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3000V 10A 4H-SiC结型场效应晶体管的设计与制造 被引量:6
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作者 刘涛 陈刚 +6 位作者 黄润华 柏松 陶永洪 汪玲 刘奥 李赟 赵志飞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期187-190,共4页
介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工... 介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工艺进行了器件工艺加工。通过测试,当栅极偏压VG=-6V时,研制的SiC JFET可以阻断3 000V电压;当栅极偏压VG=7V、漏极电压VD=3V时,正向漏极电流大于10A,对应的电流密度为100A/cm2。 展开更多
关键词 4H型sic 垂直沟道结型场效应晶体管 沟槽刻蚀
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高压SiC JFET研究进展
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作者 陈刚 柏松 +4 位作者 李赟 陶然 刘奥 杨立杰 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期224-227,283,共5页
利用自主生长的SiC外延材料,采用干法刻蚀μm级密集深槽工艺技术和高能、高剂量离子注入结合高温激活退火方法,进行SiC电力电子JFET器件的开发,研制出常开型、常关型SiC JFET器件,反向阻断电压都达到1 700V,正向电流达3.5A。常开型JFET... 利用自主生长的SiC外延材料,采用干法刻蚀μm级密集深槽工艺技术和高能、高剂量离子注入结合高温激活退火方法,进行SiC电力电子JFET器件的开发,研制出常开型、常关型SiC JFET器件,反向阻断电压都达到1 700V,正向电流达3.5A。常开型JFET的夹断电压在-1.7V,最大跨导Gm为0.52S,比导通电阻最小到4.6mΩ.cm2;常关型JFET的夹断电压在0.9V,最大跨导Gm为1.07S,比导通电阻最小到4.2mΩ.cm2。常开型与常关型器件的栅流开启时栅电压差距小,常开型VG=3.5V时,栅流开始出现,常关型VG=3.3V时,栅流开始出现。 展开更多
关键词 碳化硅 电力电子 垂直沟道结型场效应晶体管
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Progress of High Voltage Trenched and Implanted 4H-SiC Vertical JFET
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作者 Gang Chen Song Bai +1 位作者 Yonghong Tao Yun Li 《Energy and Power Engineering》 2013年第4期1284-1287,共4页
A silicon carbide (SiC) vertical channel junction field effect transistor (VJFET) was fabricated based on in-house SiC epitaxial wafer with trenched and implanted method. Its forward drain current is in excess of 3.12... A silicon carbide (SiC) vertical channel junction field effect transistor (VJFET) was fabricated based on in-house SiC epitaxial wafer with trenched and implanted method. Its forward drain current is in excess of 3.12 A (170 W/cm2) with a current gain of ID/IG = 19746 at gate bias VG = 3 V and drain bias VD = 5.5 V. The SiC VJFET device’s related specific on-resistance 54 mΩ·cm2. The BV gain is 250 V with Vg from -10 V to -4 V and is 350 V with Vg from -4 V to -2 V. Self-aligned floating guard rings provide edge termination that blocks 3180V at a gate bias of ?14 V and a drain-current density of 1.53 mA/cm2. 展开更多
关键词 4H-sic vjfet Ohmic TRENCH IMPLANT
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第五代thinQ!SiC:肖特基势垒二极管
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《世界电子元器件》 2012年第11期34-34,共1页
英飞凌近日宣布推出第五代650VthinQ!SiC肖特基势垒二极管。新一代产品相对于英飞凌以往各代thinQ!产品,PFC升压级在所有负载条件下的效率都得到了进一步的提升。英飞凌第五代产品的目标应用是高端服务器和电信SMPS(开关模式电源)、P... 英飞凌近日宣布推出第五代650VthinQ!SiC肖特基势垒二极管。新一代产品相对于英飞凌以往各代thinQ!产品,PFC升压级在所有负载条件下的效率都得到了进一步的提升。英飞凌第五代产品的目标应用是高端服务器和电信SMPS(开关模式电源)、PC银盒和照明应用等。 展开更多
关键词 肖特基势垒二极管 第五代 sic 开关模式电源 高端服务器 负载条件 smps 产品
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英飞凌成功推出第五代thinQ!TM SiC肖特基势垒二极管
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作者 郑冬冬 《半导体信息》 2012年第6期16-16,共1页
英飞凌近日宣布推出第五代650 V thinQ!TM SiC肖特基势垒二极管,壮大其SiC产品阵容。英飞凌荣获专利的扩散焊接工艺早已应用于第三代产品,如今又成功地与更紧凑的全新设计和最新的薄晶圆技术有机结合在一起,改进了热特性,并使一个优值系... 英飞凌近日宣布推出第五代650 V thinQ!TM SiC肖特基势垒二极管,壮大其SiC产品阵容。英飞凌荣获专利的扩散焊接工艺早已应用于第三代产品,如今又成功地与更紧凑的全新设计和最新的薄晶圆技术有机结合在一起,改进了热特性,并使一个优值系数(Qc x Vf)与英飞凌前代SiC二极管相比降低了大约30%。 展开更多
关键词 TM sic thinQ 英飞凌 扩散焊接 产品阵容 第三代 太阳能逆变器 不间断电源 正向电压 smps
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采用耗尽型的碳化硅纵向结型场效应管简化高压开关电源
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作者 袁海斌 Nigel Springett +1 位作者 Robin Schrader Jeff Casady 《电源世界》 2014年第7期32-34,39,共4页
数字控制和门驱动电路必需的高压开关电源(SMPS)的起动电路,由若干个有功耗的分立元件组成。为精简此电路,本文在级联结构(Cascode Configuration)中使用新型的1700V、1.4Ω的耗尽型碳化硅纵向结型场效应管(VJFET),使它在开关电源工作... 数字控制和门驱动电路必需的高压开关电源(SMPS)的起动电路,由若干个有功耗的分立元件组成。为精简此电路,本文在级联结构(Cascode Configuration)中使用新型的1700V、1.4Ω的耗尽型碳化硅纵向结型场效应管(VJFET),使它在开关电源工作中担负两种作用。首先,JFET为控制器、IC提供起动电流,以取消额外的起动电路;同时,又作为开关电源的主要开关元件。这种双重作用,对开关电源而言,减少了元件数量,节省了空间,提高了效率,降低了系统成本。 展开更多
关键词 碳化硅 纵向结型场效应管 smps
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