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VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能
被引量:
2
1
作者
李栋
孟凡平
+1 位作者
薛群基
黄峰
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期59-63,共5页
目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶(V50Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。...
目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶(V50Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果 Si在涂层中以Si3N4非晶相存在,Si3N4起到细化晶粒的作用,少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后,Si3N4非晶相成为涂层中的主相,导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。
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关键词
VAl
si
N硬质涂层
si掺入
机械性能
下载PDF
职称材料
题名
VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能
被引量:
2
1
作者
李栋
孟凡平
薛群基
黄峰
机构
中国科学院海洋材料与应用技术重点实验室
浙江省海洋与防护技术重点实验室
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期59-63,共5页
基金
中国科学院"百人计划"~~
文摘
目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶(V50Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果 Si在涂层中以Si3N4非晶相存在,Si3N4起到细化晶粒的作用,少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后,Si3N4非晶相成为涂层中的主相,导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。
关键词
VAl
si
N硬质涂层
si掺入
机械性能
Keywords
VAl
si
N hard coatings
si
licon addition
mechanical properties
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能
李栋
孟凡平
薛群基
黄峰
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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职称材料
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