氧化锡基ZnO/SnO_2 UPF复合工艺对其微观结构的影响

着重讨论了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锡基ZnO／SnO2超微粒子薄膜（UPF）的制备工艺对其物相结构及表面形貌等的影响。结果表明：复合型薄膜上层的ZnOUPF比单层薄膜的ZnOUPF致密；主要晶相成分为SnO2相，并沿（002）、（110）、（101）等晶面择优生长；ZnO相呈非晶态结构。