关于薄化工艺对Bending影响的相关研究

为保证产品良好的Bending特性,有必要进行薄化工艺深层研究,以提高薄化产品Bending,满足或超越客户需求,提高公司产品竞争力。本文着重研究了薄化工艺中的Slim(化学刻蚀)和Polish(物理研磨)工艺对Bending影响:1.通过双样本检定分析确定Slim工艺中采用预处理方式对Bending影响;2.通过双样本检定分析确定Polish工艺对Bending影响;3.利用DOE田口实验设计实验方案,对Polish工艺参数进行优化。通过一系列测试验证,得出兼顾Bending和外观良率的最优方案:采用Slim前预处理方式,采用Polish工艺,其中Polish浓度为7-8%,Polish为时间20min,Polish压力为-0.04Mpa。