马自军 马书懿 《物理实验》 北大核心 2009年第3期10-13,共4页
用射频磁控溅射法制备了3种结构的Si/SiO2纳米薄膜,测定了薄膜的I-V特性.实验结果分析表明,薄膜结构是影响其I-V特性的主要因素.
关键词 射频磁控溅射 si/sio2纳米薄膜 I-V特性
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Si/SiO_2/p-Si结构的电学特性
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作者 马自军 马书懿 《甘肃科技》 2008年第7期83-84,共2页
用射频磁控溅射法在p-Si衬底上制备了Si/SiO2薄膜,利用Au/(Si/SiO2)/p-Si结构的I-V特性曲线对其电学特性进行了分析。结果表明,样品具有很好的整流作用,起整流作用的势垒存在于(Si/SiO2)/p-Si界面附近。
关键词 si/sio2薄膜 射频磁控溅射 I-V特性 能带图
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Transport and electroluminescence mechanism in Au/(Si/SiO_2)/P-Si film 被引量:1
3
作者 ZHANG Kai-biao MA Shu-yi MA Zi-jun CHEN Hai-xia 《Optoelectronics Letters》 EI 2006年第1期48-50,共3页
The samples of Au/(Si/SiO2 )/p-Si structure were fabricated by using the R. F magnetron sputtering technique. Its carrier transport and electroluminescence mechanism were studied from the Ⅰ-Ⅴ curves and EL spectra... The samples of Au/(Si/SiO2 )/p-Si structure were fabricated by using the R. F magnetron sputtering technique. Its carrier transport and electroluminescence mechanism were studied from the Ⅰ-Ⅴ curves and EL spectra by using the Configuration Coordinate as a theoretical model. The result indicates that there are two defect centers in SiO2 films. The electron in Au and the hole in p-Si went into SiO2 film by the Fowler-Nordheim tunneling model at a high bias voltage and recombined through these defect centers in SiO2 film. 展开更多
关键词 光致发电 薄膜 Au/(si/sio2 )/p-si 磁电管 电子散射
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LiNbO_3/SiO_2/Si薄膜的蓝光发射 被引量:1
4
作者 刘技文 刘莹 +3 位作者 张澎丽 赵捷 马永昌 安玉凯 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1063-1066,共4页
采用射频磁控溅射方法制备了LiNbO3/SiO2/Si薄膜。通过X射线衍射(XRD)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)和傅立叶变换红外吸收光谱(FT-IR)对薄膜的物相、晶体取向和成分进行了表征。采用荧光分光光度计研究了LiNbO3/SiO2/Si薄膜的光致发... 采用射频磁控溅射方法制备了LiNbO3/SiO2/Si薄膜。通过X射线衍射(XRD)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)和傅立叶变换红外吸收光谱(FT-IR)对薄膜的物相、晶体取向和成分进行了表征。采用荧光分光光度计研究了LiNbO3/SiO2/Si薄膜的光致发光。研究结果表明:在280 nm激发光的激发下,LiNbO3/SiO2/Si薄膜在室温下发射470 nm的蓝光,来源于LiNbO3薄膜与SiO2层界面处自捕获激子的辐射复合,发现在SiO2/Si薄膜上生长LiNbO3薄膜调制SiO2/Si薄膜的发光机制。 展开更多
关键词 LiNbO3/sio2/si薄膜 sio2 光致发光
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Au/(Si/SiO_2)/p型Si结构的可见电致发光研究 被引量:2
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作者 马书懿 王印月 刘雪芹 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第4期354-356,共3页
Si SiO2 薄膜采用射频磁控溅射技术制备 ,当正向偏压大于 5V时即可观测到来自不同Si层厚度的Au (Si SiO2 ) p Si结构在室温下的可见电致发光 ,其发光谱峰位均位于 6 6 0nm处 ,测得的各种偏压下的发光峰位不随正向偏压的升高而移动。实... Si SiO2 薄膜采用射频磁控溅射技术制备 ,当正向偏压大于 5V时即可观测到来自不同Si层厚度的Au (Si SiO2 ) p Si结构在室温下的可见电致发光 ,其发光谱峰位均位于 6 6 0nm处 ,测得的各种偏压下的发光峰位不随正向偏压的升高而移动。实验结果表明光发射主要来自于SiO2 层中的发光中心上的复合发光。 展开更多
关键词 si/sio2薄膜 电致发光 发光中心 复合发光
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