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利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征
被引量:
2
1
作者
郭彤
胡春光
+2 位作者
陈津平
傅星
胡小唐
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第4期302-305,共4页
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高...
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级。
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关键词
计量学
纳米计量
台阶标准
相移干涉术
Hariharan算法
软件调平
下载PDF
职称材料
在片LRRM校准算法研究
被引量:
3
2
作者
霍晔
梁法国
+4 位作者
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
孙静
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第1期97-101,共5页
研究了LRRM(传输线-反射-反射-匹配负载)校准算法,完善了负载标准测量模型,通过参考面平移将测量结果由被测件中间平移到探针端面,基于MATLAB开发平台编制了校准软件。用研究的校准方法和商用校准方法分别对同一在片散射参数测量系统进...
研究了LRRM(传输线-反射-反射-匹配负载)校准算法,完善了负载标准测量模型,通过参考面平移将测量结果由被测件中间平移到探针端面,基于MATLAB开发平台编制了校准软件。用研究的校准方法和商用校准方法分别对同一在片散射参数测量系统进行校准,校准后的系统测量相同的短路标准和衰减器。测量结果显示,在100 MHz~110 GHz频段范围内,反射幅度最大偏差0.02,反射相位最大偏差0.3°,传输幅度最大偏差0.05 dB,传输相位最大偏差0.5°,能够满足国内在片散射参数校准和测量需求。
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关键词
计量学
在片散射参数
LRRM校准算法
测量模型
校准软件
下载PDF
职称材料
数字图像质量分析软件计量技术探讨
3
作者
彭益炜
关广东
+1 位作者
曾宪金
赵敏
《宇航计测技术》
CSCD
2016年第5期12-14,80,共4页
本论文基于软件的特性,对软件计量的概念、特点和测量方法进行介绍,分析软件计量中不确定度的来源,并以数字图像质量分析算法为案例,提出软件准确性的校准技术体系。
关键词
软件计量
软件不确定度
ssim
算法
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职称材料
基于患者临床检验数据的白血病识别算法的测量不确定度评定
4
作者
姜超凡
闫静婷
+2 位作者
王亭亭
张加涛
崔伟群
《计量科学与技术》
2024年第7期72-77,共6页
随着数字时代的到来,越来越多的算法主导着各种产业的发展和新型产业的兴起,以数字经济为主导的产业应运而生。计量作为测量及其应用的科学,正在加速步入数字时代,推动计量行业的数字化转型也成为计量工作的重中之重。因此,如何给出算...
随着数字时代的到来,越来越多的算法主导着各种产业的发展和新型产业的兴起,以数字经济为主导的产业应运而生。计量作为测量及其应用的科学,正在加速步入数字时代,推动计量行业的数字化转型也成为计量工作的重中之重。因此,如何给出算法软件输出结果的准确性和可靠性的评价成为目前研究的热点。采用基于参考数据的数字计量方法,以患者临床检验数据的白血病识别算法软件的输出量为测量结果,建立白血病识别算法的评价模型,给出其测量不确定度评定的具体流程,计算该被测量的合成标准不确定度。
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关键词
计量学
数字化转型
参考数据
数字计量
算法软件
算法的不确定度
原文传递
算法溯源简述
被引量:
2
5
作者
王亭亭
崔伟群
《计量科学与技术》
2023年第5期23-30,共8页
数字时代,融入人工智能等新一代信息技术的软件算法,是加快推进制造业进行数字化转型的关键要素之一。基于不同工业革命时期测量仪器和标准在量值传递和溯源中表现的特征,以及测量仪器中软件算法对量值准确可靠的影响,提出算法溯源理念...
数字时代,融入人工智能等新一代信息技术的软件算法,是加快推进制造业进行数字化转型的关键要素之一。基于不同工业革命时期测量仪器和标准在量值传递和溯源中表现的特征,以及测量仪器中软件算法对量值准确可靠的影响,提出算法溯源理念,目的是从计量溯源的角度实现对软件算法在程序实现过程中输出量值的定量评价,从而保证软件算法输出量值的准确和可靠。同时给出了算法溯源的定义、参考标准、方法和溯源结果等的综合性描述,并就算法溯源的研究现状进行了讨论,为进一步开展算法溯源的计量技术应用奠定理论基础。
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关键词
计量学
软件算法
算法溯源
标准参考数据
算法标准
原文传递
题名
利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征
被引量:
2
1
作者
郭彤
胡春光
陈津平
傅星
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第4期302-305,共4页
基金
国家863计划(2006AA04Z327)
教育部高校博士点基金(20060056003)
精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金
文摘
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级。
关键词
计量学
纳米计量
台阶标准
相移干涉术
Hariharan算法
软件调平
Keywords
metrology
Nano-
metrology
Step standard
Phase-shifting interferometry
Hariharan
algorithm
software
leveling
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
在片LRRM校准算法研究
被引量:
3
2
作者
霍晔
梁法国
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
孙静
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第1期97-101,共5页
基金
国家重点仪器研发专项(2017YFF0106706)
国家国防科技工业局技术基础(JSJL2019210B005)。
文摘
研究了LRRM(传输线-反射-反射-匹配负载)校准算法,完善了负载标准测量模型,通过参考面平移将测量结果由被测件中间平移到探针端面,基于MATLAB开发平台编制了校准软件。用研究的校准方法和商用校准方法分别对同一在片散射参数测量系统进行校准,校准后的系统测量相同的短路标准和衰减器。测量结果显示,在100 MHz~110 GHz频段范围内,反射幅度最大偏差0.02,反射相位最大偏差0.3°,传输幅度最大偏差0.05 dB,传输相位最大偏差0.5°,能够满足国内在片散射参数校准和测量需求。
关键词
计量学
在片散射参数
LRRM校准算法
测量模型
校准软件
Keywords
metrology
on-wafer scattering parameters
LRRM calibration
algorithm
measurement model
calibration
software
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
数字图像质量分析软件计量技术探讨
3
作者
彭益炜
关广东
曾宪金
赵敏
机构
工业和信息化部电子第五研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2016年第5期12-14,80,共4页
文摘
本论文基于软件的特性,对软件计量的概念、特点和测量方法进行介绍,分析软件计量中不确定度的来源,并以数字图像质量分析算法为案例,提出软件准确性的校准技术体系。
关键词
软件计量
软件不确定度
ssim
算法
Keywords
software metrology software uncertainty ssim algorithm
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
基于患者临床检验数据的白血病识别算法的测量不确定度评定
4
作者
姜超凡
闫静婷
王亭亭
张加涛
崔伟群
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量科学与技术》
2024年第7期72-77,共6页
基金
中国计量科学研究院基本科研业务费所自主项目(AKYZZ2333)。
文摘
随着数字时代的到来,越来越多的算法主导着各种产业的发展和新型产业的兴起,以数字经济为主导的产业应运而生。计量作为测量及其应用的科学,正在加速步入数字时代,推动计量行业的数字化转型也成为计量工作的重中之重。因此,如何给出算法软件输出结果的准确性和可靠性的评价成为目前研究的热点。采用基于参考数据的数字计量方法,以患者临床检验数据的白血病识别算法软件的输出量为测量结果,建立白血病识别算法的评价模型,给出其测量不确定度评定的具体流程,计算该被测量的合成标准不确定度。
关键词
计量学
数字化转型
参考数据
数字计量
算法软件
算法的不确定度
Keywords
metrology
digital transformation
reference data
digital
metrology
algorithm
software
algorithm
uncertainty
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
原文传递
题名
算法溯源简述
被引量:
2
5
作者
王亭亭
崔伟群
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量科学与技术》
2023年第5期23-30,共8页
基金
中国计量科学研究院基本科研业务费所自主项目(AKYZZ2238)。
文摘
数字时代,融入人工智能等新一代信息技术的软件算法,是加快推进制造业进行数字化转型的关键要素之一。基于不同工业革命时期测量仪器和标准在量值传递和溯源中表现的特征,以及测量仪器中软件算法对量值准确可靠的影响,提出算法溯源理念,目的是从计量溯源的角度实现对软件算法在程序实现过程中输出量值的定量评价,从而保证软件算法输出量值的准确和可靠。同时给出了算法溯源的定义、参考标准、方法和溯源结果等的综合性描述,并就算法溯源的研究现状进行了讨论,为进一步开展算法溯源的计量技术应用奠定理论基础。
关键词
计量学
软件算法
算法溯源
标准参考数据
算法标准
Keywords
metrology
software
algorithm
algorithm
traceability
standard reference data
algorithm
standard
分类号
TB91-64 [机械工程—测试计量技术及仪器]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征
郭彤
胡春光
陈津平
傅星
胡小唐
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2007
2
下载PDF
职称材料
2
在片LRRM校准算法研究
霍晔
梁法国
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
孙静
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
3
下载PDF
职称材料
3
数字图像质量分析软件计量技术探讨
彭益炜
关广东
曾宪金
赵敏
《宇航计测技术》
CSCD
2016
0
下载PDF
职称材料
4
基于患者临床检验数据的白血病识别算法的测量不确定度评定
姜超凡
闫静婷
王亭亭
张加涛
崔伟群
《计量科学与技术》
2024
0
原文传递
5
算法溯源简述
王亭亭
崔伟群
《计量科学与技术》
2023
2
原文传递
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