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题名SiGe/Si异质结光电器件
被引量:2
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作者
刘国军
叶志镇
吴贵斌
孙伟峰
赵星
赵炳辉
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机构
浙江大学硅材料国家重点实验室
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期116-119,共4页
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基金
国家科学技术部攀登项目浙江省计划资助项目(981101040
991110535)
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文摘
SiGe/Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域。综述了SiGe/Si异质结材料的基本性质,SiGe/Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成。重点介绍了SiGe/Si光电探测器及其与其他相关器件的集成。
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关键词
sige/si异质结
光电器件
光电集成
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Keywords
sige/si heterostructures,optoelectronic devices,optoelectronic integrated circuits
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分类号
TN313.4
[电子电信—物理电子学]
TN15
[电子电信—物理电子学]
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题名Si基光电子学研究进展
被引量:8
- 2
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作者
余金中
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机构
中国科学院半导体研究所
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出处
《半导体杂志》
1998年第1期21-32,共12页
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文摘
作为“第二代硅”,Si基异质结材料为世人所嘱目,Si基光电子器件及光电集成(OEIC)是当前世界范围的热门课题。本文综述Si基异质材料的外延生长和特性、Si基光电子器件的结构和性能及其应用,着重介绍SiGe/Si的研究进展。
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关键词
光电子学
光电集成
异质结构
硅
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Keywords
optoelectronics optoelectronic integrated circuits (OEIC) sige/si heterostructures
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分类号
TN304.12
[电子电信—物理电子学]
TN201
[电子电信—物理电子学]
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题名GeSi/Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟
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作者
徐勤昌
刘淑平
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机构
太原科技大学
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出处
《量子光学学报》
CSCD
北大核心
2008年第4期453-458,共6页
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基金
山西省自然科学基金(2007011047)
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文摘
GeSi/Si异质结光波导是硅基光电集成(OEIC)领域一种重要的连接器件,研究其光的输入耦合,提高耦合效率有着重要的意义。通过分析导模—辐射模的耦合理论求得光栅耦合器的辐射损耗系数,设计分析了波导层厚度为2500 nm,入射波长为1300 nm的单模Ge0.05Si0.95/Si异质结波导光栅耦合器的周期、长度和槽深,得出从空气中输入角为75°(从衬底中入射角为16°)时,周期为0.512μm,槽宽为0.256μm,光栅长度为2.3 mm,从空气侧输入时耦合效率为22.5%,从衬底输入时耦合效率为46.3%,并对其输入、输出光场进行了数值模拟。
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关键词
Gesi/si异质结
光电集成
光栅耦合器
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Keywords
Gesi/si heterostructure
optoelectronic integrated circuits
optical waveguide detector
grating coupler
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分类号
O431
[机械工程—光学工程]
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