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高分散Ru/Si_(3)N_(4)催化剂的制备及其在CO_(2)加氢中的应用
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作者 颜琳琳 魏宇学 +2 位作者 张成华 相宏伟 李永旺 《低碳化学与化工》 CAS 北大核心 2024年第3期9-17,共9页
氮化硅是一种良好的载体,具有较高的水热稳定性和机械稳定性,其表面的氨基基团能够较好地锚定金属,显著提高金属分散度。但是,商品氮化硅比表面积较低,对金属分散作用仍然有限。因此,以自制的高比表面积氮化硅(Si_(3)N_(4))为载体,通过... 氮化硅是一种良好的载体,具有较高的水热稳定性和机械稳定性,其表面的氨基基团能够较好地锚定金属,显著提高金属分散度。但是,商品氮化硅比表面积较低,对金属分散作用仍然有限。因此,以自制的高比表面积氮化硅(Si_(3)N_(4))为载体,通过浸渍法制备了不同Ru负载量(质量分数分别为0.5%、1.0%和2.0%)的催化剂(分别为0.5%Ru/Si_(3)N_(4)、1.0%Ru/Si_(3)N_(4)和2.0%Ru/Si_(3)N_(4)),并以商品氮化硅(Si_(3)N_(4)-C)为载体制备了2.0%Ru/Si_(3)N_(4)-C催化剂作为对照组。表征了催化剂的理化性质,测试了其在300℃、0.1 MPa下的CO_(2)加氢反应活性。结果显示,与Si_(3)N_(4)-C相比,Si_(3)N_(4)的比表面积较高(502 m^(2)/g),Si_(3)N_(4)作为载体显著提高了金属分散度,降低了金属粒径,催化剂暴露出更多的活性位点。0.5%Ru/Si_(3)N_(4)的金属粒径较小,展现出强的H_(2)吸附能力,H难以解吸,抑制了中间物种CO加氢生成CH_(4)。随着Ru负载量增加,金属粒径增大,催化剂的CH_(4)选择性更好。Ru/Si_(3)N_(4)系列催化剂中,2.0%Ru/Si_(3)N_(4)的CH_(4)选择性较高(98.8%)。空速为10000 m L/(g·h)时,0.5%Ru/Si_(3)N_(4)的CO选择性为88.2%。与2.0%Ru/Si_(3)N_(4)相比,2.0%Ru/Si_(3)N_(4)-C的金属粒径更大,活性位点较少,活性更低。2.0%Ru/Si_(3)N_(4)和2.0%Ru/Si_(3)N_(4)-C的CO_(2)转化率分别为53.1%和9.2%。Si_(3)N_(4)有效提高了金属分散度,提高了催化剂的CO_(2)加氢反应活性;通过调控Ru负载量控制催化剂金属粒径,可实现对产物CO或CH_(4)选择性的调控。 展开更多
关键词 Co_(2)加氢 Ru/si_(3)n_(4)催化剂 CH_(4)选择性 Co选择性
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B4C对Si3N4/Si_(2)N_(2)O结合SiC材料抗热震性能的影响
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作者 曹会彦 吴吉光 +2 位作者 程竹 李杰 黄志刚 《耐火材料》 CAS 北大核心 2023年第1期70-73,共4页
首先以Si粉、SiO_(2)微粉为原料,先在700℃空气气氛处理,然后在1400℃氮气气氛下合成Si_(2)N_(2)O,研究了B_(4)C添加量(外加质量分数分别为0、1.0%、2.0%、3.0%、4.0%)对Si_(2)N_(2)O合成效果的影响。然后根据B_(4)C最优加入量,先在700... 首先以Si粉、SiO_(2)微粉为原料,先在700℃空气气氛处理,然后在1400℃氮气气氛下合成Si_(2)N_(2)O,研究了B_(4)C添加量(外加质量分数分别为0、1.0%、2.0%、3.0%、4.0%)对Si_(2)N_(2)O合成效果的影响。然后根据B_(4)C最优加入量,先在700℃空气气氛保温5 h,然后在1400℃氮气气氛保温5 h制备了Si_(3)N_(4)/Si_(2)N_(2)O结合SiC试样。采用1300℃风冷5次后试样的抗折强度保持率评价其抗热震性,分析了热震前后试样的物相组成和显微结构。结果表明:1)合成Si_(2)N_(2)O的B_(4)C最优添加量为3%(w);在700℃空气处理时,B_(4)C优先和气氛中O_(2)反应生成液相B2O3,为1400℃氮气气氛生成板片状Si_(2)N_(2)O提供充足液相。2)风冷热震后,添加B_(4)C的试样中Si_(2)N_(2)O结合相保持完整,强度保持率由未添加时的67.5%提高至88.5%;同时,生成的B2O3发生碳热还原氮化反应,生成导热性好、具有自润滑特性的BN,改善其抗热震性,并在使用过程中继续为Si_(3)N_(4)/Si_(2)N_(2)O结合SiC材料提供保护。 展开更多
关键词 B_(4)C si_(3)n_(4)/si_(2)n_(2)o结合sic 抗热震性 干熄炉 斜道区
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聚甲基丙烯酸对STI CMP中SiO_(2)和Si_(3)N_(4)去除速率选择比的影响
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作者 李相辉 张祥龙 +3 位作者 孟妮 聂申奥 邱宇轩 何彦刚 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期131-137,共7页
在浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)中,需要保证极低的Si_(3)N_(4)去除速率,以及相对较高的SiO_(2)去除速率,并且要达到SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率选择比大于30的要求。在CeO_(2)磨料质量分数为0.25%,抛光液pH=4的前提下,研究了... 在浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)中,需要保证极低的Si_(3)N_(4)去除速率,以及相对较高的SiO_(2)去除速率,并且要达到SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率选择比大于30的要求。在CeO_(2)磨料质量分数为0.25%,抛光液pH=4的前提下,研究了聚甲基丙烯酸(PMAA)对SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率以及二者去除速率选择比的影响,分析了PMAA在影响SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率过程中的作用机理。结果表明,PMAA的加入可以降低SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率,当PMAA的质量分数为120×10^(-6)时,SiO_(2)和Si_(3)N_(4)的去除速率分别为185.4 nm/min和3.0 nm/min,去除速率选择比为61。抛光后SiO_(2)与Si_(3)N_(4)晶圆表面有较好的表面粗糙度,分别为0.290 nm和0.233 nm。 展开更多
关键词 浅沟槽隔离(STI) 化学机械抛光(CMP) 二氧化硅(sio_(2)) 氮化硅(si_(3)n_(4)) 聚甲基丙烯酸(PMAA) 去除速率选择比
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Al_(2)O_(3)对Si_(3)N_(4)结合SiC材料抗氧化和抗碱侵蚀性的影响 被引量:11
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作者 黄朝晖 孙加林 +1 位作者 王金相 洪彦若 《耐火材料》 EI CAS 北大核心 2000年第6期309-312,共4页
研究了添加 0~ 8%Al2 O3对烧成Si3N4结合SiC耐火材料的显微结构、抗氧化和抗碱侵蚀能力的影响。借助XRD、SEM及光学显微镜观察发现 :添加Al2 O3通过氮化反应烧结使得材料基质中的Si3N4由纤维状Si3N4向柱状Sialon相转化 ,显微结构更加... 研究了添加 0~ 8%Al2 O3对烧成Si3N4结合SiC耐火材料的显微结构、抗氧化和抗碱侵蚀能力的影响。借助XRD、SEM及光学显微镜观察发现 :添加Al2 O3通过氮化反应烧结使得材料基质中的Si3N4由纤维状Si3N4向柱状Sialon相转化 ,显微结构更加致密。 4# 试样中的Al2 O3加入量对提高Si3N4结合SiC耐火材料的抗氧化和抗碱侵蚀性的作用已极其明显。 展开更多
关键词 si_(3)n_(4)结合sic Al_(2)o_(3)添加物 抗氧化性 抗碱侵蚀性 sialon
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La_(2)O_(3)含量对气压烧结Si_(3)N_(4)陶瓷耐磨性的影响 被引量:4
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作者 曹忠敏 周存龙 +1 位作者 王强 杨超 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2021年第4期645-651,共7页
随着Si_(3)N_(4)陶瓷越来越多地成为航天、冶金、机械制造等领域的耐磨关键零部件,高韧性、高耐磨性成为Si_(3)N_(4)陶瓷的关键性能指标,而烧结剂的成分与配比是影响Si_(3)N_(4)陶瓷性能的决定性因素。基于Y_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)烧结... 随着Si_(3)N_(4)陶瓷越来越多地成为航天、冶金、机械制造等领域的耐磨关键零部件,高韧性、高耐磨性成为Si_(3)N_(4)陶瓷的关键性能指标,而烧结剂的成分与配比是影响Si_(3)N_(4)陶瓷性能的决定性因素。基于Y_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)烧结助剂体系,通过添加不同含量La_(2)O_(3),采用气压烧结制备了不同性能的Si_(3)N_(4)陶瓷,分析了烧结助剂La_(2)O_(3)含量对Si_(3)N_(4)陶瓷的显微结构、致密度以及力学性能的影响。研究发现,随着La_(2)O_(3)含量的增加,Si_(3)N_(4)陶瓷的致密度会随之增大,最高可达到99.6±0.12%;而断裂韧性呈现出先升高、后降低的趋势,硬度则呈现先降低、后增加的趋势。当La_(2)O_(3)含量达到4 wt.%时,Si_(3)N_(4)陶瓷中生成第二增强相La3Si8O4N11,试样的维氏硬度(HV)达到1590±20,断裂韧性达到5.58±0.11 MPa·m^(1/2)。在法向载荷为30 N、滑动频率为3 Hz、滑动距离为4 mm的摩擦磨损条件下,磨损率为2.99×10^(-4) mm^(3)/(N·m)。 展开更多
关键词 si_(3)n_(4) La_(2)o_(3) 气压烧结 力学性能 第二相
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Y_(2)O_(3)对高热导率Si_(3)N_(4)陶瓷显微结构和性能的影响 被引量:2
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作者 张晶 张伟儒 +4 位作者 孙峰 徐学敏 王再义 吕沛远 王梅 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2022年第7期2485-2493,2501,共10页
以氧含量相对较高的“平价”Si_(3)N_(4)粉体(氧含量1.85%(质量分数))为原料,Y_(2)O_(3)-MgO作为烧结助剂,制备低成本高热导率Si_(3)N_(4)陶瓷,研究Y_(2)O_(3)含量对Si_(3)N_(4)陶瓷致密化、显微结构、力学性能及热导率的影响。结果表明... 以氧含量相对较高的“平价”Si_(3)N_(4)粉体(氧含量1.85%(质量分数))为原料,Y_(2)O_(3)-MgO作为烧结助剂,制备低成本高热导率Si_(3)N_(4)陶瓷,研究Y_(2)O_(3)含量对Si_(3)N_(4)陶瓷致密化、显微结构、力学性能及热导率的影响。结果表明,适当增加Y_(2)O_(3)的加入量不仅可以促进Si_(3)N_(4)陶瓷的致密化和显微结构的细化,还有助于晶格氧含量的降低和热导率的提升。Y_(2)O_(3)含量为7%(质量分数)的样品在1900℃烧结后的综合性能最佳,其相对密度、抗弯强度、断裂韧性和热导率分别为99.5%、(726±46)MPa、(6.9±0.2)MPa·m^(1/2)和95 W·m^(-1)·K^(-1)。 展开更多
关键词 陶瓷 si_(3)n_(4) Y_(2)o_(3) 热导率 显微结构 力学性能 氧含量
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高炉用Si_3N_4结合的SiC质耐火材料的氧化 被引量:14
7
作者 王国雄 杜鹤桂 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第5期448-454,共7页
通过称重方法和表面显微结构的观察,较系统地研究了高炉用Si_3N_4结合的SiC质耐火材料在空气、水蒸汽和不同CO/CO_2比的混合气相中的氧化过程,探讨了该材料的氧化动力学。本文针对高炉冷却设备漏水情况而设计的水蒸汽氧化及其模拟高炉... 通过称重方法和表面显微结构的观察,较系统地研究了高炉用Si_3N_4结合的SiC质耐火材料在空气、水蒸汽和不同CO/CO_2比的混合气相中的氧化过程,探讨了该材料的氧化动力学。本文针对高炉冷却设备漏水情况而设计的水蒸汽氧化及其模拟高炉冶炼环境而设计的不同CO/CO_2比混合气相中的氧化实验结果,为研究高炉用Si_3N_4结合的SiC质耐火材料的蚀损过程提供了一定的理论依据。 展开更多
关键词 高炉 耐火材料 si_2n_4 sic 氧化
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添加TiO_(2)对Si_(3)N_(4)陶瓷刀具切削性能的影响 被引量:1
8
作者 周宇章 魏万鑫 +2 位作者 罗嗣春 郭伟明 林华泰 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期64-69,76,共7页
通过气压烧结制备添加质量分数5%TiO_(2)的Si_(3)N_(4)陶瓷并制成刀具,研究了TiO_(2)对其显微组织、力学性能和切削性能的影响,并与未添加TiO_(2)烧结Si_(3)N_(4)陶瓷作对比。结果表明:添加TiO_(2)烧结Si_(3)N_(4)陶瓷主要由长棒状与等... 通过气压烧结制备添加质量分数5%TiO_(2)的Si_(3)N_(4)陶瓷并制成刀具,研究了TiO_(2)对其显微组织、力学性能和切削性能的影响,并与未添加TiO_(2)烧结Si_(3)N_(4)陶瓷作对比。结果表明:添加TiO_(2)烧结Si_(3)N_(4)陶瓷主要由长棒状与等轴状的β-Si_(3)N_(4)晶粒组成,并伴有均匀分布的TiN相,与未添加TiO_(2)烧结Si_(3)N_(4)陶瓷相比,晶粒得到细化,硬度上升而断裂韧度略有下降;在连续切削灰铸铁过程中,添加TiO_(2)的Si_(3)N_(4)陶瓷刀具具有更长的切削寿命(有效切削长度为2410 m),并且保持了刃口的完整性,切削后黏着磨损碎片较小。 展开更多
关键词 si_(3)n_(4)陶瓷刀具 Tio_(2) 显微组织 力学性能 切削性能
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Si_3N_4结合SiC复相材料的高温氧化行为 被引量:3
9
作者 王黎 蒋明学 +2 位作者 尹洪峰 陈盼军 李波涛 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期23-26,共4页
利用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜、压汞仪和热重分析仪等手段,在1 100~1 500℃范围内研究Si3N4结合SiC复相材料的高温抗氧化行为。结果表明:随氧化温度升高,由于氧化致密层的形成,试样氧化质量增加速率降低;随氧化温度升高出现氧化... 利用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜、压汞仪和热重分析仪等手段,在1 100~1 500℃范围内研究Si3N4结合SiC复相材料的高温抗氧化行为。结果表明:随氧化温度升高,由于氧化致密层的形成,试样氧化质量增加速率降低;随氧化温度升高出现氧化钝化现象,使Si3N4结合SiC复相材料表现出很好的高温抗氧化性能;高温氧化使Si3N4结合SiC复相材料显气孔率降低,常温抗压强度升高,由于氧化层表面裂纹形成使氧化后试样的常温耐压强度随氧化温度升高而降低。 展开更多
关键词 si_3n_4结合sic复相材料 氧化行为 强度 孔径分布
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Li_(2)O-Si_(3)N_(4)-AlN系统相关系和Li-α′-Sialon的形成
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作者 匡绍凤 黄振坤 +1 位作者 孙维莹 严东生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期375-379,共5页
研究了 Li_2O-Si_3N_4-AlN 系统1750℃的等温截面。在 Si_3N_4-Li_2O∶3AlN 连线上,测定了 Li-α′-Sialon 固溶体(Li_(?)Si_(?)Al_(3n)O_nN_(?),2n≤2)区,其稳定范围为2n=0.25~1.50。研究了 Li-α′-Sialon的形成反应和致密化过程。... 研究了 Li_2O-Si_3N_4-AlN 系统1750℃的等温截面。在 Si_3N_4-Li_2O∶3AlN 连线上,测定了 Li-α′-Sialon 固溶体(Li_(?)Si_(?)Al_(3n)O_nN_(?),2n≤2)区,其稳定范围为2n=0.25~1.50。研究了 Li-α′-Sialon的形成反应和致密化过程。发现在1300~1600℃范围内先生成一个中间相:Li-O′-Sialon,从1600℃才开始并快速地形成 Li-α′-Sialon,1700℃可获得接近理论密度的纯 Li-α′-Silon 相。对 Li-α′-Sialon 的高温稳定性也作了讨论。 展开更多
关键词 相关系 siALon si_(3)n_(4) ALn Li_(2)o
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γ射线辐照对探测器的SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合栅界面和暗电流的影响
11
作者 曾武贤 钟玉杰 《集成电路应用》 2022年第4期4-7,共4页
分析表明,利用γ射线对SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合栅进行辐照,通过C-V曲线测试发现,经过γ射线辐照,C-V曲线向负方向漂移,C-V曲线整体抬高,平带电压向负方向漂移,界面态增大。辐照后CCD器件的暗电流变大,通过γ射线辐照对CCD的Si-SiO_(2)... 分析表明,利用γ射线对SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合栅进行辐照,通过C-V曲线测试发现,经过γ射线辐照,C-V曲线向负方向漂移,C-V曲线整体抬高,平带电压向负方向漂移,界面态增大。辐照后CCD器件的暗电流变大,通过γ射线辐照对CCD的Si-SiO_(2)界面产生损伤的机理分析,发现辐照后器件暗电流的增加主要是辐照后栅氧化层中产生的感生界面态电荷和场氧化层中产生大量的复合中心引起。辐照后CCD暗电流的变化和SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合栅界面的变化原因相同,SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合栅界面的变化导致了CCD暗电流发生了变化。 展开更多
关键词 集成电路 Γ射线 si-sio_(2)界面 CCD 辐射损伤
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氮化硅铁在Al_2O_3-SiC-C质铁沟浇注料中的防氧化行为 被引量:9
12
作者 陈俊红 孙加林 +2 位作者 邓小玲 占华生 洪彦若 《耐火材料》 EI CAS 北大核心 2005年第1期50-53,共4页
将Al_2O_3-SiC-C系铁沟浇注料及分别添加 8% (质量分数)氮化硅、氮化硅铁的浇注料试样在空气中进行 1500℃ 3h热处理后,分别对氧化层进行形貌(SEM)及能谱分析(EDS),并结合热力学分析了氮化硅铁的防氧化行为:高温氧化气氛下,表面氮化硅... 将Al_2O_3-SiC-C系铁沟浇注料及分别添加 8% (质量分数)氮化硅、氮化硅铁的浇注料试样在空气中进行 1500℃ 3h热处理后,分别对氧化层进行形貌(SEM)及能谱分析(EDS),并结合热力学分析了氮化硅铁的防氧化行为:高温氧化气氛下,表面氮化硅铁中的Si3N4首先氧化生成SiO2,构成氧化层的主体;随着铁相材料的氧化,形成的氧化铁不但降低了氧化层的熔点,而且降低了熔体的粘度,增进熔体在材料表面上的润湿性及流动性,形成覆盖于材料表面的氧化层而阻止碳素氧化,使其具有比纯氮化硅更好的防氧化性能;另外,由于氮化硅铁在Al2O3 -SiC-C系材料中加入量少,而且试样内部的铁不是以氧化铁形式存在的,故对材料高温使用性能的影响不大。 展开更多
关键词 铁沟浇注料 氮化硅铁 AL2o3-sic-C 熔体 加入量 氧化铁 si3n4 氧化层 铁相 防氧化
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Si_(3)N_(4)加入量对铁沟浇注料性能的影响
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作者 王佳宁 赵现华 +2 位作者 颜浩 任林 张义先 《耐火与石灰》 2022年第1期45-47,共3页
为了进一步提高Al_(2)O_(3)-SiC-C铁沟浇注料的性能,以特级矾土、棕刚玉、SiC、Al_(2)O_(3)微粉、白刚玉、硅微粉、97硅粉、Si_(3)N_(4)粉为主要原料,以高铝水泥为结合剂,制备了铁沟浇注料,研究了Si_(3)N_(4)加入量对铁沟浇注料性能的... 为了进一步提高Al_(2)O_(3)-SiC-C铁沟浇注料的性能,以特级矾土、棕刚玉、SiC、Al_(2)O_(3)微粉、白刚玉、硅微粉、97硅粉、Si_(3)N_(4)粉为主要原料,以高铝水泥为结合剂,制备了铁沟浇注料,研究了Si_(3)N_(4)加入量对铁沟浇注料性能的影响。结果表明:添加Si_(3)N_(4)可使浇注料在高温下具有更优异的机械性能、抗热震性和良好的抗氧化性;另一方面由于材料在烧结过程中生成了β-赛隆相,并与刚玉紧密结合,使试样结构致密,提高了材料的抗渣性能。 展开更多
关键词 si_(3)n_(4)加入量 Al_(2)o_(3)-sic-C浇注料 强度 抗渣性能
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ZrO_(2)(Y_(2)O_(3))增韧的氮化硅烧结体的性能及相关系 被引量:8
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作者 臧建兵 王明智 王艳辉 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期76-79,共4页
在高温 (140 0℃ )超高压 (4 .2 GPa)下制备 Y2 O3部分稳定的 Zr O2 增韧的氮化硅烧结体 ,通过 XRD及机械性能测试等方法分析 Zr O2 的相结构 ,研究氮化硅烧结体的增韧机理。结果表明 ,烧结体中加入少量的铝粉 ,可提高t- Zr O2 的相变能... 在高温 (140 0℃ )超高压 (4 .2 GPa)下制备 Y2 O3部分稳定的 Zr O2 增韧的氮化硅烧结体 ,通过 XRD及机械性能测试等方法分析 Zr O2 的相结构 ,研究氮化硅烧结体的增韧机理。结果表明 ,烧结体中加入少量的铝粉 ,可提高t- Zr O2 的相变能力 ,达到利用部分稳定的 Zr O2 增韧氮化硅烧结体的目的。稳定剂 Y2 O3 在 Zr O2 中含量小于2 .5 mol%时 ,t→ m相变量及断裂韧性随 Y2 O3含量增加而逐渐提高 ,韧性提高来源于相变增韧和微裂纹增韧 ;Y2 O3含量大于 2 .5 m ol%时 ,t相接近 10 0 % ,韧性主要来源于相变增韧 ,增韧效果随 Y2 O3含量增加而逐渐减弱。 Y2 O3作为良好的烧结助剂 ,促进氮化硅烧结体在超高压下致密化 ,烧结体的硬度随 Y2 O3含量增加逐渐提高。 展开更多
关键词 氧化锆 氮化硅陶瓷 复相陶瓷 性能
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等离子喷涂Al_(2)O_(3)涂层与高硬配副的摩擦学性能研究 被引量:12
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作者 李荣泽 赵晓琴 +3 位作者 段文山 安宇龙 周惠娣 陈建敏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期184-195,共12页
目的研究大气等离子喷涂Al_(2)O_(3)涂层在高硬配副下的摩擦磨损行为。方法通过大气等离子喷涂(APS)制备了厚度约为380μm的Al_(2)O_(3)涂层,利用纳米压痕仪测量了Al_(2)O_(3)涂层和两种摩擦副的硬度和弹性模量。采用X射线衍射仪(XRD)... 目的研究大气等离子喷涂Al_(2)O_(3)涂层在高硬配副下的摩擦磨损行为。方法通过大气等离子喷涂(APS)制备了厚度约为380μm的Al_(2)O_(3)涂层,利用纳米压痕仪测量了Al_(2)O_(3)涂层和两种摩擦副的硬度和弹性模量。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对喷涂粉末、涂层以及磨痕的相结构和形貌进行了表征分析,通过X射线能量色散谱仪(EDS)分析了涂层磨痕中对偶元素的转移。另外,还通过CSM摩擦机系统地研究了该涂层的摩擦磨损行为。借助X射线光电子能谱仪(XPS)分析了磨痕中的化学组成。结果制备的Al_(2)O_(3)涂层主要以γ-Al_(2)O_(3)相为主,且存在一定孔隙,并出现层状结构。在摩擦实验中发现,在同一摩擦副下,Al_(2)O_(3)涂层的摩擦系数随着载荷的增加而逐渐降低,磨损率随之增大。由于摩擦配副力学性能的差异,使Al_(2)O_(3)涂层表现出不同的摩擦磨损行为。以Si_(3)N_(4)为摩擦副时,Al_(2)O_(3)涂层的摩擦系数较小,但磨损率大,磨损机制主要是磨粒磨损和粘着磨损。在摩擦过程中,Si_(3)N_(4)对偶副会与空气中的水反应,生成少量具有润滑效果的Si(OH)4胶体。以WC为摩擦副时,Al_(2)O_(3)涂层的摩擦系数大,但磨损率低,磨损机制主要是粘着磨损和磨粒磨损,并伴有疲劳磨损。在摩擦过程中,由于产生了摩擦热,Al_(2)O_(3)涂层磨痕表面的γ-Al_(2)O_(3)相转变为α-Al_(2)O_(3)相,摩擦配副的硬度和弹性模量越大,摩擦系数越高,γ-Al_(2)O_(3)相的转变也越多。结论因高硬度的Si_(3)N_(4)和WC对偶球拥有不同的力学性能,对大气等离子喷涂制备的Al_(2)O_(3)涂层的摩擦磨损机理有显著的影响,并且在摩擦过程中,涂层磨痕内的γ-Al_(2)O_(3)相会向α-Al_(2)O_(3)相转变。 展开更多
关键词 Al_(2)o_(3)涂层 大气等离子喷涂 摩擦学性能 si_(3)n_(4)对偶球 WC对偶球
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Corrosion Resistance of Ceramic Materials in Metallic Neodymium and NdF_3-LiF-Nd_2O_3 System
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作者 罗旭东 王兆文 +3 位作者 石忠宁 胡宪伟 高炳亮 涂赣峰 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第S1期444-447,共4页
Corrosion resistant properties of Si3N4-SiC and TiB2 at high temperature were studied. The experiments were carried out in metallic neodymium and NdF3-LiF-Nd2O3 system, respectively. Corrosion temperature was 1100 ℃ ... Corrosion resistant properties of Si3N4-SiC and TiB2 at high temperature were studied. The experiments were carried out in metallic neodymium and NdF3-LiF-Nd2O3 system, respectively. Corrosion temperature was 1100 ℃ and the holding time of corrosion experiments was 24 h. Corrosion products were analyzed by XRD and SEM, and corrosion behavior and corrosion mechanism of the experiments were studied. The results showed that Si3N4-SiC was corroded seriously in the above-mentioned two systems. A few of compounds were found on the surface of Si3N4-SiC, and surface structure of the Si3N4-SiC samples was loosened. The corrosion resistance of TiB2 was better than that of Si3N4-SiC. Oxidation resistance of TiB2 at high temperature should be enhanced. 展开更多
关键词 si_3n_4-sic TiB_2 ceramic materials corrosion resistance neodymium electrolysis rare earths
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Nb_(2)C氮化硅生物涂层的体外生物学特性研究初探
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作者 袁俊 赵娜 +4 位作者 朱晓雪 王彤 李权 马俊青 杨建 《口腔生物医学》 2023年第4期229-232,共4页
目的:制备Nb_(2)C/3D打印氮化硅(Si_(3)N_(4))复合组织工程支架,研究其对小鼠胚胎成骨细胞MC3T3细胞增殖活性影响。方法:采用3D打印技术制备Si_(3)N_(4)支架,由Nb_(2)AlC粉末通过HCl-LiF水热原位腐蚀、剥离处理制备得到Nb_(2)C纳米片悬... 目的:制备Nb_(2)C/3D打印氮化硅(Si_(3)N_(4))复合组织工程支架,研究其对小鼠胚胎成骨细胞MC3T3细胞增殖活性影响。方法:采用3D打印技术制备Si_(3)N_(4)支架,由Nb_(2)AlC粉末通过HCl-LiF水热原位腐蚀、剥离处理制备得到Nb_(2)C纳米片悬浮液,将Si_(3)N_(4)支架浸泡于1.5 mg/mL Nb_(2)C纳米溶液获得Nb_(2)C生物涂层,制备Si_(3)N_(4)、Nb_(2)C/Si_(3)N_(4)支架浸提液孵育小鼠胚胎成骨细胞,CCK-8检测空白组、2%DMSO阳性对照组、Si_(3)N_(4)组、Nb_(2)C/Si_(3)N_(4)组孵育的MC3T3细胞增殖活性。结果:与空白组相比,阳性对照组细胞增殖活性显著性降低(P<0.05);与Si_(3)N_(4)组比较,Nb_(2)C/Si_(3)N_(4)组的MC3T3细胞增殖活性显著提高(P<0.05)。结论:Nb_(2)C/Si_(3)N_(4)生物涂层支架能促进MC3T3细胞增殖,是一种有应用潜力的骨组织工程材料。 展开更多
关键词 nb_(2)C MXene si_(3)n_(4) 生物涂层 成骨细胞 细胞增殖 骨组织工程
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TiZrNiCu钎焊Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)复合陶瓷与Nb接头组织及力学性能
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作者 单文禹 王颖 +1 位作者 杨振文 王东坡 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期927-933,共7页
采用高温活性钎料TiZrNiCu对Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)复合陶瓷和金属Nb进行真空钎焊试验,研究了钎焊接头典型界面结构组成及形成机制,分析了钎焊温度和保温时间对接头界面结构及力学性能的影响规律。结果表明,接头典型界面结构为Nb/β-Ti/(... 采用高温活性钎料TiZrNiCu对Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)复合陶瓷和金属Nb进行真空钎焊试验,研究了钎焊接头典型界面结构组成及形成机制,分析了钎焊温度和保温时间对接头界面结构及力学性能的影响规律。结果表明,接头典型界面结构为Nb/β-Ti/(Ti,Zr)_(2)(Cu,Ni)+β-Ti+(Ti,Zr)_(5)Si_(3)/TiN+(Ti,Zr)_(5)Si_(3)+MoSi_(2)/Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)。钎焊温度和保温时间主要影响Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)复合陶瓷中Si原子向钎缝中的扩散数量和距离,进而影响Nb/Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)接头中(Ti,Zr)_(5)Si_(3)化合物的形成量和分布,而决定着接头的抗剪切强度。当钎焊温度为920℃,保温10 min时,Nb/Si_(3)N_(4)-MoSi_(2)接头的室温抗剪切强度最大达到112 MPa。当剪切试验测试温度达到500和600℃时,接头的高温抗剪切强度分别达到123和131 MPa。 展开更多
关键词 空钎焊 si_(3)n_(4)-Mosi_(2)复合陶瓷 高温活性钎料 高温抗剪切强度
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氢氟酸清洗晶圆表面氮氧化硅材料导致缺陷的研究
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作者 唐斌 张志敏 《广州化工》 CAS 2023年第9期66-68,共3页
在晶圆制造过程发现了一种制程缺陷:晶圆表面薄膜是氮氧化硅用氢氟酸清洗后,晶圆表面经常发现圆球形状的缺陷。随着制程越来越先进,这样的异常缺陷越来越重要,会越来越引起广泛的关注及研究。本研究通过产生缺陷的原理及考察了相关清洗... 在晶圆制造过程发现了一种制程缺陷:晶圆表面薄膜是氮氧化硅用氢氟酸清洗后,晶圆表面经常发现圆球形状的缺陷。随着制程越来越先进,这样的异常缺陷越来越重要,会越来越引起广泛的关注及研究。本研究通过产生缺陷的原理及考察了相关清洗酸的性质和清洗机台结构,根据实验得出最佳的制程条件:使晶圆表面的氮氧化硅与晶圆表面残留的氢氟酸溶液反应的产物原硅酸立即溶解,阻止了原硅酸分解成偏硅酸从而解决了制程缺陷。 展开更多
关键词 球状缺陷 清洗 氮氧化硅 原硅酸 偏硅酸 氢氟酸
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铝电解槽侧壁材料的研究现状 被引量:2
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作者 刘建华 《山西冶金》 CAS 2021年第2期83-86,共4页
现行铝电解槽侧壁广泛采用Si_(3)N_(4)结合SiC材料砌筑。但同时通过侧壁耗散的热量巨大,约占整个电解过程能耗的35%,因此铝电解工业能源效率仅为40%~45%。侧壁材料从上到下将分别与强氧化性气体、强腐蚀性电解质及强还原性铝液直接接触,... 现行铝电解槽侧壁广泛采用Si_(3)N_(4)结合SiC材料砌筑。但同时通过侧壁耗散的热量巨大,约占整个电解过程能耗的35%,因此铝电解工业能源效率仅为40%~45%。侧壁材料从上到下将分别与强氧化性气体、强腐蚀性电解质及强还原性铝液直接接触,Si_(3)N_(4)结合SiC材料在气体和电解质交界部位将被严重侵蚀,无法满足无炉帮铝电解槽内侧壁的使用要求。因此,开发新型铝电解槽用侧壁材料对铝电解工业发展具有重要意义。 展开更多
关键词 铝电解 侧壁材料 si_(3)n_(4)结合sic
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