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MOD法在种子层/Ni-W上制备La_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3薄膜的研究
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作者 罗清威 王雪 +3 位作者 李凤华 冉阿倩 李英楠 樊占国 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期40-42,46,共4页
采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向... 采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响,结果显示,在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现。 展开更多
关键词 srtio3种子层 La0.4Sr0.6TiO3缓冲层 热处理 取向
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