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INTERFACIAL BONDING IN AS DEPOSITED AND ANNEALED Co/C SOFT X RAY MULTILAYER MIRRORS
1
作者 白海力 姜恩永 +1 位作者 王存达 田仁玉 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 1998年第2期80-85,共6页
Interfacial bonding in as deposited and annealed Co/C soft X ray multilayer structures is investigated by X ray photo electron spectroscopy (XPS).It is found that there is interdiffusion between cobalt and carbon ... Interfacial bonding in as deposited and annealed Co/C soft X ray multilayer structures is investigated by X ray photo electron spectroscopy (XPS).It is found that there is interdiffusion between cobalt and carbon in the as deposited Co/C multilayers,and this is confirmed by structure characterization using low angle X ray diffraction (LAXD).The calculation of the chemical shifts in Co C system based on Miedemas macroscopic atom model suggests that it is impossible to detect the chemical shift experimentally in the Co C compound,which is consistent with the XPS results.The presence of metallic carbide bonding is evidenced through the nature of the carbon bonding in survey taken at Co C and C Co interfaces of annealed samples.Our results also indicate that XPS is a direct method to probe the chemical bonding at the interfaces. 展开更多
关键词 soft x ray multilayerS interfacial bonding thermodynamic properties
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Multilayer optics for the EUV and soft X-rays 被引量:4
2
作者 Torsten Feigl Sergiy Yulin +1 位作者 Nicolas Benoit Norbert Kaiser 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期421-429,共9页
The demand to enhance the optical resolution, to structure and observe ever smaller details, has pushed the way towards the EUV and soft X-rays. Induced mainly by the production of more powerful electronic circuits wi... The demand to enhance the optical resolution, to structure and observe ever smaller details, has pushed the way towards the EUV and soft X-rays. Induced mainly by the production of more powerful electronic circuits with the aid of projection lithography, optics developments in recent years can be characterized by the use of electromagnetic radiation with smaller wavelength. The good prospects of the EUV and soft X-rays for next generation lithography systems (λ=13.5 nm), microscopy in the “water window” (λ=2.3~4.4 nm), astronomy (λ=5~31 nm), spectroscopy, plasma diagnostics and EUV/soft X-ray laser research have led to considerable progress in the development of different multilayer optics. Since optical systems in the EUV/soft X-ray spectral region consist of several mirror elements a maximum reflectivity of each multilayer is essential for a high throughput. This paper covers recent results of the enhanced spectral behavior of Mo/Si, Cr/Sc and Sc/Si multilayer optics. 展开更多
关键词 EUV x射线 多层膜 光学涂覆技术 MO/SI Cr/Sc Sc/Si 光电子技术
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Present Status of EUV Interferometer Development at the Research Center for Soft X-ray Microscopy
3
作者 Masaki Yamamoto, Tadashi Hatano, Minaji Furudate (Research Center for Soft X-ray Microscopy, Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, Japan) 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第5期405-410,共6页
A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is operated with a Sn solid rod target on which pulsed YAG laser ... A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is operated with a Sn solid rod target on which pulsed YAG laser is focused to produce high temperature plasma emitting EUV radiation. The source is equipped with a newly designed debris stopper protecting a condenser multilayer mirror from the particle debris of the target. The condenser mirror focuses the light onto an EUV beam-splitter to form transmitted and reflected paths for producing interference fringes of a sharing type. The optical configuration is of a common path based on a triangular path type with a focusing at the beam-splitter, which is enabled to produce fringes by a low coherence radiation with a standard optical quality beam-splitter. The fringes are recorded by an imaging plate with pixels as small as 25μm. The dynamic range of linearity in detection of the EUV light was found to be more than 10 4 with sensitivity of 10 4 photons/pixel, enough for the purpose of interferogram recording, possibly with one laser shot. 展开更多
关键词 soft x-ray INTERFEROMETERS multilayer mirrors FIGURE error imaging optics
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激光等离子体脉冲软X光标定源 被引量:6
4
作者 侯立飞 易荣清 +5 位作者 刘慎业 周琴琴 廖强 杜华冰 王传珂 赵宗清 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期79-82,共4页
利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光,建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能,测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明,采用多层镜作为脉冲光源的分光元件,可以得到具有较好单... 利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光,建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能,测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明,采用多层镜作为脉冲光源的分光元件,可以得到具有较好单色性的强脉冲软X光标定源。光源的光子能量为253 eV和820 eV,两能道的光源强度分别为1.8×1019photon/(s.cm2)和3.2×1019photon/(s.cm2)。在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定。 展开更多
关键词 x 标定光源 多层镜 光强 一致性
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软X射线多层反射膜的一种新型设计方法 被引量:4
5
作者 柯常军 王占山 +2 位作者 张铁强 曹健林 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第2期17-20,共4页
在循环递推法基础上加入随机数运算,得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤,进行了一系列多层膜设计。通过比较,这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近,甚至有的多层膜的设计结果更好。
关键词 x射线 多层膜 随机数 设计方法 光学元件
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工作波长短于10nm的软X射线多层膜 被引量:2
6
作者 吕俊霞 马月英 +2 位作者 张俊平 王占山 曹健林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期19-24,共6页
本文对工作波长短于10nm的软X射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析,给出选择多层膜材料的一些原则,并结合本组情况选择了Ru/B4C、Rh/B4C和MO/B4C三种材料组,在波长8.0nm附近设计并... 本文对工作波长短于10nm的软X射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析,给出选择多层膜材料的一些原则,并结合本组情况选择了Ru/B4C、Rh/B4C和MO/B4C三种材料组,在波长8.0nm附近设计并计算出多层膜的结构和反射率等性能参数。 展开更多
关键词 x射线 多层膜 反射镜 正入射 膜系
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Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究 被引量:1
7
作者 吕俊霞 马月英 +2 位作者 裴舒 陈星旦 曹健林 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第5期459-461,共3页
在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm~ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多... 在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm~ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多层膜样品的结构质量很高 ,并有很好的热稳定性 . 展开更多
关键词 Mo/B4C 多层膜 x射线
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C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量 被引量:1
8
作者 吕俊霞 马月英 +1 位作者 裴舒 曹健林 《光学仪器》 1999年第4期119-122,共4页
在λ= 28.5nm 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/Al。正入射C/Al多层膜在15.0nm 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/Al多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/Al... 在λ= 28.5nm 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/Al。正入射C/Al多层膜在15.0nm 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/Al多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/Al软X射线多层膜的正入射反射率22% ±4% 。 展开更多
关键词 x射线 多层膜 反射镜 制备 测量
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多层镜软X光能谱仪的结构设计与有限元分析
9
作者 侯立飞 易荣清 +1 位作者 杜华冰 刘慎业 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1275-1278,共4页
8通道多层镜软X光能谱仪结构采用整体式,结合中心准直机构,保证了多层镜的角度,实现系统整体瞄准,大大简化了瞄准程序。建立了谱仪的3维模型,利用ANSYS软件完成了有限元分析。静力学分析结果表明,在重力作用下准直件的变形较大,y方向上... 8通道多层镜软X光能谱仪结构采用整体式,结合中心准直机构,保证了多层镜的角度,实现系统整体瞄准,大大简化了瞄准程序。建立了谱仪的3维模型,利用ANSYS软件完成了有限元分析。静力学分析结果表明,在重力作用下准直件的变形较大,y方向上的变形量为0.016 mm,通过增加准直筒厚度可消除影响。模态分析得到了影响谱仪使用性能必须避免的噪声。分析结果为保证谱仪测量精度提供了理论依据。 展开更多
关键词 x 多层镜 能谱仪 有限元分析 模态分析
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强脉冲单色软X光标定源的研制 被引量:2
10
作者 易荣清 孙可煦 +9 位作者 马洪良 崔延莉 唐道源 郑志坚 江文勉 温树槐 曹建林 马月英 张俊平 高宏刚 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期311-315,共5页
在激光打靶中,利用两块性能基本一致的多层膜镜作为色散元件,构成了一台简单实用的强脉冲单色软X光标定源。在94年度的“星光”实验中,对该光源的性能作了初步研究。
关键词 多层镜 x光标定源 监测系统
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Modulation structure stability of heat-treated Co/C and CoN/CN soft X-ray multilayers
11
作者 Haili Bai Enyong Jiang +1 位作者 Cunda Wang Renyu Tian 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1998年第1期32-36,共5页
Modulation structure stability of Co/C and CoN/CN soft X ray multilayers has been investigated by X ray diffraction and Raman spectroscopy. The graphitization of the amorphous carbon layers in Co/C multilayers causes ... Modulation structure stability of Co/C and CoN/CN soft X ray multilayers has been investigated by X ray diffraction and Raman spectroscopy. The graphitization of the amorphous carbon layers in Co/C multilayers causes a period expansion of 12% at annealing temperatures below 400℃. An enormous period expansion (~40%) induced by the crystallization and agglomeration of Co layers has been observed at 500℃. While the period expansion of CoN/CN multilayers is only 4% at 400℃. The interface pattern of the CoN/CN multilayers still exists even if they were annealed at 700℃. The relatively good thermal stability of CoN/CN multilayers can be attributed to the suppression of the formation of the sp 3 bonding and, at annealing temperatures higher than the phase transition temperature of 420℃ (from hcp to fcc), the coexistence of hcp and fcc Co structures through doping nitrogen. 展开更多
关键词 soft x ray multilayerS ANNEALING PERIOD expansion.
全文增补中
C/Al软X射线多层膜反射镜
12
作者 吕俊霞 马月英 +1 位作者 裴舒 曹健林 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期808-810,共3页
在λ=285nm波长处,选择了一种新的多层膜材料对C/Al。与Mo/Si,C/Si软X射线多层膜相比,正入射C/Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C/Al软X射线多层膜样品,并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。
关键词 x射线 正入射 多层膜反射镜
原文传递
软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 被引量:12
13
作者 张俊平 曹健林 +5 位作者 马月英 高宏刚 陈斌 吕俊霞 裴舒 陈星旦 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期1088-1093,共6页
介绍在研制软X光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分X光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能,并讨论了膜厚控制误差、表(界)面粗糙度等对性能的影响。
关键词 x射线 多层膜 激光 反射镜 膜系设计
原文传递
X光多层膜反射镜反射特性实验研究 被引量:1
14
作者 熊岳南 倪元龙 +1 位作者 吴江 周关林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期243-248,共6页
采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软X光多层膜反射镜反射率的测量,实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况。
关键词 x 多层膜反射镜 反射率 x光激光器
原文传递
软X激光反射输出镜的近似理论设计 被引量:3
15
作者 袁利祥 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第5期356-361,共6页
本文采用标量区近似理论设计软X激光反射输出镜,分析其衍射特性,对影响输出效率的因素进行了讨论和分析。
关键词 光栅 多层膜 近似理论 x射线激光器
原文传递
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