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质子在硅中能量损失的体密度效应的研究
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作者 马忠权 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第10期587-592,共6页
用能损的二分量理论详细讨论了快速荷电粒子(H+)在同素异形态Si薄膜中的能量沉积过程.在Bethe-Bloch公式中引入了一个能损修正因子η(E,p)<1.由入射粒子在固体中产生传导电子的集体激发(等离子体)和附有修... 用能损的二分量理论详细讨论了快速荷电粒子(H+)在同素异形态Si薄膜中的能量沉积过程.在Bethe-Bloch公式中引入了一个能损修正因子η(E,p)<1.由入射粒子在固体中产生传导电子的集体激发(等离子体)和附有修正因子η(E,P)的内壳层电子单体电离-激发之和解释能损的同素异形态效应的实验结果,通过对实验数据的拟合,求得η(E,P). 展开更多
关键词 快离子束 体密度效应 硅薄膜 能量沉积
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