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SiGeC/Si功率二极管的数值模拟与分析 被引量:1
1
作者 高勇 刘静 +1 位作者 马丽 余明斌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1068-1072,共5页
将SiGeC技术应用于功率半导体器件的特性改进,提出了一种新型p+(SiGeC)n-n+异质结功率二极管结构.在分析SiGeC合金材料物理特性的基础上,给出了该结构的关键物理参数模型,并在此基础上利用MEDICI模拟,对比分析了C的引入对器件各种电特... 将SiGeC技术应用于功率半导体器件的特性改进,提出了一种新型p+(SiGeC)n-n+异质结功率二极管结构.在分析SiGeC合金材料物理特性的基础上,给出了该结构的关键物理参数模型,并在此基础上利用MEDICI模拟,对比分析了C的引入对器件各种电特性的影响.此外,还模拟比较了不同p+区厚度对器件反向漏电流的影响.结果表明:在SiGe/Si功率二极管中加入少量的C,在基本不影响器件正向I V特性和反向恢复特性的前提下,大大减少了器件的反向漏电流,并且C的加入还减小了器件特性对材料临界厚度的依赖性,提高了器件稳定性. 展开更多
关键词 sigec/Si异质结 功率二极管 反向恢复 漏电流
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SiGeC三元合金的研究进展 被引量:1
2
作者 赵雷 左玉华 王启明 《微纳电子技术》 CAS 2004年第7期1-9,14,共10页
SiGeC三元合金是一种新型的Ⅳ-Ⅳ族半导体材料,其中的碳可以为SiGe合金提供应变补偿,调节能带结构,提高热稳定性,从而有利于高性能光电器件的制备。本文总结了近年来关于SiGeC的性能、制备和应用方面的若干研究结果,并对SiGeC进一步的... SiGeC三元合金是一种新型的Ⅳ-Ⅳ族半导体材料,其中的碳可以为SiGe合金提供应变补偿,调节能带结构,提高热稳定性,从而有利于高性能光电器件的制备。本文总结了近年来关于SiGeC的性能、制备和应用方面的若干研究结果,并对SiGeC进一步的研究方向提出了自己的建议。 展开更多
关键词 sigec 应变补偿 能带偏移 制备 应用
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SiGeC/Si异质结光电探测器(英文)
3
作者 江若琏 陈卫民 +4 位作者 罗志云 臧岚 朱顺明 韩平 郑有 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第1期116-118,共3页
关键词 光电探测器 sigec/Si 异质结 响应度
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A Novel Ideal Ohmic Contact SiGeC/Si Power Diode with Graded Doping Concentration
4
作者 刘静 高勇 +1 位作者 杨媛 王彩琳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期342-348,共7页
A novel structure of ideal ohmic contact p^+ (SiGeC)-n^- -n^+ diodes with three-step graded doping concentration in the base region is presented, and the changing doping concentration gradient is also optimized. U... A novel structure of ideal ohmic contact p^+ (SiGeC)-n^- -n^+ diodes with three-step graded doping concentration in the base region is presented, and the changing doping concentration gradient is also optimized. Using MEDICI, the physical parameter models applicable for SiGeC/Si heterojunction power diodes are given. The simulation results indicate that the diodes with graded doping concentration in the base region not only have the merit of fast and soft reverse recovery but also double reverse blocking voltage,and their forward conducting voltage has dropped to some extent,compared to the diodes with constant doping concentration in the base region. The new structure achieves a good trade-off in Qs-Vf-Ir ,and its combination of properties is superior to ideal ohmic contact diodes and conventional diodes. 展开更多
关键词 sigec/Si heterojunction power diodes reverse blocking voltage ohmic contact
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SiGeC/Si异质结红外探测器
5
作者 江若琏 阵卫民 《世界产品与技术》 1999年第3期35-35,共1页
关键词 红外探测器 异质结 sigec/Si 化学气相淀积
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SiGe和SiGeC HBT速度过冲模型 被引量:1
6
作者 蔡瑞仁 李垚 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期316-319,共4页
建立了超薄基区Si Ge和Si GeC HBT的速度过冲模型。通过求解能量平衡方程,得到电子温度分布,B-C结附近的电子温度远高于晶格温度。Ge的分布对Si Ge BHT速度分布影响很大,对于线性分布,Ge梯度越大,速度过冲越明显;Ge梯度一样时,线性分布... 建立了超薄基区Si Ge和Si GeC HBT的速度过冲模型。通过求解能量平衡方程,得到电子温度分布,B-C结附近的电子温度远高于晶格温度。Ge的分布对Si Ge BHT速度分布影响很大,对于线性分布,Ge梯度越大,速度过冲越明显;Ge梯度一样时,线性分布比梯形分布的速度大。梯形分布的Si Ge HBT基区也发生速度过冲。Si GeC HBT速度过冲现象与Si Ge HBT相似。 展开更多
关键词 速度过冲 电子温度 SIGE HBT sigec HBT
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基于电子温度效应的SiGe、SiGeC异质结晶体管的基区渡越时间模型
7
作者 高树钦 李壵 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期168-171,共4页
提出了SiGe和SiGeC异质结晶体管基区渡越时间的一种闭式物理模型,该模型考虑了电子温度效应.计入薄基区内强电场(该电场源起于Ge,C元素的掺杂)引起的电子温度变化,得到的基区渡越时间值与漂移-扩散模型有所不同.随着Ge含量的增加,两者... 提出了SiGe和SiGeC异质结晶体管基区渡越时间的一种闭式物理模型,该模型考虑了电子温度效应.计入薄基区内强电场(该电场源起于Ge,C元素的掺杂)引起的电子温度变化,得到的基区渡越时间值与漂移-扩散模型有所不同.随着Ge含量的增加,两者的差别不能再忽略. 展开更多
关键词 电子温度效应 SiGe异质结晶体管 sigec异质结晶体管 基区渡越时间
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超低漏电流超快恢复SiGeC功率二极管研究 被引量:1
8
作者 刘静 高勇 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2525-2529,共5页
提出一种超低漏电流超快恢复SiGeC p-i-n二极管结构.基于异质结电流输运机制,该SiGeC二极管实现了低通态压降下高电流密度的传输,改善了二极管的反向恢复特性,同时具有较低的反向漏电流.与少子寿命控制技术相比,该器件有效协调了降低通... 提出一种超低漏电流超快恢复SiGeC p-i-n二极管结构.基于异质结电流输运机制,该SiGeC二极管实现了低通态压降下高电流密度的传输,改善了二极管的反向恢复特性,同时具有较低的反向漏电流.与少子寿命控制技术相比,该器件有效协调了降低通态电压、减小反向漏电流、缩短反向恢复时间三者之间的矛盾.对不同温度下器件反向恢复特性研究结果表明,SiGeC二极管的反向恢复时间与同结构SiGe二极管相比,350K时缩短了1/3,400K时缩短了40%以上,器件的热稳定性显著提高,降低了对器件后续制作工艺的限制,有益于功率集成. 展开更多
关键词 硅锗碳 超低漏电流超快恢复 热稳定性
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Research on reverse recovery characteristics of SiGeC p-i-n diodes 被引量:1
9
作者 高勇 刘静 杨媛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第12期4635-4639,共5页
This paper analyses the reverse recovery characteristics and mechanism of SiGeC p-i-n diodes. Based on the integrated systems engineering (ISE) data, the critical physical models of SiGeC diodes are proposed. Based ... This paper analyses the reverse recovery characteristics and mechanism of SiGeC p-i-n diodes. Based on the integrated systems engineering (ISE) data, the critical physical models of SiGeC diodes are proposed. Based on heterojunction band gap engineering, the softness factor increases over six times, reverse recovery time is over 30% short and there is a 20% decrease in peak reverse recovery current for SiGeC diodes with 20% of germanium and 0.5% of carbon, compared to Si diodes. Those advantages of SiGeC p-i-n diodes are more obvious at high temperature. Compared to lifetime control, SiCeC technique is more suitable for improving diode properties and the tradeoff between reverse recovery time and forward voltage drop can be easily achieved in SiGeC diodes. Furthermore, the high thermal-stability of SiGeC diodes reduces the costs of further process steps and offers more freedoms to device design. 展开更多
关键词 sigec softness factor THERMAL-STABILITY lifetime control
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SiGeC/Si异质结二极管特性分析与优化设计
10
作者 刘静 高勇 +1 位作者 王彩琳 马丽 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期621-626,共6页
基于异质结理论,提出了一种新型p+(SiGeC)-n--n+异质结功率二极管结构。分析了C对SiGe合金的应变补偿作用的物理机理。利用MEDICI模拟、对比分析了C的引入对器件电特性的影响,并针对不同Ge/C组分比进行优化设计。结果表明:在SiGe/Si功... 基于异质结理论,提出了一种新型p+(SiGeC)-n--n+异质结功率二极管结构。分析了C对SiGe合金的应变补偿作用的物理机理。利用MEDICI模拟、对比分析了C的引入对器件电特性的影响,并针对不同Ge/C组分比进行优化设计。结果表明:在SiGe/Si功率二极管中加入少量的C,在基本不影响器件正向I-V特性和反向恢复特性的前提下,大大减少了器件的反向漏电流,提高了器件稳定性,而且对于一定的Ge含量存在一个C的临界值,使得二极管具有最小的反向漏电流,该临界值的提出,对研究其它结构SiGeC/Si异质结半导体器件有一定的参考意义。 展开更多
关键词 硅锗碳 功率二极管 临界值 漏电流
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SiGeC异质结功率二极管通态特性研究
11
作者 马丽 高勇 +1 位作者 刘静 王彩琳 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期455-459,共5页
研究了一种大功率低功耗p+(SiGeC)-n--n+异质结二极管结构,分析了Ge、C含量对器件正向通态特性的影响。结果表明:与常规的Si p-i-n二极管相比,在正向电流密度不超过1000 A/cm2情况下,p+(SiGeC)-n--n+二极管的正向压降有明显的降低。当... 研究了一种大功率低功耗p+(SiGeC)-n--n+异质结二极管结构,分析了Ge、C含量对器件正向通态特性的影响。结果表明:与常规的Si p-i-n二极管相比,在正向电流密度不超过1000 A/cm2情况下,p+(SiGeC)-n--n+二极管的正向压降有明显的降低。当电流密度为10 A/cm2时,Si p-i-n二极管的压降为0.655 V,而SiGeC异质结二极管的压降只有0.525 V,大大降低了器件的通态功耗。在相同正向电流密度的条件下,SiGeC异质结二极管在n-区存储的载流子比Si二极管的减少了1个数量级以上,这导致前者的关断时间远小于后者。 展开更多
关键词 硅锗碳/硅异质结功率二极管 正向通态特性 大功率 低功耗
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德国开发SiGeC技术
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作者 石松 《微电子技术》 1999年第5期21-21,共1页
关键词 sigec Motorola公司 德国 通信器件 降低成本 器件性能 技术中心 体物理 新技术 联合开发
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大功率低功耗快速软恢复SiGeC功率开关二极管 被引量:1
13
作者 马丽 高勇 +1 位作者 刘静 王彩琳 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期7236-7241,共6页
为满足电力电子电路对功率开关二极管高频化的发展要求,提出了一种大功率低功耗快速软恢复p+(SiGeC)-n--n+异质结二极管.与常规的Sip-i-n二极管相比,在正向电流密度不超过1000A/cm2情况下,p+(SiGeC)-n--n+二极管的正向压降减少了约1/5,... 为满足电力电子电路对功率开关二极管高频化的发展要求,提出了一种大功率低功耗快速软恢复p+(SiGeC)-n--n+异质结二极管.与常规的Sip-i-n二极管相比,在正向电流密度不超过1000A/cm2情况下,p+(SiGeC)-n--n+二极管的正向压降减少了约1/5,有效降低了器件的通态功耗;反向恢复时间缩短了一半多,反向峰值电流降低了约25%,软度因子提高了1.3倍,而反向阻断电压和反向漏电流基本不发生变化.研究发现,Ge和C的含量是影响p+(SiGeC)-n--n+二极管特性的重要参数,这为器件结构设计提供了更大的自由度. 展开更多
关键词 快速软恢复 大功率低功耗 sigec/Si异质结功率二极管
原文传递
Communicant开发出SiGeC设计套件
14
作者 章从福 《半导体信息》 2003年第3期38-39,共2页
Communicant半导体公司已开发出基于0.25μm技术的硅锗碳化物(SiGeC)BiCMOS设计套件。
关键词 Communicant sigec 生产工厂 传输频率 最大振幅 合作厂商 电压范围 处理性能 掩膜
原文传递
Si基热氧化Si_(1-x-y)Ge_xC_y薄膜的室温光致发光特性 被引量:2
15
作者 程雪梅 郑有炓 +5 位作者 刘夏冰 臧岚 朱顺明 韩平 罗志云 江若琏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期677-681,共5页
采用等离子体增强化学气相淀积 ( PECVD)法在 Si( 1 0 0 )衬底上淀积一层厚度约为1 70 nm的富 Ge高 C含量的 Si1- x- y Gex Cy 薄膜 ,然后将其分别在 80 0℃和 1 1 0 0℃下湿氧氧化2 0 min.在室温下观测到强烈的光致发光 .室温下的光致... 采用等离子体增强化学气相淀积 ( PECVD)法在 Si( 1 0 0 )衬底上淀积一层厚度约为1 70 nm的富 Ge高 C含量的 Si1- x- y Gex Cy 薄膜 ,然后将其分别在 80 0℃和 1 1 0 0℃下湿氧氧化2 0 min.在室温下观测到强烈的光致发光 .室温下的光致发光谱 ( PL谱 )测量显示 ,80 0℃下氧化后的样品在 370 nm和 396nm附近有两个光致发光带 ,1 1 0 0℃下氧化后的样品只在 396nm附近有一个光致发光带 .396nm附近的发光带可归之于由氧化薄膜中的缺陷 O- Si- O ( Si02 )或 O- Ge-O( Ge02 )引起的 ,而 370 nm附近的发光带与薄膜中 Ge- 展开更多
关键词 薄膜 室温光致发光 SI基 sigec
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Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元系材料的应变补偿特性 被引量:1
16
作者 于卓 李代宗 +5 位作者 成步文 黄昌俊 雷震霖 余金中 王启明 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期52-56,共5页
研究了 Si1 - x- y Gex Cy 三元系材料的应变补偿特性 ,分析了固相外延方法制备的样品中注入离子的分布对应变补偿效果的影响 ,指出由于 Ge和 C的投影射程及标准偏差不同 ,二者在各处的组分比并不恒定 ,存在着纵向分布 ,因此各处的应变... 研究了 Si1 - x- y Gex Cy 三元系材料的应变补偿特性 ,分析了固相外延方法制备的样品中注入离子的分布对应变补偿效果的影响 ,指出由于 Ge和 C的投影射程及标准偏差不同 ,二者在各处的组分比并不恒定 ,存在着纵向分布 ,因此各处的应变补偿情况也不尽相同 .利用高斯公式对不同位置的应变补偿效果进行了分析 ,得出了外延层中存在应变完全补偿区域时 Ge、C的峰值浓度比 NGe/ NC应满足一定的取值范围 .通过制备不同 C组分的样品对上述结论进行了验证 。 展开更多
关键词 应变补偿 半导体材料 sigec 三元化合物
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掺碳锗硅合金的制备及其性能研究进展
17
作者 亓震 叶志镇 +2 位作者 黄靖云 卢焕明 赵炳辉 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期154-158,共5页
近几年来 Si Ge C 三元合金受到人们的广泛关注,日益成为研究的热点之一。碳的加入为 Si- Ge 系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。处于替代位置的碳能缓解 Si Ge 合金的应变,并调节其能带。总结了碳的加入对... 近几年来 Si Ge C 三元合金受到人们的广泛关注,日益成为研究的热点之一。碳的加入为 Si- Ge 系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。处于替代位置的碳能缓解 Si Ge 合金的应变,并调节其能带。总结了碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及碳对合金能带结构的影响,尤其是对弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用。 展开更多
关键词 半导体材料 sigec合金 能带结构 应变弛豫 价带补偿 荧光光谱
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三元合金锗硅碳的器件应用研究
18
作者 王亚东 王龙成 +1 位作者 叶志镇 黄靖云 《半导体情报》 2000年第6期55-59,共5页
碳的加入改进了锗硅材料的性能 ,同时也为半导体器件的研制开发创造了条件 ,增加了硅基器件设计的灵活性。本文介绍了 Si Ge C材料在硅基器件方面的应用 ,包括光探测器、MOS场效应晶体管、HBT等。
关键词 sigec合金 半导体器件 三元合金 半导体材料
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光通信用的硅基长波长光电探测器
19
作者 李成 杨沁清 王启明 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期226-230,共5页
硅基长波长光电探测器是最有希望与微电子集成的一种用于光通信的光电器件。介绍了当前硅基长波长光电探测器的发展现状和趋势,讨论了提高硅基长波长光电探测器性能的途径。
关键词 硅基光电探测器 SiGe/Si多量子阱 sigec 共振腔
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锗硅碳合金的制备及性能研究进展 被引量:1
20
作者 亓震 卢焕明 +2 位作者 黄靖云 赵炳辉 叶志镇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期1-5,共5页
三元合金SiGeC中处于替代位置的碳能缓解SiGe 合金的应变, 并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及碳对合金能带结构的影响, 尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用本文进行了总结, 并对其制... 三元合金SiGeC中处于替代位置的碳能缓解SiGe 合金的应变, 并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及碳对合金能带结构的影响, 尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用本文进行了总结, 并对其制备的方法机理做了分析。 展开更多
关键词 能带结构 锗硅碳合金 三元合金 制备
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