Study on the Phase Behavior of Supercritical CO2/Dynol-604/Water System and Solubilization of Methyl Orange in the Microemulsions

It was found that Dynol-604, a non-fluorous and no silicon-containing nonionic surfactant, was soluble in supercritical (SC) CO2. The phase behavior of SC CO2/Dynol-604/water system was studied. The results showed that one-phase water-in-CO2 microemulsions could be formed. The solubilization of methyl orange in the microemulsions proved further the existence of water domain in the microemulsions.

超临界二氧化碳介质中晶圆清洗与选择性刻蚀研究进展

随着集成电路特征尺寸的逐渐减小,器件结构会要求更高的纵横比,常规湿法清洗由于表面张力很难进入晶圆深沟槽结构内部,不能满足更细线条工艺要求和高深宽比结构,直接影响沟槽内的污染物去除效果;常规湿法刻蚀各向异性差、结构坍塌严重、深沟槽刻蚀效果不明显;而等离子体干法刻蚀则存在刻蚀速率慢、光刻胶脱落和黏附、结构损伤、废气处理等一系列问题。超临界清洗和刻蚀技术是最具有前景的环境友好、无损伤技术,能够耦合刻蚀、清洗与干燥工艺为一体,且可以循环使用,安全环保,是晶圆制造过程中常规清洗和刻蚀的首选替代技术。综述了超临界二氧化碳中晶圆清洗与选择性刻蚀的研究进展,重点介绍了超临界二氧化碳共溶剂、微乳液体系在光刻胶剥离以及含硅基底选择性蚀刻中的应用,展望了超临界二氧化碳晶圆清洗和刻蚀存在的问题和发展趋势。

超临界CO_2微乳液体系的浊点压力研究

由超临界CO2、水、表面活性剂二-(2-乙基己基)磺基琥珀酸钠(AOT)和助表面活性剂乙醇在一定温度和压力下形成超临界CO2微乳液。采用容积可变的高压可视相态釜,考察了温度、水含量和AOT含量对超临界CO2微乳液体系浊点压力的影响。实验结果表明,低水含量(水含量不高于1.210%(w))时,超临界CO2微乳液体系的浊点压力随温度的升高而增加;高水含量(水含量为1.620%(w))时,超临界CO2微乳液体系的浊点压力随温度的升高而降低。随AOT含量的增加,超临界CO2微乳液体系的浊点压力先降低后升高。不同温度下,AOT含量与超临界CO2微乳液体系浊点压力的变化关系相一致。

超临界CO_2微乳体系及其应用

论述了超临界CO2微乳体系的基本原理,重点对表面活性剂在超临界CO2中形成微乳的机制进行了总结。同时介绍了超临界CO2微乳体系在金属离子萃取、生物活性分子的提取、化学反应、合成纳米材料及染色等方面的应用,并展望了该技术的发展趋势。

反胶团在超临界二氧化碳体系中的研究进展

超临界二氧化碳是一种环境友好型溶剂, 它作为有机溶剂的替代品已成功的应用于绿色化学过程的开发。但超临界二氧化碳对极性物质的溶解度小, 甚至不能溶解, 反胶团的引入为这一问题的解决提供了新的手段。本文阐述了超临界二氧化碳反胶团的基本原理, 研究了表面活性剂的选择和设计, 讨论了反胶团对水的溶解能力、助表面活性剂以及压力对超临界二氧化碳反胶团性质的影响, 最后总结了超临界二氧化碳反胶团在萃取、有机反应及纳米微粒合成等领域的应用。

气体对阴离子表活剂压裂液破胶实验研究(英文)

阴离子表活剂压裂液是新型清洁压裂液,原油和地层水对其破胶机理与实验研究已相当充分,但气体对其破胶作用至今研究很少。为解决阴离子表活剂压裂液在压裂应用中的障碍,研究采用一套实用的实验流程,评价了天然气、氮气、二氧化碳三种常见气体对阴离子表活剂压裂液的影响。实验证明,三种不同的气体对阴离子表活剂压裂液的降粘幅度存在较大的差别,其中,二氧化碳气体对阴离子清洁压裂液降粘幅度最大,可使交联液体彻底破胶,天然气对阴离子型表活剂压裂液降粘幅度较小,氮气对阴离子压裂液的粘度几乎没有影响,氮气和天然气可以使液体泡沫化,从而有利于返排。实验结果为优化压裂设计提供了依据,可有效提高现场压裂施工成功率。

超临界二氧化碳微乳液的性质与应用研究

超临界二氧化碳(scCO_(2))微乳液是在超临界流体基础上新发展的一种分散体系,近些年吸引了学者的广泛研究。为推动这项研究工作不断前进,本文综述了近年来该领域的研究进展,重点对超临界二氧化碳微乳液胶束形状的研究、二氧化碳包离子液体微乳液的相关研究以及超临界二氧化碳微乳液在多领域的应用进行了讨论。并且对小角X射线散射和小角中子散射等测试方法在微乳液结构特性方面的应用进行了相关描述,最后对超临界二氧化碳微乳液的未来的研究方向做出了展望,提出了其在材料制备、微反应器以及分离提纯等方面的广泛应用前景。

阴-非表面活性剂参与形成的超临界二氧化碳微乳液体系相行为

利用超临界二氧化碳相行为评价装置,研究了超临界二氧化碳/水/表面活性剂/乙醇微乳液体系的相行为,考察了表面活性剂的结构、表面活性剂的含量、水的含量、体系的温度和表面活性剂的复配对微乳液体系浊点压力和密度的影响。结果表明:微乳液体系的浊点压力分别随着水含量的增加,表面活性剂含量的增加和温度的升高而增加;体系的浊点压力越高,密度越大。不同结构的表面活性剂中,AES-2和AEC-3的浊点压力最低分别能达到13.8和13.1 MPa,要高于AOT的10.8MPa。但将表面活性剂AEC-3和AOT按质量比1∶1复配时体系的浊点压力最低可达到8.6 MPa,密度为0.58 g·cm-3。研究可为超临界二氧化碳微乳液在提高稠油采收率方面的应用提供基础数据。

超临界二氧化碳介质中纳米颗粒合成研究进展

在超临界流体介质中制备纳米颗粒是一项纳米颗粒合成的新技术。介绍了超临界流体的特性，综述了超临界流体快速膨胀、超临界流体抗溶剂、超临界流体干燥、超临界流体微乳液、超临界二氧化碳制动沉降法等技术的原理、影响因素、应用研究及发展前景。利用超临界流体较好的溶解、扩散和传质能力，可制备出性能优异的纳米颗粒。

超临界二氧化碳微乳液中的表面活性剂

介绍了在超临界二氧化碳(SC-CO_2)下形成微乳液的原理和概念,并且按照所应用各种表面活性剂的结构特点对其在SC-CO_2下形成微乳液的能力分别进行比较和归纳,为今后筛选和设计在SC-CO_2下形成微乳液的表面活性剂提供了重要信息。

芎归散超临界CO_2萃取物纳米结构脂质载体的制备

目的:研究芎归散超临界CO_2萃取物纳米结构脂质载体的制备。方法:采用微乳超声分散法制备芎归散超临界CO_2萃取物纳米结构脂质载体混悬液,以总苯酞的含量作为工艺研究中包封率的评价指标,以包封率为考察指标,采用正交试验筛选最佳处方,并考察其物理化学性质。结果:最佳处方为大豆卵磷脂-硬脂酸聚氢氧酯S-40-脂质载体(5:2:1),包封率为86.8%,所得纳米粒为类球形实体粒子,平均粒径92.6 nm,平均zeta电位-20.68 mV。结论:芎归散超临界CO_2萃取物纳米结构脂质载体的制备工艺基本可行。