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LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
1
作者
彭霄
田本朗
+5 位作者
毛世平
杜波
蒋欣
徐阳
马晋毅
蒋平英
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第3期330-334,共5页
该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了...
该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5MHz,反谐振频率为3986.25MHz,插入损耗为1.81dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。
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关键词
机电耦合
智能截割
铌酸锂(LiNbO3)单晶薄膜
薄膜体声波谐振器
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职称材料
题名
LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
1
作者
彭霄
田本朗
毛世平
杜波
蒋欣
徐阳
马晋毅
蒋平英
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第3期330-334,共5页
文摘
该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5MHz,反谐振频率为3986.25MHz,插入损耗为1.81dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。
关键词
机电耦合
智能截割
铌酸锂(LiNbO3)单晶薄膜
薄膜体声波谐振器
Keywords
electromechanical coupling
smart cut tm
LiNbO 3 single crystal film
thin film bulk acoustic resonator
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
彭霄
田本朗
毛世平
杜波
蒋欣
徐阳
马晋毅
蒋平英
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019
0
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