超薄栅介质膜生长前硅表面处理的研究

在超薄栅介质膜的制备技术中，膜生成前，用稀ＨＦ酸进行表面处理，能使生成的超薄膜均匀性、完整性提高，从而使膜的击穿、漏电得到改善。

结合IQGA和最佳一致逼近优化设计的双阻带UWB天线

在超宽带天线设计中采用一种快速有效的优化方法.该方法将改进的量子遗传算法与基于矩量法的体面积分方程相结合,利用最佳一致逼近快速分析天线的宽频带特性,得到优化函数的适应度值.用该方法设计一副具有3～4 GHz和5～6 GHz双阻带特性的UWB天线并制成实物,将实测电压驻波比与优化结果进行比较,两者较为吻合,说明该方法是正确的、有效的.