SiH自由基A^2Δ—X^2∏跃迁光谱研究

本工作用OMA系统和高分辨单色仪同时测量了硅烷激光等离子体和放电等离子体的发光谱以及两种等离子体条件下的SiH A^2△——X^2Ⅱ跃迁0——0带光谱。讨论了SiH 0——0带光谱在两种等离子体内的区别。