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基于飞秒激光的高速双光子刻写技术 被引量:8
1
作者 杨顺华 丁晨良 +4 位作者 朱大钊 杨臻垚 刘勇 匡翠方 刘旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期34-55,共22页
基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间... 基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间过长不仅造成加工结构的不稳定,更是严重阻碍这些重要三维器件的进一步推广应用。本文以TPP加工效率提升方面的研究工作为主线,分别从单光束刻写、并行多光束刻写、面曝光和体曝光四个方式进行总结与对比,阐述相应的光学系统设计、刻写策略、刻写精度与通量等方面的研究情况,总结各种技术的优势与劣势,同时展望未来发展趋势。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 双光子光刻 单光束扫描 多焦点并行 面曝光 体曝光
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双光束双曝光与四光束单曝光干涉光刻方法的比较 被引量:4
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作者 张锦 冯伯儒 郭永康 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期21-24,62,共5页
双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列... 双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列图形周期极限为λ/2;四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍。模拟和实验结果表明,通过控制曝光和显影工艺,双光束双曝光较四光束单曝光能更灵活地得到孔阵或点阵,而四光束单曝光得到的图形孔与孔之间没有鞍点,较双光束双曝光形成的孔侧壁更陡。这两种方法在需要在大面积范围内形成孔或点这类周期阵列图形的微电子和光电子器件的制造领域有很好的应用前景。 展开更多
关键词 干涉光刻 无掩模 双光束双曝光 四光束单曝光
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飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构 被引量:6
3
作者 贺锋涛 周强 +3 位作者 杨文正 龙学文 白晶 程光华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期515-520,共6页
为了得到均匀分布的硅表面微结构,提出了一种利用多束激光干涉光刻的方法来实现对硅表面微结构分布特征的控制.利用空间光调制器实现飞秒激光多光束干涉,形成分布均匀、周期可控的空间点阵,利用聚焦的空间点阵在单晶硅表面烧蚀得到规则... 为了得到均匀分布的硅表面微结构,提出了一种利用多束激光干涉光刻的方法来实现对硅表面微结构分布特征的控制.利用空间光调制器实现飞秒激光多光束干涉,形成分布均匀、周期可控的空间点阵,利用聚焦的空间点阵在单晶硅表面烧蚀得到规则分布的凹坑状结构,并通过改变附加给空间光调制器的相位实现对微结构分布特征及间距的控制.用扫描电子显微镜和分光光度计分别对结构的形貌特征和光学特性进行了测量,结果表明:采用底角为2°的四棱锥镜相位形成四光束干涉,通过10×物镜聚焦,在激光功率25mW、曝光时间30s时,可以形成间距约为3.3μm的密排凹坑微结构,所形成的凹坑结构具有良好的减反效果,在1.2~2μm近红外波段的透过率相对抛光硅平均提高了11.5%. 展开更多
关键词 飞秒激光 空间光调制器 多光束干涉 单晶硅 减反微结构
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单片机在激光工件台中的应用 被引量:1
4
作者 张福安 谭敏 《微细加工技术》 EI 1994年第2期16-21,共6页
本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用,由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高,微动控制简单、可靠。显示分辨率0.01μm,位置测量精度0.02μm,测量最大距离330mm,(实际距离100m... 本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用,由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高,微动控制简单、可靠。显示分辨率0.01μm,位置测量精度0.02μm,测量最大距离330mm,(实际距离100mm),微动距离5μm、10μm、50μm、100μm四档。 展开更多
关键词 电子束曝光机 激光工件台 微处理机
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单束激光-连续超声波空气流动速度测量方法
5
作者 张彬乾 王磊 +1 位作者 李建英 宋宙模 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期669-673,共5页
文章提出了一种新型单束激光-连续超声波空气流动速度测量方法。该方法利用连续超声波在运动空气流场中传播时,超声波传播速度音速与空气运动速度叠加的物理现象,采用激光-超声干涉原理,通过测量波长变化,实现对空气流动速度的测量。建... 文章提出了一种新型单束激光-连续超声波空气流动速度测量方法。该方法利用连续超声波在运动空气流场中传播时,超声波传播速度音速与空气运动速度叠加的物理现象,采用激光-超声干涉原理,通过测量波长变化,实现对空气流动速度的测量。建立了试验验证系统,通过测量静止流场中的音速与均匀流场的速度,验证了该方法原理的正确性和技术可行性。该方法对流动现象不产生任何干扰与改变;不存在流动速度方向判别以及信号失真、丢失与辨别等复杂测量技术问题;可直接测量流场中任意一点瞬时速度;具有测量精度高、数据处理简单、成本小、造价低、操作简便等优点;易于实现"阵排列激光-超声测量技术",有望进行多个截面的速度测量以及非定常流场测量,适用于研究集中涡、二次涡、不规则分离等多种复杂流动现象。 展开更多
关键词 单束激光 超声波 声-光干涉 流动测量
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随机位相菲涅耳透镜阵列激光束匀化 被引量:1
6
作者 裴宪梓 梁永浩 +2 位作者 王菲 朱效立 谢常青 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期1-8,共8页
为降低干涉带来的影响,将一种随机位相分布引入菲涅耳透镜阵列,对阵列中每一个菲涅耳透镜施加0或π的二值化位相变化,打乱阵列位相的周期性排布,减少微透镜后多光束在匀化面干涉带来的影响.通过数值计算对激光束的匀化过程进行了模拟,... 为降低干涉带来的影响,将一种随机位相分布引入菲涅耳透镜阵列,对阵列中每一个菲涅耳透镜施加0或π的二值化位相变化,打乱阵列位相的周期性排布,减少微透镜后多光束在匀化面干涉带来的影响.通过数值计算对激光束的匀化过程进行了模拟,设计的菲涅耳透镜口径为0.5 mm,焦距为6mm,阵列数目为20×20,光斑整体均匀度达到90%,光束能量利用率达到96%.利用设计和制备的16台阶随机位相型菲涅耳透镜阵列对1 064nm波长的激光光束进行匀化,均匀度为83%,光束能量利用率为89%.研究结果表明,通过引入随机位相可有效减少干涉带来的影响,提高微透镜阵列对单模高斯光束的匀束效果. 展开更多
关键词 激光束均匀化 单模高斯光束 随机位相 菲涅耳透镜阵列 干涉
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Laser interference fabrication of large-area functional periodic structure surface 被引量:2
7
作者 Lei WANG Zi-Han WANG +1 位作者 Yan-Hao YU Hong-Bo SUN 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2018年第4期493-503,共11页
Functional periodic structures have attracted significant interest due to their natural capabilities in regulating surface energy, surface effective refractive index, and diffraction. Several technologies are used for... Functional periodic structures have attracted significant interest due to their natural capabilities in regulating surface energy, surface effective refractive index, and diffraction. Several technologies are used for the fabrication of these functional structures. The laser interference technique in particular has received attention because of its simplicity, low cost, and high-efficiency fabrication of large-area, micro/nanometer-scale, and periodically patterned structures in air conditions. Here, we reviewed the work on laser interference fabrication of large-area functional periodic structures for antireflection, self-cleaning, and superhydrophobicity based on our past and current research. For the common cases, four-beam interference and multi-exposure of two-beam interference were emphasized for their setup, structure diversity, and various applications for antireflection, self-cleaning, and superhydrophobicity. The relations between multi-beam interference and multi-exposure of two-beam interference were compared theoretically and experimentally. Nanostructures as a template for growing nanocrystals were also shown to present future possible applications in surface chemical control. Perspectives on future directions and applications for laser interference were presented. 展开更多
关键词 laser interference four-beam interference multi-exposure of two-beam interference additive fabrication
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表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文) 被引量:5
8
作者 董启明 郭小伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期558-564,共7页
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻... 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持. 展开更多
关键词 干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构
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基于光束干涉的高功率激光鬼像分析 被引量:2
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作者 张燕 张艳丽 +3 位作者 朱健强 孙平平 刘芳 刘德安 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期91-97,共7页
在原有鬼像焦斑空间分布研究的基础上,进一步考虑入射激光脉冲与透镜的鬼像之间发生的干涉叠加现象。参考神光Ⅱ系统,分别推导并计算了3~10ns的入射脉冲引起最小像差型双凸透镜产生鬼像干涉的最大焦距范围,然后以单位矩形脉冲平面波作... 在原有鬼像焦斑空间分布研究的基础上,进一步考虑入射激光脉冲与透镜的鬼像之间发生的干涉叠加现象。参考神光Ⅱ系统,分别推导并计算了3~10ns的入射脉冲引起最小像差型双凸透镜产生鬼像干涉的最大焦距范围,然后以单位矩形脉冲平面波作为入射光,讨论存在干涉的几种情况。结果表明,由于干涉叠加效应,鬼像焦平面存在较大的调制,焦平面附近的区域也有很明显的干涉调制。干涉后鬼像的功率密度大大地超出了原有鬼像光强的估算值,特别是对于高阶鬼像,问题更加严重。 展开更多
关键词 高功率激光脉冲 鬼焦斑 多光束干涉 峰值功率 透镜
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