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热退火γ-Al_2O_3/Si异质结构薄膜质量改进 被引量:1
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作者 谭利文 王俊 +5 位作者 王启元 郁元桓 刘忠立 邓惠芳 王建华 林兰英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1178-1181,共4页
采用高真空 MOCVD外延技术 ,利用 TMA( Al( CH3) 3)和 O2 作为反应源 ,在 Si( 10 0 )衬底上外延生长γ-Al2 O3 绝缘膜形成 γ-Al2 O3/ Si异质结构材料 .同时 ,引入外延后退火工艺以便改善 γ-Al2 O3 薄膜的晶体质量及电学性能 .测试结... 采用高真空 MOCVD外延技术 ,利用 TMA( Al( CH3) 3)和 O2 作为反应源 ,在 Si( 10 0 )衬底上外延生长γ-Al2 O3 绝缘膜形成 γ-Al2 O3/ Si异质结构材料 .同时 ,引入外延后退火工艺以便改善 γ-Al2 O3 薄膜的晶体质量及电学性能 .测试结果表明 ,通过在 O2 常压下的退火工艺可以有效地消除γ-Al2 O3 外延层的残余热应力及孪晶缺陷 ,改善外延层的晶体质量 ,同时可以提高 MOS电容的抗击穿能力 。 展开更多
关键词 热退火 γAl2O3 si异质结构薄膜 SOI MOCVD γ氧化铝 半导体
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Fabrication of GaAs/Si Heterostructures and Their Photoelectric Properties
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作者 LIU Xiang WU Chang-shu +2 位作者 ZHANG Peng-xiang LIU Li-lai Kim Tae-whan 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第2期146-149,163,共5页
Fabrication of GaAs/Si heterostructures and their photoelectric properties are investigated by Raman, photoluminescence and Hall-effect measurements. The crystallinity of GaAs epilayers grown on Si substrate is signif... Fabrication of GaAs/Si heterostructures and their photoelectric properties are investigated by Raman, photoluminescence and Hall-effect measurements. The crystallinity of GaAs epilayers grown on Si substrate is significantly affected by the substrate orientation and the growth method. The photoelectric properties of GaAs epilayers grown on Si (211) substrates deposited by using a two-step growth method are improved. These results indicate that GaAs epilayers grown on Si (100) and Si (211) substrates by using two-step growth method are promising for potential applications in high-speed and high-frequency photoelectric devices. 展开更多
关键词 HETEROSTRUCTURE two-step growth buffer layer
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