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溶胶-凝胶(sol-gel)法制作掺铒Al_2O_3薄膜及其光致发光光谱特性测量 被引量:11
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作者 李成仁 宋昌烈 +1 位作者 李淑凤 高景生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1514-1517,共4页
介绍一种用溶胶 凝胶方法制作掺铒Al2 O3薄膜的工艺 实验测量了薄膜样品的光致发光光谱特性 结果表明光致发光光谱的峰值波长为 1.5 36 μm ,半值宽度为 34nm ;同时测量了光致发光光谱的峰值强度与泵浦功率。
关键词 sol—gel法 掺铒Al2O3薄膜 光致发光特性
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Sol-Gel法制备木材功能性改良用SiO_2凝胶 被引量:9
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作者 李坚 邱坚 刘一星 《林业科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期106-111,共6页
以正硅酸乙酯(TEOS)原料,HCl/HF混合酸为水解催化剂,研究应用于木材功能性改良的SiO2凝胶的制备工艺条件。所配制3种反应溶液的TEOS/EtOH/H2O比例分别为FU1=1.00:15.35:7.45,FU2=1.00:5.43:10.10,FU3=1.00:5.47:... 以正硅酸乙酯(TEOS)原料,HCl/HF混合酸为水解催化剂,研究应用于木材功能性改良的SiO2凝胶的制备工艺条件。所配制3种反应溶液的TEOS/EtOH/H2O比例分别为FU1=1.00:15.35:7.45,FU2=1.00:5.43:10.10,FU3=1.00:5.47:5.77,HCl/HF摩尔比分别为0.02/0.01、0.02/0.04和0.02/0.06,可在120min左右得到醇凝胶。将醇凝胶在-21℃条件下陈化1~3d后,在12h内自然升温至室温,24h内置于超临界流体中进行干燥单元操作,可以得到适合木材功能性改良用并具有纳米结构的SiO2气凝胶。 展开更多
关键词 sol—gel法 SiO2凝胶 纳米结构 木材-SiO2气凝胶复合材 木材功能性改良
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sol-gel法制备纳米TiO_2-SiO_2宽带高增透膜 被引量:4
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作者 潘静 王永强 +4 位作者 胡晓云 李白存 郑娜 康浩 郭庆磊 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1-4,共4页
通过模拟计算设计出一种透射比为99%、包含一层TiO2薄膜和一层SiO2薄膜的宽带高增透膜。两层薄膜均由溶胶-凝胶法制得并采用提拉法成形于玻璃基片上。对增透膜样品的透射比、表面形貌、膜厚等进行了表征,考察了提拉速度、退火温度、催... 通过模拟计算设计出一种透射比为99%、包含一层TiO2薄膜和一层SiO2薄膜的宽带高增透膜。两层薄膜均由溶胶-凝胶法制得并采用提拉法成形于玻璃基片上。对增透膜样品的透射比、表面形貌、膜厚等进行了表征,考察了提拉速度、退火温度、催化条件等对其透射比、表面均匀性的影响。结果表明:增透膜的使用提高了玻璃基片的透射比;当提拉速度为9cm/min,增透膜厚约为255nm时,基片在400~800nm波段的透射比提高了7%。控制退火温度,可以使增透膜在某些波段的透射比增强。增透膜样品的表面均匀性良好,室温下膜层的均方根表面粗糙度(RMS)为1.682,平均粗糙度(RA)为1.208,在550℃的温度以下,随着退火温度升高,表面粗糙度降低。 展开更多
关键词 增透膜 透射率 sol—gel法 膜系设计 表面形貌
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sol-gel法制备ZnFe_2O_4及其NO_2气敏性能的研究 被引量:2
4
作者 章东兴 简家文 +2 位作者 王金霞 沈杰 高建元 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期16-19,共4页
采用sol-gel法制备了尖晶石结构的ZnFe2O4粉体,以其为电极材料在钇稳氧化锆陶瓷片(YSZ)上利用丝网印刷技术制备了片式NO2传感器,并对传感器在不同NO2浓度和不同温度下的输出电动势E和响应时间进行了研究。结果显示:在φ(NO2)为(68~494)... 采用sol-gel法制备了尖晶石结构的ZnFe2O4粉体,以其为电极材料在钇稳氧化锆陶瓷片(YSZ)上利用丝网印刷技术制备了片式NO2传感器,并对传感器在不同NO2浓度和不同温度下的输出电动势E和响应时间进行了研究。结果显示:在φ(NO2)为(68~494)×10–6范围内,E随着NO2浓度的增大而增大,并与NO2浓度的对数呈现良好的线性关系。在600℃高温时,传感器上升和下降响应时间分别为60和120s,且重复性较好。但随着工作温度的升高,传感器的灵敏度下降。 展开更多
关键词 ZNFE2O4 sol—gel法 NO2传感器 气敏性能 响应时间
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Sol-gel法制备多铁性Bi_(0.85)Eu_(0.15)FeO_3薄膜及其性能 被引量:2
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作者 付承菊 黄志雄 +1 位作者 李杰 郭冬云 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期17-19,22,共4页
采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi0.85Eu0.15FeO3薄膜。研究了退火温度对其晶相形成的影响,发现在较低温度退火(450℃)时,Bi0.85Eu0.15FeO3晶相开始形成,但存在杂相,而且结晶度较差;在490~600℃可以获得结晶较好的单相Bi0.8... 采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi0.85Eu0.15FeO3薄膜。研究了退火温度对其晶相形成的影响,发现在较低温度退火(450℃)时,Bi0.85Eu0.15FeO3晶相开始形成,但存在杂相,而且结晶度较差;在490~600℃可以获得结晶较好的单相Bi0.85Eu0.15FeO3薄膜。同时对经550℃退火的薄膜的介电、铁电和铁磁性能进行了研究,结果表明,Bi0.85Eu0.15FeO3薄膜具有较好的介电及铁磁性能。当测试频率为1MHz时,薄膜的介电常数和介电损耗分别为80、0.024,饱和磁化强度约为26.2emu/cm3。 展开更多
关键词 sol—gel法Bi0.85Eu0.15FeO3薄膜 介电性能 铁电性能 铁磁性能
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Sol-gel法介孔SiO_2膜的制备工艺研究 被引量:2
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作者 熊蓉春 曹朋 +1 位作者 王连盛 魏刚 《北京化工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期61-65,共5页
以正硅酸乙酯为硅源,氨水为催化剂,研究了solgel法介孔SiO2膜的制备工艺,得到了制备SiO2溶胶的优化工艺条件。发现催化剂氨的浓度是影响SiO2溶胶质量的关键因素,在影响SiO2膜制备的众多因素中,溶胶pH值、溶胶浓度和成膜助剂是影响膜制... 以正硅酸乙酯为硅源,氨水为催化剂,研究了solgel法介孔SiO2膜的制备工艺,得到了制备SiO2溶胶的优化工艺条件。发现催化剂氨的浓度是影响SiO2溶胶质量的关键因素,在影响SiO2膜制备的众多因素中,溶胶pH值、溶胶浓度和成膜助剂是影响膜制备的关键因素。实验发现,在适宜的条件例如合适的pH值下,溶胶凝胶干燥过程具有自适应性,能够自动调节凝胶和干燥速度,从而使凝胶干燥过程中存在的收缩在很大程度上得到减少甚至避免。采用液液排除法对优化条件下制备的SiO2膜的孔径分布进行了表征,结果表明,在实验条件下所获得的SiO2膜的孔径分布在8.8~14.4nm。 展开更多
关键词 sol—gel法 介孔SiO2膜 制备工艺
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sol-gel法制备镉掺杂铁酸镧气敏材料 被引量:2
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作者 葛秀涛 李永红 刘杏芹 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期46-48,52,共4页
研究了气敏材料的制备条件、相组成、电导和气敏性能。结果表明:固溶体La1–xCdxFeO3(0≤x≤0.15)呈典型的p型半导体。270℃操作温度下,掺杂x(Cd2+)为25%的LaFeO3材料(700℃下热处理4h)对浓度为4.5×10–5mol·dm–3的C2H5OH的... 研究了气敏材料的制备条件、相组成、电导和气敏性能。结果表明:固溶体La1–xCdxFeO3(0≤x≤0.15)呈典型的p型半导体。270℃操作温度下,掺杂x(Cd2+)为25%的LaFeO3材料(700℃下热处理4h)对浓度为4.5×10–5mol·dm–3的C2H5OH的灵敏度达81.5。有望开发为一类新型的酒敏传感器。 展开更多
关键词 无机非金属材料 sol—gel法 镉掺杂LaFeO3 电导 气敏性能 C2H5OH
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微波辐射sol-gel法制备硅铁红 被引量:1
8
作者 蔡新安 章慧芳 +2 位作者 蔡景清 刘文茂 裴剑锋 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期46-47,50,共3页
探讨了微波辅助干燥工艺在sol-gel法制备硅铁红陶瓷颜料中的作用。研究结果表明,Fe2O3/SiO2的最佳合成条件为:硅/铁摩尔比为7∶1,微波辐射功率和时间分别为75%和8 min,前驱体煅烧温度和时间分别为750℃和2 h;此条件制备的Fe2O3/SiO2,其... 探讨了微波辅助干燥工艺在sol-gel法制备硅铁红陶瓷颜料中的作用。研究结果表明,Fe2O3/SiO2的最佳合成条件为:硅/铁摩尔比为7∶1,微波辐射功率和时间分别为75%和8 min,前驱体煅烧温度和时间分别为750℃和2 h;此条件制备的Fe2O3/SiO2,其包裹率达到93.1%。 展开更多
关键词 微波辐射 sol—gel法 Fe20j SI02 硅铁红 陶瓷颜料
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Sol-Gel法制备ZnO:Cd薄膜及结构特性研究 被引量:1
9
作者 陈瀚 邓宏 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第6期700-703,共4页
采用Sol—Gel法,结合旋转涂覆技术在Si(100)衬底上制备了ZnO:Cd薄膜,并对其在600~800℃热处理。X-射线衍射仪(XRD)结果表明,ZnO:Cd薄膜具有与ZnO同样的六角纤锌矿结构,且随着热处理温度的升高,(002)衍射峰的强度逐渐增强... 采用Sol—Gel法,结合旋转涂覆技术在Si(100)衬底上制备了ZnO:Cd薄膜,并对其在600~800℃热处理。X-射线衍射仪(XRD)结果表明,ZnO:Cd薄膜具有与ZnO同样的六角纤锌矿结构,且随着热处理温度的升高,(002)衍射峰的强度逐渐增强。峰半高宽(FWHM,ZnO(002))不断减小,并沿c轴择优取向生长;Cd掺杂后,未出现CdO或其他镉化物等杂质相,但在(002)峰-峰顶出现了分叉(多峰)现象。随着退火温度的升高,多峰消失,但这方面的报道甚少。扫描式电子显微镜(SEM)显示ZnO:Cd晶粒粒径分布情况及表面形貌特征。以石英为基片的透射光谱实验计算表明,ZnO:Cd薄膜的禁带宽度平均为3.10eV;800℃,x(Cd)=8%样品的禁带宽度为2.80eV,比纯ZnO晶体禁带宽度(3.30eV)明显减小,这说明适度掺镉可降低薄膜的光学禁带宽度。 展开更多
关键词 sol—gel法 光学禁带 透射光谱 ZnO:Cd薄膜
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Sol-Gel法制备LAS微晶玻璃的研究现状与应用进展 被引量:2
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作者 陈福 桑磊 +2 位作者 高淑兰 赵恩录 李军明 《玻璃》 2009年第9期3-6,共4页
LAS系统微晶玻璃由于其膨胀系数低,耐高温及抗热冲击性等优异性能而受到广泛重视。主要介绍了溶胶-凝胶制备过程及在LAS系微晶玻璃上的应用,简述了LAS系微晶玻璃的应用现状。
关键词 sol—gel法 LAS微晶玻璃 低膨胀性
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Sol-gel法制备Al_2O_3复合膜的EPMA研究
11
作者 徐晓虹 白占良 +1 位作者 吴建锋 张英 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 2004年第1期7-10,共4页
研究采用 Sol- gel法成功地制备了一种新型的 Al2 O3- Si O2 - Ti O2 - Zr O2 复合陶瓷膜 ,其膜面平整 ,无宏观缺陷。利用电子探针微区分析 (EPMA)重点研究了膜的表面和膜与基体界面的化学成分及微观结构。并分析了修饰物添加剂对膜的... 研究采用 Sol- gel法成功地制备了一种新型的 Al2 O3- Si O2 - Ti O2 - Zr O2 复合陶瓷膜 ,其膜面平整 ,无宏观缺陷。利用电子探针微区分析 (EPMA)重点研究了膜的表面和膜与基体界面的化学成分及微观结构。并分析了修饰物添加剂对膜的形貌和性能的影响。结果表明 Ti O2 、Si O2 、Zr O2 掺杂对 Al2 O3膜起到了良好的修饰作用。 展开更多
关键词 sol—gel法 掺杂修饰 A12O3复合膜 EPMA研究
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Sol-Gel法合成SiO_2-Cr_2O_3纳米粉体及性能研究
12
作者 周立群 杨念华 +3 位作者 周丽荣 王驰伟 梁永光 孙聚堂 《化学与生物工程》 CAS 2005年第8期22-24,共3页
以Si(OC2H5)4、EtOH、(NH4)2Cr2O7和HNO3水溶液为原料,采用Sol-Gel法首次合成出SiO2掺杂Cr2O3纳米粉体,其中Si与Cr摩尔比为3∶1。运用FTIR、XRD、TEM、TG和BET等技术手段对其结构和性能进行了表征。结果表明:SiO2-Cr2O3纳米粉体平均粒径... 以Si(OC2H5)4、EtOH、(NH4)2Cr2O7和HNO3水溶液为原料,采用Sol-Gel法首次合成出SiO2掺杂Cr2O3纳米粉体,其中Si与Cr摩尔比为3∶1。运用FTIR、XRD、TEM、TG和BET等技术手段对其结构和性能进行了表征。结果表明:SiO2-Cr2O3纳米粉体平均粒径为47.7nm、比表面积为151.2m2.g-1。在纳米粉体中,Cr2O3为晶态、SiO2为非晶态,实现了金属氧化物/非金属氧化物在分子水平的掺杂,并发现SiO2-Cr2O3纳米粉体FTIR谱有蓝移现象,探讨了蓝移的原因和反应历程。 展开更多
关键词 SiO2掺杂Cr2O3 纳米粉体 sol—gel法 性能 机理
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盐酸和甲酰胺对sol-gel法制备SiO_2凝胶性能的影响
13
作者 高维丽 汤卉 +1 位作者 谷丰 金立国 《化学工程师》 CAS 2011年第9期11-13,19,共4页
为制备透明度高和防裂性能优良的SiO2凝胶,本文以正硅酸乙酯为硅源,乙醇和水的混合物为溶剂,采用sol-gel法制备SiO2凝胶。侧重研究了HCl和甲酰胺对生成的SiO2凝胶性能影响,利用X射线衍射仪、扫描电镜、原子能谱仪对凝胶微观结构、化学... 为制备透明度高和防裂性能优良的SiO2凝胶,本文以正硅酸乙酯为硅源,乙醇和水的混合物为溶剂,采用sol-gel法制备SiO2凝胶。侧重研究了HCl和甲酰胺对生成的SiO2凝胶性能影响,利用X射线衍射仪、扫描电镜、原子能谱仪对凝胶微观结构、化学键、相结构、纯度进行测试并分析。 展开更多
关键词 sol—gel法 SiO2凝胶 光纤通信
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钛酸锶钡纳米晶及其薄膜的Sol-Gel法制备和表征
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作者 郭惠芬 《内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)》 CAS 2003年第3期242-247,共6页
用Sol-Gel法制备了钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)纳米晶,用FT-IR、XRD、TG-DTA、AFM等表征技术研究了其晶化过程.结果表明,溶胶经冰乙酸适度稀释后稳定性提高,易于制备高质量的薄膜;薄膜的晶化温度为750℃.在单晶硅基底上制备了粒径分布均... 用Sol-Gel法制备了钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)纳米晶,用FT-IR、XRD、TG-DTA、AFM等表征技术研究了其晶化过程.结果表明,溶胶经冰乙酸适度稀释后稳定性提高,易于制备高质量的薄膜;薄膜的晶化温度为750℃.在单晶硅基底上制备了粒径分布均匀、平均晶粒约为50nm的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)薄膜. 展开更多
关键词 钛酸锶钡纳米晶 钛酸锶钡薄膜 sol—gel法 制备方 结构表征 溶胶-凝胶 热分解 晶化过程
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Sol-Gel法制备Bi_4Ti_3O_(12)薄膜及其性能研究 被引量:3
15
作者 郭冬云 李美亚 +5 位作者 裴玲 于本方 吴庚柱 王耘波 杨斌 于军 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第6期683-685,共3页
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和表面形貌进行了表征,制备的BTO薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构和表面平整致密。对700℃退火的BTO... 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和表面形貌进行了表征,制备的BTO薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构和表面平整致密。对700℃退火的BTO薄膜进行了铁电性能和疲劳特性测试,在测试电压为6 V时,剩余极化值2Pr约为12.5μC/cm2,矫顽电场2Ec约为116.7 kV/cm;经1×109次极化反转后,剩余极化值下降了24%,对其疲劳机理进行了探讨。 展开更多
关键词 Bi4Ti3O12薄膜 溶胶-凝胶(sol—gel) 铁电性能 疲劳性能
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Sol-gel法制备BZT铁电薄膜及其电性能的研究 被引量:1
16
作者 印志强 《绥化学院学报》 2009年第4期176-178,共3页
Sol-gel法制备BZT铁电薄膜,用X射线衍射仪(BSX3200)和扫描电子显微镜研究了BZT的结构和表面形貌,用差热-热失重(TG-DTA)分析谱分析BZT粉体的退火工艺。测定了薄膜的电性能:薄膜不加偏压下的介电常数大约为620左右,介电损耗和调谐量分别... Sol-gel法制备BZT铁电薄膜,用X射线衍射仪(BSX3200)和扫描电子显微镜研究了BZT的结构和表面形貌,用差热-热失重(TG-DTA)分析谱分析BZT粉体的退火工艺。测定了薄膜的电性能:薄膜不加偏压下的介电常数大约为620左右,介电损耗和调谐量分别为0.0335和48.63%。 展开更多
关键词 sol—gel法 介电性能 损耗因子
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室温下Sol-Gel法制备BiFeO_3薄膜的铁电和介电性 被引量:1
17
作者 王秀章 刘红日 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第6期728-731,共4页
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在LaNiO3包覆的SiO2/Si衬底上采用不同退火工艺制备了BiFeO3薄膜。原子力显微镜研究表明,薄膜表面光滑,并由不同大小的晶粒组成。X-射线表明不同样品结晶程度不同,并根据不同的退火工艺分别呈(010)择优取向和... 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在LaNiO3包覆的SiO2/Si衬底上采用不同退火工艺制备了BiFeO3薄膜。原子力显微镜研究表明,薄膜表面光滑,并由不同大小的晶粒组成。X-射线表明不同样品结晶程度不同,并根据不同的退火工艺分别呈(010)择优取向和随机取向。2种取向的薄膜的双剩余极化强度分别为2.84μC/cm2和2.56μC/cm2。择优取向的薄膜在低频下的介电常数和介电损耗较大,且其薄膜中观察到大漏电流。并对两薄膜的导电机制用空间电荷限制的电导理论进行了分析。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(sol—gel) BIFEO3薄膜 铁电性 介电性质 漏电导
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Sol-gel法制备LaNiO_3/Bi_4Ti_3O_(12)异质薄膜及性能研究
18
作者 黄建坡 贾建峰 +1 位作者 刘永涛 胡行 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2010年第1期50-52,共3页
采用Sol-gel(溶胶-凝胶)法在Si衬底上制备LaNiO_3/Bi_4Ti_3O_(12)(LNO/BTO)叠层薄膜,并研究了不同退火温度下BTO薄膜的生长行为和铁电、介电性能。试验表明,与单晶Si直接作衬底制备的Bi_4Ti_3O_(12)薄膜相比,引入过渡层LNO降低了Bi_4Ti_... 采用Sol-gel(溶胶-凝胶)法在Si衬底上制备LaNiO_3/Bi_4Ti_3O_(12)(LNO/BTO)叠层薄膜,并研究了不同退火温度下BTO薄膜的生长行为和铁电、介电性能。试验表明,与单晶Si直接作衬底制备的Bi_4Ti_3O_(12)薄膜相比,引入过渡层LNO降低了Bi_4Ti_3O_(12)薄膜与衬底的晶格失配度,减少了热应力和外应力,缓解了薄膜龟裂的现象,而且制备出的Ag/BTO/LNO/Si异质薄膜电容具有优良的介电性质。 展开更多
关键词 Bi4Ti3O12薄膜sol—gel法铁电性能
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快速热处理中退火温度对Sol-gel法制备PZT铁电薄膜性能的影响
19
作者 胡绍璐 赵海臣 +2 位作者 李林华 任丽 邓朝勇 《信息通信》 2014年第3期16-18,共3页
利用Sol-Gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜,主要研究了在退火时间为500s时退火温度对薄膜的结晶结构、表面形貌和铁电性能的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫... 利用Sol-Gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜,主要研究了在退火时间为500s时退火温度对薄膜的结晶结构、表面形貌和铁电性能的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和铁电测试仪对制备的薄膜进行了性能表征。研究结果表明,当退火温度为6000C时,PZT薄膜具有(111)择优取向,表面致密无裂纹,且具有较好的铁电性能(其饱和极化值约为30 C/cm2,剩余极化约为20 C/cm2,矫顽场约为150KV/cm)。在100KV/cm电场下,电流密度J在10-1A/cm2数量级,表明所制的PZT纳米薄膜质量较好,能承受较高的场强以达到饱和极化状态而不被击穿。 展开更多
关键词 退火温度 快速热处理(RTP) sol—gel法 铁电性能
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Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术 被引量:5
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作者 陈祝 杨邦朝 +1 位作者 杨成韬 张树人 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期417-419,422,共4页
 采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜。研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PTSandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性...  采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜。研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PTSandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响。 展开更多
关键词 PZT sol—gel法 前驱单体 铁电薄膜
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