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SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜与SnO_2单层薄膜特性差异的研究 被引量：4
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作者 马晓翠 阎大卫 邹慧珠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第7期423-429,共7页
用等离子体化学气相淀积法制备的SnO_2/Fe_2O_3多层膜的一些电学特性和气敏特性不同于SnO_2单层膜.当SnO_2层的沉积时间很短时,多层膜在空气中及在敏感气氛中的电导随沉积时间的增加而下降.多层膜的响应及恢复时间也呈现一些反常的变化... 用等离子体化学气相淀积法制备的SnO_2/Fe_2O_3多层膜的一些电学特性和气敏特性不同于SnO_2单层膜.当SnO_2层的沉积时间很短时,多层膜在空气中及在敏感气氛中的电导随沉积时间的增加而下降.多层膜的响应及恢复时间也呈现一些反常的变化.本文提出一个包括过渡层在内的模型用以解释这些现象.过渡层可在沉积过程中产生,存在于SnO_2与Fe_2O_3界面附近,其厚度达30nm数量级. 展开更多
关键词 sno/feo 多层薄膜 sno 单层薄膜
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