平面研磨中基于磨具均匀磨损的磨具设计方法研究

首先详细地分析了固着磨料平面高速研磨中磨具均匀磨损的条件以及影响磨具均匀磨损的因素,然后根据磨具均匀磨损理论研究了磨具的设计方法和步骤,最后对按照这种方法设计出的磨具进行了使用验证。结果表明,采用这种方法设计的磨具在加工硬脆材料时,可以很容易地获得纳米级表面粗糙度的光滑表面,如在加工常压烧结SiC陶瓷密封环时,加工表面粗糙度可达2-3nm,平面度小于0.8μm:而且,加工效率高,成本低,磨具和加工工件都能在较长时间内保持较好的面形精度,非常适合于大批量工业化生产。