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基于共溅射ZnO/SnO_(2)异质结薄膜的气体传感器研究 被引量:2
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作者 孙士斌 张叶裕 +1 位作者 高晨阳 常雪婷 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期61-64,共4页
采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏... 采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏度以及更快的响应和恢复速度。ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器对乙醇具有较好的选择性,最低检测体积分数为1×10^(-6),最佳工作温度为250℃;对1×10^(-4)乙醇气体的灵敏度可达18.4,响应时间和恢复时间分别为10 s和19 s。 展开更多
关键词 磁控共溅射 zno/sno_(2)异质结 复合薄膜 气体传感器
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磁控溅射SnO_(2)/ZnO复合纳米薄膜的气敏特性研究
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作者 吴鹏举 刘文强 +3 位作者 汤子鑫 郭兰兰 王瑗瑗 杨莹丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第12期21-24,共4页
采用射频磁控溅射方法,在溅射气压为2.5 Pa时,在p-Si衬底上沉积氧化锡(SnO_(2))/氧化锌(ZnO)复合纳米薄膜。沉积过程中,SnO_(2)薄膜的沉积厚度固定为40 nm,通过改变ZnO薄膜的沉积厚度来改变SnO_(2)/ZnO的膜厚比。详细分析了工作温度和... 采用射频磁控溅射方法,在溅射气压为2.5 Pa时,在p-Si衬底上沉积氧化锡(SnO_(2))/氧化锌(ZnO)复合纳米薄膜。沉积过程中,SnO_(2)薄膜的沉积厚度固定为40 nm,通过改变ZnO薄膜的沉积厚度来改变SnO_(2)/ZnO的膜厚比。详细分析了工作温度和膜厚比变化对复合纳米薄膜气敏特性的影响。结果表明,SnO_(2)/ZnO复合纳米薄膜的最佳工作温度为350℃,与ZnO和SnO_(2)单层薄膜相比,复合纳米薄膜的气敏性能显著提升。当SnO_(2)与ZnO的膜厚比为4︰3时,其气敏性能最佳,在350℃下,对于5×10^(-6)乙醇气体的灵敏度最高可达4。该SnO_(2)/ZnO复合纳米薄膜气敏性能的提升归因于ZnO与SnO_(2)之间形成的n-n异质结。 展开更多
关键词 复合纳米薄膜 氧化锌 氧化锡 射频磁控溅射 n-n异质结
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Investigation of electrophysical, photo- and gas-sensitive properties of ZnO–SnO_(2) sol–gel fflms 被引量:1
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作者 Irina A.Gulyaeva Alexandra P.Ivanisheva +4 位作者 Maria G.Volkova Victoria Yu.Storozhenko Soslan A.Khubezhov Ekaterina M.Bayan Victor V.Petrov 《Journal of Advanced Dielectrics》 2024年第1期42-50,共9页
Thin nanocomposite fflms based on tin dioxide with a low content of zinc oxide(0.5–5 mol.%)were obtained by the sol–gel method.The synthesized fflms are 300–600 nm thick and contains pore sizes of 19–29 nm.The res... Thin nanocomposite fflms based on tin dioxide with a low content of zinc oxide(0.5–5 mol.%)were obtained by the sol–gel method.The synthesized fflms are 300–600 nm thick and contains pore sizes of 19–29 nm.The resulting ZnO–SnO_(2) fflms were comprehensively studied by atomic force and Kelvin probe force microscopy,X-ray diffraction,scanning electron microscopy,and high-resolution X-ray photoelectron spectroscopy spectra.The photoconductivity parameters on exposure to light with a wavelength of 470 nm were also studied.The study of the photosensitivity kinetics of ZnO–SnO_(2) fflms showed that the fflm with the Zn:Sn ratio equal to 0.5:99.5 has the minimum value of the charge carrier generation time constant.Measurements of the activation energy of the conductivity,potential barrier,and surface potential of ZnO–SnO_(2) fflms showed that these parameters have maxima at ZnO concentrations of 0.5 mol.%and 1 mol.%.Films with 1 mol.%ZnO exhibit high response values when exposed to 5–50 ppm of nitrogen dioxide at operating temperatures of 200℃ and 250℃. 展开更多
关键词 Sol–gel method znosno_(2) films gas-sensitive properties surface potential potential barrier conduction activation energy
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氧化锡和氧化锌双层薄膜的XPS研究 被引量:1
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作者 赵金安 《化学研究》 CAS 1998年第2期60-63,共4页
用XPS法研究了SnO2 /ZnO及ZnO/SnO2 双层膜中锌和锡的扩散情况 ,结果表明 :锌在SnO2中的扩散比锡在ZnO中的扩散更容易。讨论了锌在SnO2 层中的扩散方式和扩散的结果。在ZnO层留下了较多的氧 ,并使部分的SnO2 还原为SnO。
关键词 sno2 XPS 双层膜 氧化锡 薄膜 扩散 氧化锌 还原 研究
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