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质子在硅中能量损失的体密度效应的研究
1
作者
马忠权
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第10期587-592,共6页
用能损的二分量理论详细讨论了快速荷电粒子(H+)在同素异形态Si薄膜中的能量沉积过程.在Bethe-Bloch公式中引入了一个能损修正因子η(E,p)<1.由入射粒子在固体中产生传导电子的集体激发(等离子体)和附有修...
用能损的二分量理论详细讨论了快速荷电粒子(H+)在同素异形态Si薄膜中的能量沉积过程.在Bethe-Bloch公式中引入了一个能损修正因子η(E,p)<1.由入射粒子在固体中产生传导电子的集体激发(等离子体)和附有修正因子η(E,P)的内壳层电子单体电离-激发之和解释能损的同素异形态效应的实验结果,通过对实验数据的拟合,求得η(E,P).
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关键词
快离子束
体密度效应
硅薄膜
能量沉积
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职称材料
题名
质子在硅中能量损失的体密度效应的研究
1
作者
马忠权
机构
中国科学院新疆物理研究所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第10期587-592,共6页
文摘
用能损的二分量理论详细讨论了快速荷电粒子(H+)在同素异形态Si薄膜中的能量沉积过程.在Bethe-Bloch公式中引入了一个能损修正因子η(E,p)<1.由入射粒子在固体中产生传导电子的集体激发(等离子体)和附有修正因子η(E,P)的内壳层电子单体电离-激发之和解释能损的同素异形态效应的实验结果,通过对实验数据的拟合,求得η(E,P).
关键词
快离子束
体密度效应
硅薄膜
能量沉积
Keywords
swift proton
Mass density effect
Two component theory
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
质子在硅中能量损失的体密度效应的研究
马忠权
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995
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