反应条件对硅烷均相热解产物形态和组成的影响

在垂直的空管反应器内,采用硅烷热解法得到不同反应条件下的均相热解非晶硅粉末产物,利用红外漫反射和扫描电镜等方法对所得产物进行了分析,研究论述了反应温度、操作气速和硅烷体积分数对非晶硅产物微观形态、粒度分布和Si—H结构组成等性质的影响;采用红外漫反射方法分析Si—H结构,将SiH2和SiH结构的吸收峰量化,能够有效地由非晶硅的结构角度帮助理解硅烷均相热解过程的机理。结果表明,反应温度越高(550℃)、操作气量越低(600 mL/min)、硅烷体积分数越高(5%)时,产物的粒度越大,但其粒度分布范围仅受反应温度影响;对于产物的Si—H结构,反应温度影响最强,硅烷体积分数影响很小。