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同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究 被引量:1
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作者 程曙初 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第4期69-78,共10页
综述了该领域的研究现状,发展水平,以及同步辐射光学元件的特点;对超光滑表面的加工工艺及检测技术进行了归纳总结;详细阐述了本人所承担的中国科学院高能物理所同步辐射光束线的关键部件一超环面反射镜的加工与检测的研究。用户反... 综述了该领域的研究现状,发展水平,以及同步辐射光学元件的特点;对超光滑表面的加工工艺及检测技术进行了归纳总结;详细阐述了本人所承担的中国科学院高能物理所同步辐射光束线的关键部件一超环面反射镜的加工与检测的研究。用户反馈的信息表明其性能优于美国生产的同类产品,标志着在该领域,我们已接近或达到国外先近水平。 展开更多
关键词 同步辐射 超光滑表面 超环面 光学元件 反射镜
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