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用喷涂法和溶胶-凝胶工艺制备PT/SnO_2(Sb)/SiO_2薄膜 被引量：1
1
作者 王世敏 王龙海 《湖北大学学报（自然科学版）》 CAS 1997年第3期233-235,共3页
用喷涂法在石英玻璃衬底上制备ＲＳ为１００～２００Ω／ｃｍ２的ＳｎＯ２（Ｓｂ）透明导电薄膜，并且以ＳｎＯ２（Ｓｂ）／ＳｉＯ２为衬底和底电极，用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰｂＴｉＯ３（ＰＴ）薄膜．ＰＴ膜为多晶，与ＳｎＯ２（Ｓｂ... 用喷涂法在石英玻璃衬底上制备ＲＳ为１００～２００Ω／ｃｍ２的ＳｎＯ２（Ｓｂ）透明导电薄膜，并且以ＳｎＯ２（Ｓｂ）／ＳｉＯ２为衬底和底电极，用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰｂＴｉＯ３（ＰＴ）薄膜．ＰＴ膜为多晶，与ＳｎＯ２（Ｓｂ）膜之间不存在界面反应． 展开更多
关键词 喷涂法 氧化锡 钛酸铅 薄膜 溶胶-凝胶法
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