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掺杂CeO_2对制备SnO_2电热膜电学性能的影响 被引量:3
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作者 刘文生 黄文德 +1 位作者 云月厚 王利刚 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S2期74-76,共3页
以玻璃管为衬底材料,Sn(NO3)4,Sb(NO3)3,Ce(NO3)3的混合乙醇溶液作为喷涂液,采用化学喷涂法,研究掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质的影响。工艺实践表明:SnO2电热薄膜的最佳成膜温度值为650℃,最佳掺杂Ce/Sn原子比为6%,电导率... 以玻璃管为衬底材料,Sn(NO3)4,Sb(NO3)3,Ce(NO3)3的混合乙醇溶液作为喷涂液,采用化学喷涂法,研究掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质的影响。工艺实践表明:SnO2电热薄膜的最佳成膜温度值为650℃,最佳掺杂Ce/Sn原子比为6%,电导率σ=104(Ω.cm)-1,电学性能的热稳定性好。并从理论上定性讨论了掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质影响的机制。 展开更多
关键词 sno2电热膜 化学喷涂 电导率 热稳定性 稀土
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SnO_2-Sb-F电热膜的制备及其在化学反应器中的应用
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作者 张渝 何锡辉 +3 位作者 周德平 杜晓燕 成琼 谢家理 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期363-367,共5页
采用溶胶凝胶法的无机工艺路线,在普通陶瓷管上制备Sb、F共掺的SnO2薄膜,研究了薄膜表面电阻与掺杂量、浸涂次数以及薄膜的发热温度的关系.其表面电阻最低为8Ω/□,薄膜的发热温度可达600℃以上,将其作为ClO2反应管的面源加热介质,通过... 采用溶胶凝胶法的无机工艺路线,在普通陶瓷管上制备Sb、F共掺的SnO2薄膜,研究了薄膜表面电阻与掺杂量、浸涂次数以及薄膜的发热温度的关系.其表面电阻最低为8Ω/□,薄膜的发热温度可达600℃以上,将其作为ClO2反应管的面源加热介质,通过改变电热膜面积,形成温度梯度和浓度梯度的双梯度反应方式,大大提高了反应物的转化率. 展开更多
关键词 sno2电热膜 溶胶-凝胶法 双梯度反应管
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SnO_2·X电热膜的制备和在家庭电暖气加热器中的应用
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作者 邹长军 谭乃迪 《应用科技》 CAS 2002年第12期47-48,共2页
以SnCl4·5H2O为原料,真空溅射法制备SnO2·X电热膜。研究了元素搀杂量及镀膜温度对电阻及电阻温度特性的影响。家庭电暖气加热器的应用实验结果表明,SnO2·X膜热效率高,功率密度达到42W·cm-2.
关键词 制备 sno2·X电热膜 SNCL4·5H2O 家庭电暖气加热器 真空溅射法 热效率
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掺杂SnO_2薄膜作为电热材料的研究——成膜工艺条件探讨 被引量:2
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作者 沈岳年 刘文生 +2 位作者 刘淑萍 胡瑞生 秦继卫 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-32,共4页
以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600~620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间... 以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600~620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间大于30min,由于"硅扩散"破坏SnO2的能级简并结构,不仅导电性劣化,而且电阻率温度系数逐渐由正变负,导致不能用作电热材料. 展开更多
关键词 电热材料 成膜工艺条件 sno2电热膜 化学热喷涂 硅扩散 石英管 半导体薄膜
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掺锑SnO_2薄膜电学性能及热应力的研究 被引量:1
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作者 张瑞英 张秀梅 吕文春 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第6期18-20,43,共4页
采用热喷涂法制备掺锑SnO2电热膜,研究退火对不同衬底膜电学性能和热应力状态的影响。结果表明,600℃退火可使硼硅玻璃衬底膜的电学性能稳定性增强;退火温度对石英衬底膜的电学稳定性影响不大,但可使热应力降低。
关键词 sno2电热膜 阻温特性 热应力
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