不同状态的SiAl丝对混合集成电路键合点根部损伤的影响

键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效。本文通过优化键合机器的工艺参数,分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中键合点根部损伤的程度,为键合丝的选用提供依据,也为进一步提高Al丝超声键合强度做一些基础工作。