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基于CAD/CFD理论对连续制备SiC一维纳米材料CVD反应室结构的设计与模拟优选
被引量:
1
1
作者
刘晓珑
李镇江
孟春雷
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
2015年第5期524-529,共6页
根据自主研制的用于制备SiC一维纳米材料的可控气氛炉内的空间尺寸以及通气方式,设计了4种不同结构的化学气相沉积(CVD)反应室("S"型结构,"三角"型结构,"双三角"型结构,"回"型结构),并基于CFD...
根据自主研制的用于制备SiC一维纳米材料的可控气氛炉内的空间尺寸以及通气方式,设计了4种不同结构的化学气相沉积(CVD)反应室("S"型结构,"三角"型结构,"双三角"型结构,"回"型结构),并基于CFD原理,使用Fluent软件对这4种反应室内的温度场及气流场进行了模拟,得到了各反应室内温度及气体流速的分布云图。通过比较分析发现,在达到稳态后,4种结构反应室内气孔附近的温度均比较低;但气流场模拟结果显示,"回"型结构CVD反应室内,在产物生长的基片表面附近存在气体流量最多且层流面积最大,适于SiC纳米线生长的面积最大,最适用于SiC一维纳米材料的连续制备,其结果已被实验验证。
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关键词
CAD/CFD理论
sic一维纳米材料
CVD反应室
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职称材料
甲烷通气速率/通气量对大量合成SiC一维纳米材料的影响规律
2
作者
齐学礼
李镇江
+1 位作者
李伟东
孙莎莎
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2013年第5期465-469,共5页
采用化学气相反应法(CVR),以球磨后的Si粉、SiO2粉及CH4气体为原料,镍为催化剂,在1 250℃下成功制备出大量SiC一维纳米材料。着重研究了甲烷通气速率/通气量对产物宏观产量、微观形貌的影响规律。采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X...
采用化学气相反应法(CVR),以球磨后的Si粉、SiO2粉及CH4气体为原料,镍为催化剂,在1 250℃下成功制备出大量SiC一维纳米材料。着重研究了甲烷通气速率/通气量对产物宏观产量、微观形貌的影响规律。采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等多种测试手段对所得产物进行了表征。结果表明:随CH4通气速率/通气量的减少,产物宏观颜色由深蓝色转变成灰白色,纳米线直径变得不均匀,纳米线的堆积密度逐渐增大。在通气速率为0.054L·min-1、通气时间36min、通气量1.4L优选工艺条件下,所制备的一维纳米材料为带有少许非晶SiO2包覆层的立方结构的β-SiC。
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关键词
sic一维纳米材料
化学气相反应
宏观产量
微观形貌
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职称材料
SiC/CNTs纳米复合材料吸波性能的研究
被引量:
15
3
作者
梁彤祥
赵宏生
张岳
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期659-663,共5页
采用聚碳硅烷前驱体转化法制备了SiC/CNTs纳米复合材料,采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、高分辨电子显微镜对样品进行了微观结构分析,并测试了材料在2—18GHz 频率范围内的电磁参数.结果表明,当初始聚碳硅烷/二甲苯溶液浓度为10...
采用聚碳硅烷前驱体转化法制备了SiC/CNTs纳米复合材料,采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、高分辨电子显微镜对样品进行了微观结构分析,并测试了材料在2—18GHz 频率范围内的电磁参数.结果表明,当初始聚碳硅烷/二甲苯溶液浓度为10%-15%时,聚碳硅烷前驱体转化法在CNTs表面可以制备SiC包覆层均匀致密的复合一维纳米材料. SiC包覆CNTs一维纳米材料的电磁参数测试表明,其损耗机制以介电损耗为主,当聚碳硅烷含量为 15%时,SiC/CNTs纳米复合材料具有最高的介电常数和损耗角,较好的电磁波吸收特性,并表现出复合效应.
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关键词
sic一维纳米材料
碳
纳米
管
吸波性能
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职称材料
题名
基于CAD/CFD理论对连续制备SiC一维纳米材料CVD反应室结构的设计与模拟优选
被引量:
1
1
作者
刘晓珑
李镇江
孟春雷
机构
青岛科技大学机电工程学院
出处
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
2015年第5期524-529,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51272117
51172115)
山东省科技发展计划项目(2012GGX10218)
文摘
根据自主研制的用于制备SiC一维纳米材料的可控气氛炉内的空间尺寸以及通气方式,设计了4种不同结构的化学气相沉积(CVD)反应室("S"型结构,"三角"型结构,"双三角"型结构,"回"型结构),并基于CFD原理,使用Fluent软件对这4种反应室内的温度场及气流场进行了模拟,得到了各反应室内温度及气体流速的分布云图。通过比较分析发现,在达到稳态后,4种结构反应室内气孔附近的温度均比较低;但气流场模拟结果显示,"回"型结构CVD反应室内,在产物生长的基片表面附近存在气体流量最多且层流面积最大,适于SiC纳米线生长的面积最大,最适用于SiC一维纳米材料的连续制备,其结果已被实验验证。
关键词
CAD/CFD理论
sic一维纳米材料
CVD反应室
Keywords
CAD/CFD theory
sic
one-dimensional nanomaterials
CVD reaction chamber
分类号
TE319 [石油与天然气工程—油气田开发工程]
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职称材料
题名
甲烷通气速率/通气量对大量合成SiC一维纳米材料的影响规律
2
作者
齐学礼
李镇江
李伟东
孙莎莎
机构
青岛科技大学机电工程学院
出处
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2013年第5期465-469,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51272117
50972063
+4 种基金
51172115)
山东省自然科学基金项目(ZR2011EMZ001
ZR2011EMQ011)
山东省科技攻关计划项目(2012GGX10218)
科技型中小企业技术创新基金项目(10C26213712086)
文摘
采用化学气相反应法(CVR),以球磨后的Si粉、SiO2粉及CH4气体为原料,镍为催化剂,在1 250℃下成功制备出大量SiC一维纳米材料。着重研究了甲烷通气速率/通气量对产物宏观产量、微观形貌的影响规律。采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等多种测试手段对所得产物进行了表征。结果表明:随CH4通气速率/通气量的减少,产物宏观颜色由深蓝色转变成灰白色,纳米线直径变得不均匀,纳米线的堆积密度逐渐增大。在通气速率为0.054L·min-1、通气时间36min、通气量1.4L优选工艺条件下,所制备的一维纳米材料为带有少许非晶SiO2包覆层的立方结构的β-SiC。
关键词
sic一维纳米材料
化学气相反应
宏观产量
微观形貌
Keywords
sic
one-dimensional nanomaterial
chemical vapor reaction (CVR)
macro- scopic production
mierostructure
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
TQ343.6 [化学工程—化纤工业]
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职称材料
题名
SiC/CNTs纳米复合材料吸波性能的研究
被引量:
15
3
作者
梁彤祥
赵宏生
张岳
机构
清华大学核能与新能源技术研究院
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期659-663,共5页
文摘
采用聚碳硅烷前驱体转化法制备了SiC/CNTs纳米复合材料,采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、高分辨电子显微镜对样品进行了微观结构分析,并测试了材料在2—18GHz 频率范围内的电磁参数.结果表明,当初始聚碳硅烷/二甲苯溶液浓度为10%-15%时,聚碳硅烷前驱体转化法在CNTs表面可以制备SiC包覆层均匀致密的复合一维纳米材料. SiC包覆CNTs一维纳米材料的电磁参数测试表明,其损耗机制以介电损耗为主,当聚碳硅烷含量为 15%时,SiC/CNTs纳米复合材料具有最高的介电常数和损耗角,较好的电磁波吸收特性,并表现出复合效应.
关键词
sic一维纳米材料
碳
纳米
管
吸波性能
Keywords
sic
one-dimensional material
CNTs
wave absorption property
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于CAD/CFD理论对连续制备SiC一维纳米材料CVD反应室结构的设计与模拟优选
刘晓珑
李镇江
孟春雷
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
2015
1
下载PDF
职称材料
2
甲烷通气速率/通气量对大量合成SiC一维纳米材料的影响规律
齐学礼
李镇江
李伟东
孙莎莎
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
3
SiC/CNTs纳米复合材料吸波性能的研究
梁彤祥
赵宏生
张岳
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
15
下载PDF
职称材料
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