锑化铟锭条的全自动霍耳效应测试系统

为了解决InSb锭条霍耳效应的测试任务‘研制出一套微机控制的全自动测试系统,可对各种截面形状的半导体锭条进行无破坏性的霍耳效应测量。本系统包括一台HP-85型计算机和705型扫描器、220型恒流源以及195型数字多用表,一个自制的多功能测试单元。本文叙述了系统的测量原理,分析了系统中各部分仪器和机构的连接配合控制及其具有的功能,介绍了抗干扰问题的解决方法并进行了误差分析。进行了大量的室温下的测量,并与本征理论值比较,证明系统的测量精度与误差分析是相一致的。此系统大大提高了InSb锭条的测量速度和精度,是研究InSb材料(包括其他半导体材料)十分有用的工具。