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快速热退火增强非晶SiC_xO_y薄膜蓝绿光发射特性研究
被引量:
2
1
作者
林圳旭
宋捷
+4 位作者
黄锐
王岩
王怀佩
郭艳青
宋超
《南京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期428-433,共6页
采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH_4,CH_4和O_2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现...
采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH_4,CH_4和O_2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现较强的光致发光特性,经过快速热退火处理后,其发光强度显著增强.薄膜在700℃经过快速热退火10s后,相比于原始沉积薄膜,其发光强度增强6倍,肉眼可见强的蓝绿光光发射.光荧光谱(PL)分析表明,薄膜的发光峰位不随激发波长的改变而发生明显变化.通过结合拉曼(Raman)光谱及傅里叶红外吸收(FTIR)光谱对薄膜的微结构及键合结构分析,分析了不同退火温度和退火时间对其蓝绿光发射增强机制的影响.
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关键词
碳氧化硅薄膜
等离子增强化学气相沉积
光致发光
快速热退火
下载PDF
职称材料
题名
快速热退火增强非晶SiC_xO_y薄膜蓝绿光发射特性研究
被引量:
2
1
作者
林圳旭
宋捷
黄锐
王岩
王怀佩
郭艳青
宋超
机构
韩山师范学院材料科学与工程学院
出处
《南京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期428-433,共6页
基金
国家自然科学基金(61274140
61306003)
+1 种基金
广东省自然科学基金(2015A030313871)
广东高校优秀青年创新人才培养计划(YQ2015112)
文摘
采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH_4,CH_4和O_2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现较强的光致发光特性,经过快速热退火处理后,其发光强度显著增强.薄膜在700℃经过快速热退火10s后,相比于原始沉积薄膜,其发光强度增强6倍,肉眼可见强的蓝绿光光发射.光荧光谱(PL)分析表明,薄膜的发光峰位不随激发波长的改变而发生明显变化.通过结合拉曼(Raman)光谱及傅里叶红外吸收(FTIR)光谱对薄膜的微结构及键合结构分析,分析了不同退火温度和退火时间对其蓝绿光发射增强机制的影响.
关键词
碳氧化硅薄膜
等离子增强化学气相沉积
光致发光
快速热退火
Keywords
silicon oxycarbide film
,
plasma enhanced chemical vapor deposition(pecvd)
,
photoluminescence
,
rapid thermal annealing
分类号
TP181 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
快速热退火增强非晶SiC_xO_y薄膜蓝绿光发射特性研究
林圳旭
宋捷
黄锐
王岩
王怀佩
郭艳青
宋超
《南京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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