Si2F6检测及其应用概述

六氟乙硅烷一个最重要的应用是作为储存二氟化硅的原料,热解即可以提供二氟化硅,二氟化硅作为制备很多含氟硅化合物的中间体,产量稳定、持续提供将对很多含氟硅化合物制备分离,研究其结构性质,物理、化学性质有重要影响,而其中最关键一步是制取二氟化硅。本文综述六氟乙硅烷的来源、制备、检测方法,及其应用,同时对六氟乙硅烷前景进行展望。