SiC薄膜制备工艺进展

本文综述了ＳｉＣ薄膜的制备工艺及进展，介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种ＳｉＣ薄膜的制备方法，简单阐述了各种工艺对薄膜性能的影响，评述了各种制备工艺的优缺点。

应用在食品行业中的冷封胶薄膜

概述了冷封胶薄膜的结构种类、制备工艺以及优点,接着陈述了冷封薄膜在软包装中的应用以及局限性,指出了实际生产中遇到的问题并对问题进行分析,提出改进方法。最后探讨了冷封薄膜未来的发展方向。