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含Si-H键硅炔聚合物的陶瓷化及其多孔陶瓷材料的制备与性能
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作者 兰加水 钟伟 陈明锋 《广州化工》 CAS 2024年第22期48-50,66,共4页
以含Si-H键硅炔聚合物为先驱体,采用先驱体转化法制备一种硅基陶瓷,研究含Si-H键硅炔聚合物的陶瓷化过程。并以此为基础,通过牺牲模板法制备多孔陶瓷材料。采用SEM、EDS、XRD、Raman等方法研究陶瓷化产物及其多孔陶瓷材料的性能。结果表... 以含Si-H键硅炔聚合物为先驱体,采用先驱体转化法制备一种硅基陶瓷,研究含Si-H键硅炔聚合物的陶瓷化过程。并以此为基础,通过牺牲模板法制备多孔陶瓷材料。采用SEM、EDS、XRD、Raman等方法研究陶瓷化产物及其多孔陶瓷材料的性能。结果表明:陶瓷化温度从1 000℃升高至1 600℃,都具有较高的陶瓷化产率(>75%),无定形碳向石墨碳转化的程度不断增大。所制备的多孔陶瓷材料密度为0.29 g·cm^(-3),比表面积约为532.8 cm^(2)·g^(-1),孔径分布主要集中在4 nm左右。 展开更多
关键词 si-h键硅炔聚合物 陶瓷化 多孔陶瓷材料
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CdS/Si nanofilm heterojunctions based on amorphous silicon films:Fabrication,structures,and electrical properties
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作者 Yong Li Peng-Fei Ji +3 位作者 Yue-Li Song Feng-Qun Zhou Hong-Chun Huang Shu-Qing Yuan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期385-389,共5页
Shortening the distance between the depletion region and the electrodes to reduce the trapped probability of carriers is a useful approach for improving the performance of heterojunction.The CdS/Si nanofilm heterojunc... Shortening the distance between the depletion region and the electrodes to reduce the trapped probability of carriers is a useful approach for improving the performance of heterojunction.The CdS/Si nanofilm heterojunctions are fabricated by using the radio frequency magnetron sputtering method to deposit the amorphous silicon nanofilms and Cd S nanofilms on the ITO glass in turn.The relation of current density to applied voltage(I-V)shows the obvious rectification effect.From the analysis of the double logarithm I-V curve it follows that below~2.73 V the electron behaviors obey the Ohmic mechanism and above~2.73 V the electron behaviors conform to the space charge limited current(SCLC)mechanism.In the SCLC region part of the traps between the Fermi level and conduction band are occupied,and with the increase of voltage most of the traps are occupied.It is believed that Cd S/Si nanofilm heterojunction is a potential candidate in the field of nano electronic and optoelectronic devices by optimizing its fabricating procedure. 展开更多
关键词 magnetron sputtering CdS/si nanofilm heterojunctions electron behaviors SCLC mechanisms
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a-Si∶H-TFT阈值电压漂移机理及其在驱动OLED显示中的补偿设计 被引量:3
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作者 刘金娥 廖燕平 +3 位作者 荆海 张志伟 付国柱 邵喜斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期491-496,共6页
分析了a-Si∶H-TFT阈值电压漂移的机理,即分析了栅偏应力下电荷注入到SiNx∶H栅绝缘层和a-Si∶H中亚稳态的产生对TFT阈值电压漂移的影响。根据非晶硅中亚稳态产生的特点,并针对驱动OLED的两管a-Si∶H-TFT像素电路,提出了一种通过对数据... 分析了a-Si∶H-TFT阈值电压漂移的机理,即分析了栅偏应力下电荷注入到SiNx∶H栅绝缘层和a-Si∶H中亚稳态的产生对TFT阈值电压漂移的影响。根据非晶硅中亚稳态产生的特点,并针对驱动OLED的两管a-Si∶H-TFT像素电路,提出了一种通过对数据信号时序的重新设计来补偿阈值电压漂移的方法,即在数据信号间加插一个与数据信号极性相反的补偿信号。通过这种正负交替的信号,使驱动管TFT中由亚稳态造成的阈值电压漂移始终保持在一个动态平衡的过程,来实现驱动OLED电流稳定的目的。 展开更多
关键词 OLED a—si:h—TFT 阈值电压漂移 电荷注入 亚稳态 补偿方法
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a-Si∶H TFT亚阈值区SPICE模型的研究 被引量:2
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作者 邵喜斌 王丽娟 李梅 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期267-272,共6页
研究了将非晶硅薄膜晶体管(a-Si∶HTFT)在电路模拟程序(SPICE)中使用的亚阈值区模型,将亚阈值区分为亚阈值前区和亚阈值后区并建立了模型,对比了不同模型下的模拟结果,发现亚阈值区的TFT特性依赖于材料性质,而且亚阈值前区和亚阈值后区... 研究了将非晶硅薄膜晶体管(a-Si∶HTFT)在电路模拟程序(SPICE)中使用的亚阈值区模型,将亚阈值区分为亚阈值前区和亚阈值后区并建立了模型,对比了不同模型下的模拟结果,发现亚阈值区的TFT特性依赖于材料性质,而且亚阈值前区和亚阈值后区的特性受栅源电压VGS和漏源电压VDS的影响,呈指数变化。提出的新模型考虑了前界面态、后界面态、局域态、材料及制作工艺等因素,体现了该区域电流对漏源电压VDS强烈的依赖关系。使用新模型对实验数据的拟合结果优于以往的模型,能够比较精确地模拟亚阈值区的特性,可用来预测a-Si∶HTFT的性能,对TFT阵列的模拟设计具有重要价值。 展开更多
关键词 a—si:h TFT SPICE模型 亚阈值区
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掺铒a-Si∶H,O薄膜1.54μm光致发光和微结构 被引量:6
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作者 陈维德 梁建军 王永谦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期988-992,共5页
采用等离子化学气相淀积方法 ,改变 Si H4 和 N2 O的流量比制备含有不同氧浓度的 a- Si∶ H,O薄膜 .用离子注入方法掺入铒 ,经 30 0— 935℃快速热退火 ,在波长 1 .54μm处观察到很强的室温光致发光 .氧的加入可以大大提高铒离子的发光... 采用等离子化学气相淀积方法 ,改变 Si H4 和 N2 O的流量比制备含有不同氧浓度的 a- Si∶ H,O薄膜 .用离子注入方法掺入铒 ,经 30 0— 935℃快速热退火 ,在波长 1 .54μm处观察到很强的室温光致发光 .氧的加入可以大大提高铒离子的发光强度 ,并且发光强度随氧含量的变化有一个类似于高斯曲线的分布关系 ,不是单调地随氧含量的增加而增强 .研究了掺铒 a- Si∶ H,O薄膜和微结构 ,讨论了发光强度与薄膜微结构的关系 . 展开更多
关键词 掺铒 a-si:h O薄膜 光致发光 微结构 半导体
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驱动AM-OLED的2-a-Si∶H TFT的设计与制作 被引量:4
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作者 刘金娥 廖燕平 +5 位作者 齐小薇 高文涛 荆海 付国柱 李世伟 邵喜斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期660-667,共8页
a-Si∶H/SiNx∶HTFT在长时间栅偏应力作用下,会产生阈值电压漂移,这主要是由绝缘层电荷注入和有源层亚稳态产生而引起的。针对电荷注入现象,文章首先通过控制源气体SiH4和NH3流量的不同,利用PECVD制作了不同N/Si比(0.87~1.68)的氮化硅... a-Si∶H/SiNx∶HTFT在长时间栅偏应力作用下,会产生阈值电压漂移,这主要是由绝缘层电荷注入和有源层亚稳态产生而引起的。针对电荷注入现象,文章首先通过控制源气体SiH4和NH3流量的不同,利用PECVD制作了不同N/Si比(0.87~1.68)的氮化硅绝缘材料,对其进行了椭偏、红外和光电子散射能谱(EDS)测试。制作了不同的MIS结构电容,对其进行老化实验和C-V测试分析,结果表明稍富氮(N/Si比稍大于标准Si3N4的化学计量比1.33)的氮化硅做成的MIS样品在老化前后C-V曲线偏移不是很明显,表明其缺陷态密度相对较小,能够有效减小半导体/绝缘层界面间的电荷注入。设计了驱动OLED的2-a-Si∶HTFT像素电路及其阵列版图,优化了电路中的几个关键参数,即T1的W/L=2.5、T2的W/L=25和存储电容Cs=0.8pF。运用7PEP生产工艺,制作了13cm(5.2in)的TFT阵列样品。对TFT进行I-V特性测试,其开态电流为10μA,开关比为106;对AMOLED显示屏样品进行了静态驱动下的亮度测试,其最高亮度为341cd/m2。 展开更多
关键词 OLED 阈值电压漂移 N/si C-V 2-a-si:h TFT
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氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜稳定性的研究进展 被引量:12
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作者 廖乃镘 李伟 +3 位作者 蒋亚东 匡跃军 李世彬 吴志明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期21-24,共4页
氢化非晶硅(a-Si∶H)是一种重要的光敏感薄膜材料,其稳定性的好坏是决定能否应用于器件的重要因素之一。介绍了a-Si∶H薄膜稳定性的研究进展,论述了a-Si∶H薄膜的稳定性与Si-Si弱键的关系,分析了光致衰退效应(S-W效应)产生的几种机理,... 氢化非晶硅(a-Si∶H)是一种重要的光敏感薄膜材料,其稳定性的好坏是决定能否应用于器件的重要因素之一。介绍了a-Si∶H薄膜稳定性的研究进展,论述了a-Si∶H薄膜的稳定性与Si-Si弱键的关系,分析了光致衰退效应(S-W效应)产生的几种机理,提出了在薄膜制备和后处理过程中消除或减少Si-Si弱键以提高a-Si∶H薄膜稳定性的方法。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 稳定性 光致衰退效应 物理模型 稳定化处理
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Al/a-Si∶H复合薄膜的电导性能 被引量:4
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作者 王瑞春 杜丕一 +1 位作者 翁文剑 韩高荣 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1067-1072,共6页
采用真空热蒸发与PECVD方法 ,在经特殊设计的“单反应室双沉积”设备中沉积了Al/a Si∶H复合薄膜 ,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman及X射线光电子谱等方法对复合薄膜在不同Al层厚度和不同温度退火后的晶化及电导行为进行了研究 ... 采用真空热蒸发与PECVD方法 ,在经特殊设计的“单反应室双沉积”设备中沉积了Al/a Si∶H复合薄膜 ,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman及X射线光电子谱等方法对复合薄膜在不同Al层厚度和不同温度退火后的晶化及电导行为进行了研究 .结果表明 ,Al/a Si∶H复合薄膜在不高于 2 5 0℃的退火条件下即开始出现硅的晶体相 .退火温度越高 ,Al层越厚 ,形成多晶硅的量越多 .Al/a Si∶H复合薄膜的电导率受Al原子在a Si∶H中掺杂效应的影响 ,比纯a Si∶H薄膜的大 .随着硅晶体相在复合薄膜中的生成 ,复合薄膜的电导率受晶相比控制 ,晶相比增加 ,电导率增大 . 展开更多
关键词 Al/a-si:h复合薄膜 Al诱导晶化 多晶硅 晶相比 电导率
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Si:H薄膜的微结构及输运性质 被引量:3
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作者 周心明 郑家贵 +5 位作者 曾家玉 黄天荃 邱淑蓁 蔡亚平 徐晓菲 冯良桓 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期82-88,共7页
用扫描电镜观察Si:H薄膜的剖面,发现用平板电极沉积的Si:H薄膜呈柱状结构,而用环形电极沉积的膜具有层状结构。喇曼谱和X射线谱表明,这两种结构对应于微晶相的存在。测定薄膜的暗电导与温度间的关系,发现薄膜的电导激话能为各向异性。... 用扫描电镜观察Si:H薄膜的剖面,发现用平板电极沉积的Si:H薄膜呈柱状结构,而用环形电极沉积的膜具有层状结构。喇曼谱和X射线谱表明,这两种结构对应于微晶相的存在。测定薄膜的暗电导与温度间的关系,发现薄膜的电导激话能为各向异性。联系耦合方式讨论了薄膜的生长机制。 展开更多
关键词 si:h薄膜 微结构 输运性质
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衬底温度对nc-Si:H薄膜微结构和氢键合特征的影响 被引量:1
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作者 陈乙豪 蒋冰 +2 位作者 马蕾 李钗 彭英才 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2033-2037,2042,共6页
采用射频等离子体增强型化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以H2和SiH4作为反应气体源,在不同的衬底温度下沉积了nc-Si∶H薄膜。采用Raman散射、X射线衍射、红外吸收等技术分析了薄膜的微结构和氢键合特征。结果表明,随衬底温度的升高,nc-Si∶... 采用射频等离子体增强型化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以H2和SiH4作为反应气体源,在不同的衬底温度下沉积了nc-Si∶H薄膜。采用Raman散射、X射线衍射、红外吸收等技术分析了薄膜的微结构和氢键合特征。结果表明,随衬底温度的升高,nc-Si∶H薄膜的沉积速率不断增大,晶化率和晶粒尺寸增加,纳米硅颗粒呈现出Si(111)晶面的择优生长趋势。键合特性显示,薄膜中的氢含量随衬底温度升高而逐渐减小,薄膜均匀性先增大后减小。 展开更多
关键词 nc—si h薄膜 射频等离子体增强型化学气相沉积 衬底温度 氢键合
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a-Si∶H薄膜固相晶化法制备多晶硅薄膜 被引量:17
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作者 陈城钊 方健文 林璇英 《浙江师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第3期246-249,共4页
利用固相晶化法获得多晶硅薄膜 (退火温度 70 0~ 80 0℃ ) ,采用XRD、Raman等分析手段进行了表征与分析 .研究结果表明 :晶粒平均尺寸随着退火温度的降低、掺杂浓度的减少、薄膜厚度的增加而增加 ;并且退火后薄膜暗电导率提高了 2~
关键词 多晶硅薄膜 固相晶化法 α—si:h薄膜 平均晶粒尺寸 退火温度 掺杂浓度 薄膜厚度
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低Ca/Si比的C-S-H凝胶产物在抑制AAR中的作用 被引量:10
12
作者 魏风艳 吕忆农 +1 位作者 兰祥辉 许仲梓 《南京工业大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第4期98-102,共5页
碱是混凝土发生碱-集料(AAR)反应的重要因素之一。许多资料报道低Ca/Si比的C-S-H凝胶对碱有强烈的吸附作用。从C-S-H凝胶的组成出发,指出低Ca/Si比的C-S-H凝胶在抑制AAR中的作用,解释了低Ca/Si的C-S-H凝胶对碱的吸附能力强的原因及其影... 碱是混凝土发生碱-集料(AAR)反应的重要因素之一。许多资料报道低Ca/Si比的C-S-H凝胶对碱有强烈的吸附作用。从C-S-H凝胶的组成出发,指出低Ca/Si比的C-S-H凝胶在抑制AAR中的作用,解释了低Ca/Si的C-S-H凝胶对碱的吸附能力强的原因及其影响因素。为在实际工程应用中掺加混合材来抑制AAR反应,提高混凝土耐久性有重大指导意义。 展开更多
关键词 CA/si C-S-h凝胶 AAR 碱-集料 吸附作用 辅助性胶凝材料
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运用SI模型评估甲型H1N1流感暴发的控制措施 被引量:2
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作者 张皓 戚晓东 +4 位作者 徐勇 官旭华 燕虹 施国庆 李勤 《中国卫生统计》 CSCD 北大核心 2014年第5期756-758,共3页
目的运用SI模型评估甲型H1N1流感暴发的控制措施。方法运用无移除的SI模型,预测在未采取控制措施的情况下可能的病例数,与实际发病数进行比较。结果采取隔离措施后,罹患率降低3.6倍,预期病例数减少了82%。结论落实晨午检、及时隔离病人... 目的运用SI模型评估甲型H1N1流感暴发的控制措施。方法运用无移除的SI模型,预测在未采取控制措施的情况下可能的病例数,与实际发病数进行比较。结果采取隔离措施后,罹患率降低3.6倍,预期病例数减少了82%。结论落实晨午检、及时隔离病人、保持良好的洗手习惯等措施能有效控制甲型H1N1流感暴发。 展开更多
关键词 si模型 甲型h1N1流感 控制
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Al诱导a-Si:H薄膜的晶化 被引量:9
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作者 祁菁 金晶 +1 位作者 胡海龙 贺德衍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)... 采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)结晶取向的多晶Si薄膜。X射线光电子能谱分析表明 ,热处理过程中Al向Si薄膜表面的扩散降低了Si的成核温度。 展开更多
关键词 A-si:h薄膜 si衬底 非晶硅 幅度 等离子体化学气相沉积 晶化 单晶 结晶取向 热处理过程 成核
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Li-Fe-Si-H_2O体系的热力学分析 被引量:4
15
作者 张有新 曹才放 +1 位作者 刘旭恒 赵中伟 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期428-433,共6页
根据已有热力学数据,绘制25℃时Li-Fe-Si-H2O体系各溶解组分的lgc-pH图、Li-Fe-Si-H2O体系主要物种的优势区图和强碱性区域Li-Fe-Si-H2O体系各沉淀的优势区图。利用这些平衡图对液相制备硅酸铁锂的工艺条件进行热力学分析。研究结果表明... 根据已有热力学数据,绘制25℃时Li-Fe-Si-H2O体系各溶解组分的lgc-pH图、Li-Fe-Si-H2O体系主要物种的优势区图和强碱性区域Li-Fe-Si-H2O体系各沉淀的优势区图。利用这些平衡图对液相制备硅酸铁锂的工艺条件进行热力学分析。研究结果表明:控制溶液的碱度是制备磷酸铁锂前驱体Li2H2SiO4·Fe(OH)2的关键因素,若要利用Li+,Fe2+和H2SiO24-在液相形成Li2H2SiO4·Fe(OH)2,则要维持溶液较高的碱度,使得Li+能与H2SiO42-生成Li2H2SiO4沉淀,并且抑制FeH2SiO4的生成,使Fe2+以Fe(OH)2的形式沉淀;溶液体系的碱性越强,Li2H2SiO4·Fe(OH)2的优势区域越宽,更有利于Li2H2SiO4·Fe(OH)2的合成;采用液相法制备硅酸铁锂时,由于pH值大于15,体系的碱度较高,溶液中Fe2+极容易被氧化,故制备过程难以实现;而利用固相法制备硅酸铁锂,其保护性气氛容易控制,工艺简单,流程短,便于实现。 展开更多
关键词 Li—Fe—sih2O体系 硅酸铁锂 热力学 Li2h2siO4·Fe(Oh)2
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用椭偏法研究掺磷a-Si∶H薄膜的光学特性 被引量:5
16
作者 匡跃军 李伟 +4 位作者 廖乃镘 蒋亚东 宋震 黄清海 祁康成 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期829-832,共4页
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用T... 用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用Tauc作图法推算出了薄膜的光学带隙。 展开更多
关键词 椭偏法 掺磷a-si:h薄膜 光学常数
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HWCVD工艺参数对a-Si∶H薄膜结构及其对单晶硅片钝化效果的影响研究 被引量:5
17
作者 何玉平 黄海宾 +3 位作者 周浪 宁武涛 袁吉仁 李丹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第22期22067-22070,22073,共5页
采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增... 采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增大先减少后增大;(2)热丝衬底间距4.0cm相比7.5cm沉积的a-Si∶H薄膜微观结构中,SiH2键相比SiH键的比例更高,钝化效果也更好;(3)本文范围内,工艺参数分别为热丝衬底间距4.0cm时气压1.5Pa,沉积电流21.5A情况下钝化效果最优,钝化后硅片的表面复合速率为2.9cm/s。 展开更多
关键词 hWCVD a-sih 钝化 ε_(2) FT-IR sih_(n) 微观结构参数R^(*)
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PECVD工艺参数对nc-Si∶H膜质量的影响 被引量:4
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作者 彭英才 刘明 何宇亮 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期277-280,共4页
研究了PECVD生长ncSi∶H膜过程中SiH4气体稀释比、平衡反应气压、衬底温度、等离子体射频功率和直流负偏压等各种工艺参数对生成膜层质量的影响。
关键词 nc-si:h 膜层质量 工艺参数 PECVD
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Si_5H_3,Si_5H_6,Si_5Li_3及Si_5Na_3原子簇结构的理论研究 被引量:1
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作者 孙仁安 刘永东 +2 位作者 孙延波 丛尧 张之佩 《分子科学学报》 CAS CSCD 2003年第2期103-108,共6页
 利用Gaussian-94计算程序中的B3LYP方法,在6-311+G(2d)6d基组下,对Si5,Si5H3,Si5H6,Si5Li3和Si5Na3原子簇的几何结构进行优化和频率计算.结果表明,Si5原子簇中最稳定的具有D3h对称性的结构中,位于同一平面上的3个Si原子确实具有剩余...  利用Gaussian-94计算程序中的B3LYP方法,在6-311+G(2d)6d基组下,对Si5,Si5H3,Si5H6,Si5Li3和Si5Na3原子簇的几何结构进行优化和频率计算.结果表明,Si5原子簇中最稳定的具有D3h对称性的结构中,位于同一平面上的3个Si原子确实具有剩余的成键能力,可以与3个H,Li,Na原子和6个H原子形成稳定的化合物.研究还发现,虽然H,Li和Na都属同一主族,但它们与Si5原子簇中Si原子的键连方式却不同,而且它们的加入,对Si5原子簇的"三角双锥"结构也有不同的影响. 展开更多
关键词 si5h3 si5h6 si5Li3 si5Na3 硅原子簇 结构 理论研究 几何构型
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Determination of Structure and Polarity of Si C Single Crystal by X-Ray Diffraction Technique 被引量:1
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作者 郑新和 渠波 +2 位作者 王玉田 杨辉 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期35-39,共5页
Structure and polarity of the Si C single crystal have been analyzed with the four- circle X- ray diffraction method by a double- crystal diffractom eter.The hexagonal{ 10 15 } pole figure shows that this Si C sam pl... Structure and polarity of the Si C single crystal have been analyzed with the four- circle X- ray diffraction method by a double- crystal diffractom eter.The hexagonal{ 10 15 } pole figure shows that this Si C sam ple has a6 H modification.The difference between the integrated intensities m easured byω scan in the triple- axis diffraction set- up finds some convincing evidence that the surface is either a Si- terminated face or C- terminated face.The experi- mental ratios of| F( 0 0 0 L) | 2 / | F( 0 0 0 L) | 2 are in good agreem entwith the calculated ones after the dispersion cor- rections to the atomic scattering factors( L=6 ,12 and18,respectively) .Thus,this m easurem ent technique is con- venient for the application of the materials with remarkable surface polarity. 展开更多
关键词 si C single crystal polarity hexagonal6 h scattering factor
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