化学镀铜沉积层内应力研究

文章简要介绍了三种镀层内应力测试方法,并利用螺旋应力仪研究了不同化学镀铜液所得铜沉积层的内应力,分析了常用化学镀铜液添加剂氰化物、联吡啶、2-巯基苯并噻唑(2-MBT)、镍离子等对镀层内应力的影响,以及添加剂在镀液中的含量及沉铜反应温度对沉积层内应力的影响。通过对内应力和铜沉积速率的分析,发现二者存在着一定的关联。