多晶硅生产SiHCl_3精馏工艺改造

针对多晶硅生产中SiHCl_3精馏工艺存在的问题,对其进行改造。改造后,工艺流程简化,设备配套使用量大幅度减少;生产系统的安全性和稳定性有所改善,月均产量增加约11.1%;副产物SiH_2Cl_2得到有效利用,尾气的排放量得到控制,月均减少NaOH和CaO使用量约0.8t;精馏塔塔顶、塔釜可分别节能约25%、28.7%;精制SiHCl_3产品和多晶硅产品的总合格率分别提高5.3%和5.9%。

FT－IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅

应用傅立叶交换红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）技术和自制１０ｃｍ光程的不锈钢液体池，建立了光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的定量分析方法。该法具有安全、简便、灵敏和重复性好的特点。

光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析

采用石英毛细管柱与氩检测器相联结的气相色谱方法定量检测高纯的光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅等含氢杂质。该方法简单、可靠，三氯氢硅的检测下限达０．１×１０￣（－６）Ｗ／Ｗ。