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Structural and electrical properties of SrTiO3 thin films as insulator of metal-ferroelectric-insulator-semiconductor (MFIS) structures 被引量:1
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作者 马建华 孟祥建 +4 位作者 林铁 刘世建 张晓东 孙璟兰 褚君浩 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第11期2352-2359,共8页
SrTiOs (STO) thin films were deposited on p-Si(100) substrates at various substrate temperatures from 300℃ to 700℃ by radio frequency (RF) magnetron sputtering technique. Their structure and electrical propert... SrTiOs (STO) thin films were deposited on p-Si(100) substrates at various substrate temperatures from 300℃ to 700℃ by radio frequency (RF) magnetron sputtering technique. Their structure and electrical properties were investigated. It was found that the transition from amorphous phase to polycrystalline phase occurred at the substrate temperatures 300-400℃. Their crystallinity became better when the substrate temperatures further increased. The dielectric and leakage current measurements were carried out by using the Si/STO/Pt metal-insulator-semiconductor (MIS) structures at room temperature. It was found that the fixed charge density decreased and both the interface trap density and the dielectric constant increased when the substrate temperatures were increased. The leakage current mechanisms for STO MIS structures with STO films prepared at 700℃ followed the space charge limited current (SCLC) under the low applied electric field and the Poole-Frenkel emission under the high one. In addition, the resistivity for films prepared at 700℃ was higher than 10^11Ω.cm under the voltage lower than 10V (corresponding to the electric field of 1.54×10^3kV.cm^-1). It suggested that the STO films prepared at 700℃ were suitable for acting as the insulator of metal-ferroelectric-insulator-semiconductor (MFIS) structures. 展开更多
关键词 substrate temperatures RF magneiron sputtering electrical properties srtio3 thin films
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Reversible alternation between bipolar and unipolar resistive switching in La-SrTiO_3 thin films
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作者 许定林 熊颖 +3 位作者 唐明华 曾柏文 肖永光 王子平 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期557-561,共5页
The alternation from bipolar to unipolar resistive switching is observed in perovskite La0.01Sr0.99TiO3 thin films. These two switching modes can be activated separately depending on the compliance current (Icomp) d... The alternation from bipolar to unipolar resistive switching is observed in perovskite La0.01Sr0.99TiO3 thin films. These two switching modes can be activated separately depending on the compliance current (Icomp) during the electroforming process: with a higher Icomp (5 mA) the unipolar resistance switching behavior is measured, while the bipolar resistance switching behavior is observed with a lower Icomp (1 mA). On the basis of I–V characteristics, the switching mechanisms for the URS and BRS modes are considered as being a change in the Schottky-like barrier height and/or width at the Pt/La-SrTiO3 interface and the formation and disruption of conduction filaments, respectively. 展开更多
关键词 unipolar and bipolar resistive switching La-doped srtio3 thin film
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Preparation and Characterization of SrTiO_3 Thin Film on Functional Organic Self-Assembled Monolayers 被引量:1
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作者 刘剑 苗鸿雁 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2010年第3期365-369,共5页
SrTiO3 thin film was successfully prepared on the functionalized organic self-assembled monolayers(SAMs) by the Liquid Phase Deposition(LPD) method.The as-prepared samples were characterized by X-ray diffraction(... SrTiO3 thin film was successfully prepared on the functionalized organic self-assembled monolayers(SAMs) by the Liquid Phase Deposition(LPD) method.The as-prepared samples were characterized by X-ray diffraction(XRD),atomic force microscope(AFM),scanning electron microscopy(SEM) and metallographic microscope.Measurement of contact angle showed that the hydrophobe substrate was changed into hydrophile by UV irradiation.AFM photographs of octadecyl-trichloro-silane self-assembled monolayer(OTS-SAM) surface approved that UV irradiation did change the morphology of OTS monolayer and provided evidence for the conversion of hydrophilic characteristic.Photographs of Metallographic Microscope showed that OTS-SAM had an active effect on the deposition of SrTiO3 thin film.XRD and SEM indicated that the thin film was of pure cubic phase SrTiO3 and composed of nanosized grains with a size in the range of 100-500 nm.The formation mechanism of the SrTiO3 film was proposed. 展开更多
关键词 self-assembled monolayers srtio3 thin film formation mechanism
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利用光声技术研究SrTiO3薄膜的热扩散率 被引量:1
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作者 郭文娟 袁萍 +1 位作者 张硕 陶文婷 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期739-742,共4页
利用背激发检测光声技术测量了8个不同厚度SrTiO3薄膜的热扩散率,研究光声信号的幅值、相位及薄膜热扩散率随膜厚的变化规律发现,随着薄膜厚度的增大,光声信号的幅值和相位均逐渐减小;薄膜的热扩散率随着厚度的增加先增大后减小,在一定... 利用背激发检测光声技术测量了8个不同厚度SrTiO3薄膜的热扩散率,研究光声信号的幅值、相位及薄膜热扩散率随膜厚的变化规律发现,随着薄膜厚度的增大,光声信号的幅值和相位均逐渐减小;薄膜的热扩散率随着厚度的增加先增大后减小,在一定厚度下,热扩散率达到最大。厚度不变时,光声信号幅值、相位及薄膜热扩散率与入射光调制频率的相关性研究表明,光声信号幅值与相位随频率的增大呈非线性减小,但薄膜热扩散率的测量值在不同的调制频率下较稳定。 展开更多
关键词 光声技术 位相 厚度 srtio3薄膜 热扩散率
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应变增强Nb掺杂SrTiO_(3)薄膜热电性能
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作者 马云鹏 庄华鹭 +1 位作者 李敬锋 李千 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期144-150,共7页
高性能热电材料的发展有望帮助解决未来能源危机,且随着可穿戴器件的发展与应用,热电材料和器件除了要具备更高的热-电转化性能以外,还必须具有良好的柔性.将热电材料制成薄膜既可以为微型器件供电,也有潜力应用于柔性器件.本文使用脉... 高性能热电材料的发展有望帮助解决未来能源危机,且随着可穿戴器件的发展与应用,热电材料和器件除了要具备更高的热-电转化性能以外,还必须具有良好的柔性.将热电材料制成薄膜既可以为微型器件供电,也有潜力应用于柔性器件.本文使用脉冲激光沉积方法,在商用SrTiO_(3)(STO)和La_(0.3)Sr_(0.7)Al_(0.65)Ta_(0.35)O_(3)(LSAT)衬底上制备得到了不同厚度的高质量铌掺杂钛酸锶薄膜(Nb:STO),并对薄膜的表面形貌、结构以及热电性能进行表征与测试.结果显示,使用LSAT作为衬底可以对薄膜施加面内压应变,随着薄膜厚度的增大,应变逐渐释放并接近于块体Nb:STO.随着厚度的增大,薄膜的热电性能逐渐提升,在STO衬底上生长的208 nm厚样品的室温功率因子相比于52 nm样品提升了187%.此外, 144 nm厚度的Nb:STO/LSAT薄膜室温塞贝克系数达到了265.95 μV/K,这是由于衬底应变导致薄膜样品的能带变化.本工作表明通过应变工程调控铌掺杂钛酸锶薄膜热电性能的可行性,为后续提高此类薄膜材料的热电性能提供了一种新思路. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 热电 钛酸锶 薄膜
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SrTiO_3薄膜制备技术研究进展 被引量:3
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作者 刘剑 郝斌 +2 位作者 董秀珍 李悦 王伟志 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1185-1189,共5页
拥有众多优良性能的SrTiO3薄膜已经受到了人们的广泛关注。本文首先对SrTiO3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对SrTiO3薄膜的制备及器件研究领域进... 拥有众多优良性能的SrTiO3薄膜已经受到了人们的广泛关注。本文首先对SrTiO3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对SrTiO3薄膜的制备及器件研究领域进行了展望。 展开更多
关键词 srtio3薄膜 制备 进展
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溶胶-凝胶工艺制备SrTiO_3纳米薄膜的研究 被引量:4
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作者 刘超 李建平 曾一平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期18-21,共4页
采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析... 采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20~30nm,折射率1.75~1.85,晶粒度35~60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4~3.8 nm,晶粒形貌呈类圆锥形态. 展开更多
关键词 srtio3薄膜 溶胶-凝胶工艺 纳米薄膜
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钛酸锶薄膜的液相自组装制备与表征 被引量:1
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作者 刘剑 苗鸿雁 +1 位作者 谈国强 贺中亮 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期243-245,共3页
采用自组装单层膜技术在玻璃基板上成功制备了钛酸锶薄膜,利用接触角仪对前期处理后的基片润湿角进行表征,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)等手段表征了薄膜的物相和微观结构。实验结果表明:采用自组装单层膜技术制备的钛酸锶薄膜结... 采用自组装单层膜技术在玻璃基板上成功制备了钛酸锶薄膜,利用接触角仪对前期处理后的基片润湿角进行表征,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)等手段表征了薄膜的物相和微观结构。实验结果表明:采用自组装单层膜技术制备的钛酸锶薄膜结晶良好,样品表面均匀,颗粒尺寸大约在300nm~500nm之间。 展开更多
关键词 自组装单层膜 钛酸锶 薄膜
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LaAlO_3/BaTiO_3/SrTiO_3三色超晶格的RHEED原位监测 被引量:5
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作者 秦文峰 熊杰 +4 位作者 朱俊 唐金龙 张鹰 罗文博 李言荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期508-511,共4页
采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的STO单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格。在超晶格薄膜生长过程中采用反射高能电子衍射(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格的生长过程进行了分析。通过对超晶格中各层RHEE... 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的STO单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格。在超晶格薄膜生长过程中采用反射高能电子衍射(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格的生长过程进行了分析。通过对超晶格中各层RHEED图像分析,发现由于各层面内晶格失配的不同,超晶格各层生长特性有所区别。借助原子力显微镜(AFM)对超晶格表面形貌进行了表征,表明制备的超晶格具有原子级平整的表面。 展开更多
关键词 薄膜 LAO/BTO/STO三色超晶格 反射高能电子衍射
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螯合剂在氧敏传感器钛酸锶薄膜制备中的应用 被引量:1
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作者 杨莉 赵莉 林晓 《山东建筑大学学报》 2007年第1期17-20,共4页
采用溶胶—凝胶法制备SrTiO3薄膜,制备稳定的溶胶要求有适合的浓度和粘度,而且为有效控制膜厚及性能的重复性,溶胶必须长期稳定,采用螯合剂螯合来控制溶胶,使溶胶稳定。首次对溶胶凝胶法中两种不同螯合剂柠檬酸和乙酰丙酮的螯和作用机... 采用溶胶—凝胶法制备SrTiO3薄膜,制备稳定的溶胶要求有适合的浓度和粘度,而且为有效控制膜厚及性能的重复性,溶胶必须长期稳定,采用螯合剂螯合来控制溶胶,使溶胶稳定。首次对溶胶凝胶法中两种不同螯合剂柠檬酸和乙酰丙酮的螯和作用机理进行详细讨论,通过红外光谱、X射线衍射以及扫描电镜分析比较,采用乙酰丙酮为螯合剂制备得到的钛酸锶薄膜氧敏响应性高。 展开更多
关键词 钛酸锶薄膜 螯合剂 氧敏性能
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非晶态SrTiO_3薄膜的快速晶化处理
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作者 刘翠华 刘贤珍 付永 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期26-29,共4页
在Si(111)基片上采用脉冲激光沉积(PLD)方法,烘烤温度300℃,制备得到非晶态SrTiO3薄膜。采用快速晶化处理,将非晶态SrTiO3薄膜在不同温度、不同晶化处理时间下进行了晶化处理,采用GIXRD和AFM分析检验晶化的效果和表面形貌。结果表明,SrT... 在Si(111)基片上采用脉冲激光沉积(PLD)方法,烘烤温度300℃,制备得到非晶态SrTiO3薄膜。采用快速晶化处理,将非晶态SrTiO3薄膜在不同温度、不同晶化处理时间下进行了晶化处理,采用GIXRD和AFM分析检验晶化的效果和表面形貌。结果表明,SrTiO3晶化程度强烈依赖处理温度,处理温度越高,晶化程度越高;在同一温度下,增加处理时间有助于提高晶化效果,并获得致密、表面平整、均匀的SrTiO3晶态薄膜;晶粒大小不随晶化处理时间明显变化。在快速晶化处理过程中,非晶态SrTiO3薄膜在极短时间内达到晶化温度,并形成大量晶核,从而使晶粒生长受到限制,有利于获得更好的晶化效果。 展开更多
关键词 晶化 快速晶化处理 结构特征 srtio3薄膜
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基片对SrTiO_3薄膜结构与介电性能的影响
12
作者 何世明 李言荣 刘兴钊 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期36-38,共3页
对比研究了MgO和LaAlO3(LAO)单晶基片上采用脉冲激光法生长的SrTiO3(STO)薄膜的微观结构和介电性能。通过XRD,AFM和制备叉指电容测量的方法研究发现,在MgO基片上生长高质量(00L)织构STO薄膜需要较高的生长温度;LAO基片上的STO薄膜更加平... 对比研究了MgO和LaAlO3(LAO)单晶基片上采用脉冲激光法生长的SrTiO3(STO)薄膜的微观结构和介电性能。通过XRD,AFM和制备叉指电容测量的方法研究发现,在MgO基片上生长高质量(00L)织构STO薄膜需要较高的生长温度;LAO基片上的STO薄膜更加平整;而MgO上的STO薄膜具有更高的零偏压介电常数和更强的非线性介电性质。 展开更多
关键词 无机非金属材料 srtio3薄膜 基片 微观结构 介电性能
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电泳沉积法制备SrTiO_3薄膜电极的工艺研究
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作者 赵群 刘菲 +2 位作者 卢琳 李智敏 黄伟 《实验科学与技术》 2018年第2期37-41,共5页
纳米SrTiO_3具有很广泛的用途,其电泳沉积工艺低成本、易操作,可广泛应用于实验室研究。该文从粉体浓度、碘浓度、沉积电压、沉积时间共4个方面对电泳沉积工艺进行了讨论,得出在电压5 V、SrTiO_3浓度3.5%、碘浓度1.0 mg/m L、600 s条件... 纳米SrTiO_3具有很广泛的用途,其电泳沉积工艺低成本、易操作,可广泛应用于实验室研究。该文从粉体浓度、碘浓度、沉积电压、沉积时间共4个方面对电泳沉积工艺进行了讨论,得出在电压5 V、SrTiO_3浓度3.5%、碘浓度1.0 mg/m L、600 s条件下沉积的薄膜电极较好,表面均匀,膜厚约为70μm。该实验可作为专业基础实验面向材料、化学专业的本科生、硕士生开放。 展开更多
关键词 电泳沉积 SrTi03薄膜 纳米材料 电化学
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The third-order optical nonlinearity of the stainless steel doped SrTiO_3 thin film grown by L-MBE
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作者 刘丽峰 费义艳 +3 位作者 郭海中 相文峰 吕惠宾 陈正豪 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第3期165-167,共3页
Stainless steel-doped SrTiO3 thin films were fabricated by laser molecular beam epitaxy (L-MBE). Nonlinear optical property of the thin film was measured by the single beam Z-scan technique at the wavelength of 532 nm... Stainless steel-doped SrTiO3 thin films were fabricated by laser molecular beam epitaxy (L-MBE). Nonlinear optical property of the thin film was measured by the single beam Z-scan technique at the wavelength of 532 nm. Two two-phonon absorption coefficient and nonlinear refractive index were determined to be 9.37 x 10-7 m/W and 1.55 x 10-6 esu, respectively. The merit figure T was calculated to be 1.8, satisfying condition T < 1 for an optical switch. The thin film has a very promising prospect for the applications in optical device. 展开更多
关键词 of it on for be The third-order optical nonlinearity of the stainless steel doped srtio3 thin film grown by L-MBE by that RHEED
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SrTiO_3熔化过程的分子动力学模拟
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作者 李庆刚 张勤勇 +1 位作者 金应荣 付永 《西华大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第6期95-97,共3页
对SrTiO3在2×1014k/s快速升温时的微观结构及其转变过程进行了等温等压分子动力学模拟。模拟表明:SrTiO3在温度为2 500 K时,能量、体积都同时出现了突变;并且由径向分布函数、离子运动图片表明2 500K时SrTiO3开始熔化。模拟得到的S... 对SrTiO3在2×1014k/s快速升温时的微观结构及其转变过程进行了等温等压分子动力学模拟。模拟表明:SrTiO3在温度为2 500 K时,能量、体积都同时出现了突变;并且由径向分布函数、离子运动图片表明2 500K时SrTiO3开始熔化。模拟得到的SrTiO3熔点数值与实验值基本吻合。 展开更多
关键词 srtio3 Morse两体势 分子动力学模拟
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Bias polarity-dependent unipolar switching behavior in NiO/SrTiO_3 stacked layer
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作者 Xian-Wen Sun Cai-Hong Jia +2 位作者 Xian-Sheng Liu Guo-Qiang Li Wei-Feng Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期420-425,共6页
The identification of the switching location has been a key technology to tune the physical properties of unipolar resistive switching(RS) cells.Here we report the RS properties of Au/Ni O/Sr Ti O3(STO)/Pt memory ... The identification of the switching location has been a key technology to tune the physical properties of unipolar resistive switching(RS) cells.Here we report the RS properties of Au/Ni O/Sr Ti O3(STO)/Pt memory cells.The switching repeatability is closely related to the applied bias polarity,which is different from the scenario of the Au/STO/Pt cells reported in our previous researches.The high resistance in positive bias is greater than that in negative bias.The R(T)–R0I^2 R(T) plot of the on-state I–V curve shows a regular shape only with a slight bend and an abnormal shape with an abrupt increase and decrease under negative and positive bias,respectively.These comparative experimental results reveal that the conductance filament consisting of oxygen vacancies grows from the cathode to the anode.The spatial RS location is identified with the weaker part along the conductance filament length direction,which should be near the Ni O/STO interface and STO/Pt interface under positive and negative bias,respectively. 展开更多
关键词 srtio3 thin film unipolar resistive switching oxygen vacancies
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浓HNO_3修饰基板液相沉积制备SrTiO_3薄膜
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作者 刘剑 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期227-230,共4页
采用液相沉积技术,以氟钛酸铵、硼酸和硝酸锶为原料,在前驱液pH=3.5、沉积温度60℃,沉积时间6 h条件下成功制备了SrTiO_3薄膜。采用接触角测试仪对浓HNO_3修饰的玻璃基板进行亲水性测定采用X射线衍射仪技术和扫描电镜表征薄膜相组成和... 采用液相沉积技术,以氟钛酸铵、硼酸和硝酸锶为原料,在前驱液pH=3.5、沉积温度60℃,沉积时间6 h条件下成功制备了SrTiO_3薄膜。采用接触角测试仪对浓HNO_3修饰的玻璃基板进行亲水性测定采用X射线衍射仪技术和扫描电镜表征薄膜相组成和微观形貌。研究结果表明:浓HNO_3修饰30 min,后玻璃基板接触角下降到10.404°,沉积制备的SrTiO_3薄膜结晶良好且纯度较高在基板表面以纤维簇状模式生长。文章同时探讨了SrTiO_3薄膜生长机理。 展开更多
关键词 基板修饰 液相沉积 srtio3薄膜
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Mg^(2+)掺杂对SrTiO_3薄膜光电特性的影响 被引量:1
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作者 刘雪婷 何崇斌 +1 位作者 薛异荣 焦龙龙 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第B06期105-107,共3页
利用溶胶-凝胶法在Al2O3陶瓷片上制备掺Mg的SrTiO3薄膜。在SrTiO3中掺杂不同含量的Mg离子,Mg在钛酸锶中取代钛位,形成受主掺杂。研究了掺杂对薄膜电阻率的影响,实验表明,当掺杂浓度为4%时,电阻率最小。当掺杂浓度为4%时,薄膜电阻率会随... 利用溶胶-凝胶法在Al2O3陶瓷片上制备掺Mg的SrTiO3薄膜。在SrTiO3中掺杂不同含量的Mg离子,Mg在钛酸锶中取代钛位,形成受主掺杂。研究了掺杂对薄膜电阻率的影响,实验表明,当掺杂浓度为4%时,电阻率最小。当掺杂浓度为4%时,薄膜电阻率会随着光功率变化而变化,当光功率<100W时,电阻迅速减小,超过100W时,减小幅度变小。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 srtio3薄膜 Mg掺杂 电阻率
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Au/STO/Pt三明治结构阻变存储器性质研究 被引量:2
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作者 史自鸿 孙献文 +1 位作者 丁玲红 张伟风 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期25-28,共4页
采用脉冲激光沉积法(PLD)在Pt衬底(Pt/TiO2/SiO2/Si)上制备了SrTiO3(STO)薄膜,并对其表面特性,表面组成和结构进行了研究分析。在此基础上制备了具有三明治结构的Au/STO/Pt阻变器件,并测试了其I-V特性。结果显示:空间电荷限制电流(SCLC... 采用脉冲激光沉积法(PLD)在Pt衬底(Pt/TiO2/SiO2/Si)上制备了SrTiO3(STO)薄膜,并对其表面特性,表面组成和结构进行了研究分析。在此基础上制备了具有三明治结构的Au/STO/Pt阻变器件,并测试了其I-V特性。结果显示:空间电荷限制电流(SCLC)机制对SrTiO3薄膜中氧空位的运输起了决定作用;薄膜界面缺陷对载流子的俘获与去俘获导致了SrTiO3薄膜I-V特性的产生。 展开更多
关键词 srtio3(STO)薄膜 双极性电阻开关 氧空位
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交流测试信号振幅对SrTiO_3薄膜介电性能的影响
20
作者 段滨 刘兴钊 +1 位作者 何世明 李言荣 《微纳电子技术》 CAS 2005年第10期481-483,共3页
研究了交流测试信号振幅对SrTiO3薄膜介电性质的影响,并比较研究了不同氧空位浓度的SrTiO3薄膜介电性质随测试信号振幅的变化规律。经研究发现,测试信号振幅对高氧空位浓度钛酸锶薄膜的相对介电常数有明显影响,而对低氧空位浓度钛酸锶... 研究了交流测试信号振幅对SrTiO3薄膜介电性质的影响,并比较研究了不同氧空位浓度的SrTiO3薄膜介电性质随测试信号振幅的变化规律。经研究发现,测试信号振幅对高氧空位浓度钛酸锶薄膜的相对介电常数有明显影响,而对低氧空位浓度钛酸锶薄膜的相对介电常数影响较小。运用薄膜极化响应机理对这一实验现象进行了解释。 展开更多
关键词 钛酸锶薄膜 氧空位 介电性能 极化
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