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基于共溅射ZnO/SnO_(2)异质结薄膜的气体传感器研究 被引量:2
1
作者 孙士斌 张叶裕 +1 位作者 高晨阳 常雪婷 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期61-64,共4页
采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏... 采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏度以及更快的响应和恢复速度。ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器对乙醇具有较好的选择性,最低检测体积分数为1×10^(-6),最佳工作温度为250℃;对1×10^(-4)乙醇气体的灵敏度可达18.4,响应时间和恢复时间分别为10 s和19 s。 展开更多
关键词 磁控共溅射 zno/sno_(2)异质结 复合薄膜 气体传感器
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SnO_2/ZnO/铝箔复合薄膜的制备及光催化性能研究
2
作者 亓新华 李超英 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期59-61,共3页
采用溶胶-凝胶法在玻璃片/铝箔上制备SnO2/ZnO复合薄膜,以甲基橙水溶液模拟有机污染物,在可见光及紫外光下研究了SnO2/ZnO薄膜的光催化降解性能。实验结果表明:以铝箔为载体比以玻璃为载体时降解效率要有明显提高;当Sn Cl4在溶胶中的质... 采用溶胶-凝胶法在玻璃片/铝箔上制备SnO2/ZnO复合薄膜,以甲基橙水溶液模拟有机污染物,在可见光及紫外光下研究了SnO2/ZnO薄膜的光催化降解性能。实验结果表明:以铝箔为载体比以玻璃为载体时降解效率要有明显提高;当Sn Cl4在溶胶中的质量浓度为0.05 g/m L时,SnO2/ZnO/铝箔的降解效率最高;光照2 h时,在紫外光照射下降解效率为98.91%,可见光照射下降解效率达到了82.62%。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sno2/zno薄膜 光催化降解 甲基橙
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Ti/SnO_2/ZnO复合薄膜的制备及其光催化性能研究 被引量:1
3
作者 魏守强 刘瑛 +2 位作者 曹琳琳 卢旭东 邵忠财 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2009年第1期5-8,共4页
以Ti/SnO2为基体,从Zn(NO3)2水溶液中阴极电沉积ZnO,制备了Ti/SnO2/ZnO复合薄膜,用X-射线衍射、扫描电子显微镜和紫外-可见漫反射吸收光谱对其进行了表征,以甲基橙为目标有机物,考察了其光催化活性。实验结果表明,Ti/SnO2/ZnO复合薄膜... 以Ti/SnO2为基体,从Zn(NO3)2水溶液中阴极电沉积ZnO,制备了Ti/SnO2/ZnO复合薄膜,用X-射线衍射、扫描电子显微镜和紫外-可见漫反射吸收光谱对其进行了表征,以甲基橙为目标有机物,考察了其光催化活性。实验结果表明,Ti/SnO2/ZnO复合薄膜的光催化活性明显高于Ti/ZnO薄膜,且其催化活性随ZnO的沉积时间而变化。对复合薄膜催化活性提高的原因进行了讨论。 展开更多
关键词 Ti/sno2/zno复合薄膜 电沉积 光催化活性
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SnO_2∶ZnO 薄膜乙醇气敏光纤传感技术 被引量:2
4
作者 郑顺旋 郭斯淦 余永安 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期271-276,共6页
本文提出了一种新的气敏光学薄膜,其基质为二氧化锡,掺杂质为氧化锌。试验了它对乙醇的气敏特性,获得良好的效果。
关键词 sno2:zno薄膜 乙醇 气敏传感技术
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电泳沉积法制备ZnO/SnO_2复合薄膜及其光催化性能研究 被引量:1
5
作者 赵丽 范佳杰 +2 位作者 余家国 翟鹏程 王世敏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1211-1214,共4页
在导电玻璃FTO基底上,利用电泳沉积技术成功制备了ZnO/SnO2复合薄膜,并对样品进行了SEM和XRD表征,并以降解罗丹明B为模型反应,考察不同条件下制备的复合薄膜的光催化活性。结果表明电泳沉积时间为20min时,可得到表面致密均匀的ZnO薄膜,... 在导电玻璃FTO基底上,利用电泳沉积技术成功制备了ZnO/SnO2复合薄膜,并对样品进行了SEM和XRD表征,并以降解罗丹明B为模型反应,考察不同条件下制备的复合薄膜的光催化活性。结果表明电泳沉积时间为20min时,可得到表面致密均匀的ZnO薄膜,膜厚为0.5μm,且随着电泳沉积时间的延长,薄膜的光催化速率不断增加,沉积时间为20min时,光催化速率达到最大(0.016min-1),如此优异的光催化性能可能是由于异质结构光催化剂ZnO/SnO2减小光生电子-空穴的复合几率,提高了复合催化剂的光催化效率。此外,还研究了热处理温度对ZnO/SnO2复合薄膜光催化效率的影响,结果发现在300℃热处理的光催化薄膜对罗丹明B的降解率最好,活性最高。 展开更多
关键词 zno/sno2复合薄膜 电泳沉积 光催化性能
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稀土Dy掺杂对ZnO,CdO和SnO_2薄膜性能的影响 被引量:2
6
作者 韩菲 李健 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期936-942,共7页
用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的最佳... 用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的最佳掺Dy原子数分数为5%,5%和3%。掺Dy后Cd O,ZnO和SnO2薄膜的导电类型均为n型,电阻值降低约一个数量级。Dy掺杂使得薄膜的致密性增加而导致光透过率降低。制备的薄膜都是直接带隙半导体,相应的光学带隙:Cd O约2.232 eV,CdO∶Dy(Dy原子数分数5%)的略增为2.241 e V,ZnO薄膜约为3.31 eV;ZnO∶Dy(Dy原子数分数5%)约3.25 eV,SnO2薄膜约3.07 eV,SnO2∶Dy(Dy原子数分数3%)约3.03 eV。 展开更多
关键词 热蒸发 CDO zno sno2 薄膜 稀土Dy掺杂 热处理
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SnO_2-ZnO薄膜特性研究
7
作者 贾维国 丁铁柱 郭俊平 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1999年第2期166-168,共3页
用真空蒸发SnO2-ZnO,获取超微粒结构的SnO2-ZnO薄膜.实验发现w(SnO2)w(ZnO)=80%20%薄膜有较低的电阻率,对乙醇有较高的敏感性,是较好的酒敏材料.
关键词 真空蒸发 薄膜 气体锡 氧化锌 半导体
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ZnO-SnO_2透明导电薄膜的制备及性能研究 被引量:6
8
作者 王峰 张志勇 +2 位作者 闫军锋 李林 贠江妮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3121-3125,共5页
采用二步成胶工艺制备ZnO-SnO2透明导电薄膜,应用X射线衍射、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计、薄膜分析仪及四探针仪等对薄膜的结构、表面微观形貌、透过率和导电性能进行表征.结果表明,锌锡摩尔比为9/12,退火温度为500℃时,薄膜的... 采用二步成胶工艺制备ZnO-SnO2透明导电薄膜,应用X射线衍射、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计、薄膜分析仪及四探针仪等对薄膜的结构、表面微观形貌、透过率和导电性能进行表征.结果表明,锌锡摩尔比为9/12,退火温度为500℃时,薄膜的透过率达90%,电阻率为3.15×10-3Ω.cm.与其它工艺相比,二步成胶工艺所制备出的ZnO-SnO2透明导电薄膜性能优异. 展开更多
关键词 二步法 znosno2 锌锡摩尔配比 透明导电薄膜
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La掺杂ZnO和SnO_2薄膜的气敏特性 被引量:4
9
作者 董斌华 李健 杨晶 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第7期75-78,81,共5页
真空蒸发沉积薄膜再经热氧化获得n型掺La的ZnO和SnO2薄膜(玻璃衬底).研究掺La含量与热氧化工艺对薄膜的物相结构、表面形貌和气敏特性的影响.实验给出:掺La使薄膜表面颗粒细化,随La含量增加,ZnO,SnO2薄膜平均晶粒尺寸均增大.掺La可明显... 真空蒸发沉积薄膜再经热氧化获得n型掺La的ZnO和SnO2薄膜(玻璃衬底).研究掺La含量与热氧化工艺对薄膜的物相结构、表面形貌和气敏特性的影响.实验给出:掺La使薄膜表面颗粒细化,随La含量增加,ZnO,SnO2薄膜平均晶粒尺寸均增大.掺La可明显降低2种薄膜的气敏工作温度.相比之下,掺La对ZnO薄膜的灵敏度改善明显优于SnO2。在体积分数为6×10-3的还原性气体丙酮、乙醇中,ZnO∶La(3%)薄膜对二者的灵敏度分别达36,23;SnO2∶La(3%)对丙酮灵敏度可达15,掺La(5%)SnO2薄膜对乙醇的灵敏度也有一定的改善。 展开更多
关键词 真空蒸发 LA掺杂 热氧化 zno sno2薄膜 气敏特性
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ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质 被引量:13
10
作者 黄树来 马瑾 +3 位作者 刘晓梅 马洪磊 孙征 张德恒 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期56-59,共4页
在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3&#... 在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3× 10 1 9cm- 3、霍尔迁移率为 2 0 .5 cm2 / (V· s) ,在可见光范围内的平均透过率达到了 90 % . 展开更多
关键词 透明导电膜 znosno2 射频磁控溅射
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F掺杂SnO_2透明导电薄膜微结构及性能研究 被引量:10
11
作者 莫建良 陈华 +4 位作者 曹涯雁 刘起英 汪建勋 翁文剑 韩高荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期152-156,共5页
通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525... 通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525℃以上,薄膜结晶程度大大提高,薄膜厚度从25nm提高到近300nm,方块电阻下降了两个数量级,中远红外的反射率达到了85%以上。 展开更多
关键词 CVD F掺杂sno2薄膜 微结构 性能
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泡沫镍负载纳米ZnO-SnO_2光催化降解三氯乙烯 被引量:9
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作者 张茂林 安太成 +4 位作者 胡晓洪 王存 王新明 盛国英 傅家谟 《环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期259-263,共5页
采用比较简单的共沉淀法技术制备了纳米ZnO SnO2复合氧化物光催化剂,并将其负载在泡沫镍上制成了负载型纳米光催化剂,以三氯乙烯为挥发性有机物的模型反应物,研究了反应气流速、湿度等因素对反应的影响,同时考察了催化剂的失活特征,结... 采用比较简单的共沉淀法技术制备了纳米ZnO SnO2复合氧化物光催化剂,并将其负载在泡沫镍上制成了负载型纳米光催化剂,以三氯乙烯为挥发性有机物的模型反应物,研究了反应气流速、湿度等因素对反应的影响,同时考察了催化剂的失活特征,结果表明该负载型纳米光催化剂具有较高的光催化活性,同时具有较强的抗失活性能,在205h反应中没有出现失活现象. 展开更多
关键词 负载型 失活 泡沫镍 纳米zno 反应 活性能 催化剂 sno2 光催化降解 复合氧化物
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SnO_2TiO_2复合半导体纳米薄膜的研究进展 被引量:15
13
作者 尚静 谢绍东 刘建国 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1012-1018,共7页
本文概述了SnO2TiO2复合半导体纳米薄膜的发展历史和研究现状,对比分析了“混合”、“核壳”和“叠层”3种复合薄膜的结构和性能特点,着重论述了叠层结构的SnO2/TiO2复合薄膜的光电化学和光催化特性。结合作者的研究工作,探讨了SnO2/TiO... 本文概述了SnO2TiO2复合半导体纳米薄膜的发展历史和研究现状,对比分析了“混合”、“核壳”和“叠层”3种复合薄膜的结构和性能特点,着重论述了叠层结构的SnO2/TiO2复合薄膜的光电化学和光催化特性。结合作者的研究工作,探讨了SnO2/TiO2双层复合薄膜上下层厚度对其光催化活性的影响,指出复合薄膜光催化活性的提高可归因于电子从TiO2向SnO2的迁移。最后对SnO2/TiO2复合薄膜的局限性和发展潜势做一简要分析,强调了该复合薄膜本身的应用特点。 展开更多
关键词 sno2 TIO2 复合半导体薄膜 光催化
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喷雾热解法制备SnO_2:Sb透明导电薄膜 被引量:17
14
作者 张聚宝 侯春 +5 位作者 翁文剑 程逵 杜丕一 沈鸽 汪建勋 韩高荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1063-1068,共6页
采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:... 采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11%(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO_2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82%,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10^(-4)Ω·cm。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 掺锑二氧化锡 喷雾热解 光电性能 sno2:Sb
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掺杂SnO_2透明导电薄膜电学及光学性能研究 被引量:42
15
作者 郭玉忠 王剑华 +1 位作者 黄瑞安 王贵青 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期131-138,共8页
通过实验测量 sol-gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电... 通过实验测量 sol-gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达1020cm-3,电阻率~10-2Ω·cm,透光率高达 90%,SnO2膜禁带宽度 Eg=37~3.80eV. 展开更多
关键词 Sb 掺杂 sno2薄膜 导电性 测量 透光度 反射率 电学性能 二氧化锡 半导体材料 光学性能
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SnO_2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能 被引量:8
16
作者 赵杰 赵经贵 +3 位作者 高山 霍丽华 王海水 席时权 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期122-125,共4页
以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增... 以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0~ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。 展开更多
关键词 sno2 薄膜 溶胶-凝胶法 气敏性能
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电沉积三维多孔Pt/SnO_2薄膜及其对甲醇的电催化氧化 被引量:8
17
作者 周颖华 岑树琼 +1 位作者 李则林 牛振江 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第23期2669-2674,共6页
在高电流密度下以阴极析出的氢气泡为"模板"电沉积三维多孔Sn薄膜,经在200℃2h和400℃2h热处理氧化后电沉积金属Pt,制得三维多孔的Pt/SnO2(3D-Pt/SnO2)薄膜.通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分析了薄膜的形貌和结构.结果显... 在高电流密度下以阴极析出的氢气泡为"模板"电沉积三维多孔Sn薄膜,经在200℃2h和400℃2h热处理氧化后电沉积金属Pt,制得三维多孔的Pt/SnO2(3D-Pt/SnO2)薄膜.通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分析了薄膜的形貌和结构.结果显示Pt主要沉积在SnO2枝晶上,形成Ptshell/SnO2core结构的枝晶.在0.5mol·dm-3H2SO4+1.0mol·dm-3CH3OH溶液中的循环伏安结果表明,3D-Pt/SnO2薄膜电极在酸性溶液中电催化氧化甲醇的性能优于电沉积的纯铂电极,而且具有较高的稳定性. 展开更多
关键词 Pt/sno2 三维多孔薄膜 电沉积 甲醇 电催化氧化
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基板温度对SnO_2:Sb薄膜结构和性能的影响 被引量:7
18
作者 谢莲革 汪建勋 +3 位作者 沈鸽 翁文剑 杜丕一 韩高荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期411-413,418,共4页
以单丁基三氯化锡(MBTC)和 SbCl3 为反应原料,采用常压化学气相沉积法(APCVD 法)在不同的基板温度下制备 Sb 掺杂 SnO2 薄膜,用 XRD、SEM表征了薄膜的结构和形貌,通过测量薄膜的方块电阻、载流子浓度、霍尔(Hall)系数、紫外可见光谱等性... 以单丁基三氯化锡(MBTC)和 SbCl3 为反应原料,采用常压化学气相沉积法(APCVD 法)在不同的基板温度下制备 Sb 掺杂 SnO2 薄膜,用 XRD、SEM表征了薄膜的结构和形貌,通过测量薄膜的方块电阻、载流子浓度、霍尔(Hall)系数、紫外可见光谱等性质,详细研究了基板温度对薄膜结构和光电性能的影响。实验表明 550℃以上制备的样品为多晶薄膜,并保持四方相金红石型结构;在 650℃下沉积的薄膜具有最低的方块电阻值,为 72Ω/□;在可见光区域薄膜透射率和反射率随着基板温度的提高均有所下降。 展开更多
关键词 APCVD法 Sb掺杂sno2薄膜 基板温度
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超级电容器高比容(RuO_2/SnO_2)·nH_2O复合薄膜电极的研究 被引量:8
19
作者 甘卫平 师响 +2 位作者 黄波 刘泓 刘继宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期7-10,共4页
采用电沉积工艺制备超级电容器用钽基(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜,研究了初始沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比以及热处理对制备(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜性能的影响。借助扫描电镜、X射线衍射仪、红外光谱对薄膜的形貌和物相进行分析,用循环伏安... 采用电沉积工艺制备超级电容器用钽基(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜,研究了初始沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比以及热处理对制备(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜性能的影响。借助扫描电镜、X射线衍射仪、红外光谱对薄膜的形貌和物相进行分析,用循环伏安法(CV)对该复合薄膜电容特性进行了测量。结果表明,以沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比为2∶1时电沉积出的样品,在温度为300℃、热处理2.5h后所制备出的复合电极薄膜材料的比电容达到385F/g。 展开更多
关键词 电沉积 (RuO2/sno2).nH2O复合薄膜 超级电容器 掺杂
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SnO_(2-x)薄膜非化学计量比对气敏性能的影响 被引量:5
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作者 王磊 杜军 +2 位作者 毛昌辉 杨志民 熊玉华 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期22-25,51,共5页
采用反应磁控溅射法制备SnO2薄膜经常出现化学计量比的失衡问题。通过控制溅射过程中的氧分压制备不同化学计量比的SnO2-x薄膜,研究非化学计量比对薄膜结构、成分以及气敏性能的影响。XRD结果表明氧分压对材料结构和取向的影响非常显著... 采用反应磁控溅射法制备SnO2薄膜经常出现化学计量比的失衡问题。通过控制溅射过程中的氧分压制备不同化学计量比的SnO2-x薄膜,研究非化学计量比对薄膜结构、成分以及气敏性能的影响。XRD结果表明氧分压对材料结构和取向的影响非常显著。薄膜的O/Sn和表面化学成分通过XPS进行确定,分析发现氧分压的增加促使薄膜接近化学计量比,但表面化学吸附氧含量在0.33Pa氧分压下达到最大。气敏性能测试表明,非化学计量比主要影响薄膜表面的化学吸附氧数量,从而影响导电性和气体敏感性。氧分压对薄膜化学吸附氧的影响趋势与对气敏性能的影响趋势一致。0.33Pa氧分压下制备的薄膜拥有最多的表面吸附氧,同时对氢气的灵敏度高达45.6%。另外,在0.2-0.5Pa氧分压下制备的薄膜对氢气具有较好的选择性。 展开更多
关键词 sno2薄膜 氧分压 非化学计量比 反应磁控溅射
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