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微模塑法制备PMMA/SiO_2二氧化硅杂化材料微结构
被引量:
3
1
作者
刘建平
郭斌
+1 位作者
何平笙
张其锦
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期779-782,共4页
以摩尔比为 1∶1的甲基丙烯酸甲酯 (MMA)、甲基丙烯酸 (3 三乙氧基硅烷基 )丙酯 (ESMA)单体、0 .2 %(单体总量的质量分数 )的偶氮二异丁腈AIBN引发剂和四氢呋喃 (THF)溶剂 ,及 2 0 % (总质量分数 )的正硅酸乙酯TEOS合成出PMMA/SiO2 有...
以摩尔比为 1∶1的甲基丙烯酸甲酯 (MMA)、甲基丙烯酸 (3 三乙氧基硅烷基 )丙酯 (ESMA)单体、0 .2 %(单体总量的质量分数 )的偶氮二异丁腈AIBN引发剂和四氢呋喃 (THF)溶剂 ,及 2 0 % (总质量分数 )的正硅酸乙酯TEOS合成出PMMA/SiO2 有机 无机杂化的杂化溶胶 .将溶胶在洗净的普通光学玻璃基片表面甩膜 .利用软刻蚀中的微模塑法 ,把有机硅弹性印章复制有精细图纹一面轻放在杂化溶胶膜上进行微模塑 ,外加 1N压力于12 0℃下处理 2h使溶胶凝胶化 .印章剥离后在基片表面就形成了PMMA/SiO2 有机 无机杂化材料的微图纹结构 .从微图纹的光学显微镜照片可以看出微模塑方法制备杂化材料复制的图纹精细度高 ,操作简单易行 ,是一类比较理想的微细图纹结构加工的方法 .
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关键词
软刻蚀
微模塑
pmma/
sio
2
杂化
下载PDF
职称材料
题名
微模塑法制备PMMA/SiO_2二氧化硅杂化材料微结构
被引量:
3
1
作者
刘建平
郭斌
何平笙
张其锦
机构
中国科学技术大学高分子科学与工程系
出处
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期779-782,共4页
基金
ProjectsupportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina (2 0 174 0 38) .
文摘
以摩尔比为 1∶1的甲基丙烯酸甲酯 (MMA)、甲基丙烯酸 (3 三乙氧基硅烷基 )丙酯 (ESMA)单体、0 .2 %(单体总量的质量分数 )的偶氮二异丁腈AIBN引发剂和四氢呋喃 (THF)溶剂 ,及 2 0 % (总质量分数 )的正硅酸乙酯TEOS合成出PMMA/SiO2 有机 无机杂化的杂化溶胶 .将溶胶在洗净的普通光学玻璃基片表面甩膜 .利用软刻蚀中的微模塑法 ,把有机硅弹性印章复制有精细图纹一面轻放在杂化溶胶膜上进行微模塑 ,外加 1N压力于12 0℃下处理 2h使溶胶凝胶化 .印章剥离后在基片表面就形成了PMMA/SiO2 有机 无机杂化材料的微图纹结构 .从微图纹的光学显微镜照片可以看出微模塑方法制备杂化材料复制的图纹精细度高 ,操作简单易行 ,是一类比较理想的微细图纹结构加工的方法 .
关键词
软刻蚀
微模塑
pmma/
sio
2
杂化
Keywords
soft lithography
,
micromolding
,
pmma/sio_2
,
hybrid
分类号
O631 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微模塑法制备PMMA/SiO_2二氧化硅杂化材料微结构
刘建平
郭斌
何平笙
张其锦
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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职称材料
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