软X射线多层反射膜的一种新型设计方法

在循环递推法基础上加入随机数运算，得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤，进行了一系列多层膜设计。通过比较，这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近，甚至有的多层膜的设计结果更好。

宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计

提出一种宽带平坦型软Ｘ射线多层反射膜的设计方法。给出了１８ｎｍ２０ｎｍ波段的设计结果，整个波段的反射率与２５％的最大偏差小于１．５％。这种方法对于软Ｘ射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义。

提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟

在周期多层膜基础上，采用随机数方法找到适当的非周期膜系，极大地提高了反射光通量，并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在１２．４～２０．１ｎｍ波段内，最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ＝１６．２５ｎｍ处的周期多层膜相比，理论积分反射率提高了７５％。

极紫外与软X射线非周期多层膜优化设计及初步研制

以周期膜理论为基础 ,改进了已有的设计方法 ,通过采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。根据实际要求 ,完成了积分反射率最大多层膜、宽带平坦型多层膜、校正光源发射不均匀性多层膜和选波长多层膜等。这些多层膜各有特点 ,可满足不同应用的要求。用磁控溅射方法对一种宽带多层膜进行了制备。最后的 X射线衍射测量和反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周期多层膜的带宽展宽 ,反射率积分值增加 ,但峰值反射率略有降低。

Design and fabrication of soft X-ray multilayer for broadband reflection

A random method used for improving light throughput of a soft X-ray multilayer has been developed in the 18-20 nm spectral region, based on the traditional theory of periodic multilayer, and an 8% gain in integrated reflectance is obtained. The ensemble calculation is presented at the same time, and the multilayer is fabricated by magnetron sputtering.