面向芯片封装的冗余驱动T型XY运动系统的研制

面向芯片封装设备对高速高精度的需求,提出了一种多直线电机冗余驱动的T型XY运动系统。T型XY工作台以单直线电机作为Y轴动力源,双直线电机作为X轴动力源,并配以高分辨率、高精度的位置检测元件和控制系统,共同组成T型运动系统。叠加式的机械结构设计使得工作台尺寸小、质量轻、刚度高;多电机的冗余驱动为系统提供了更大推力以提高设备的加速度。通过扫频试验,建立了系统的实验模型,在实验模型基础上设计了控制器并进行了实验研究。该运动系统目前实现了最大速度0.65m/s,最大加速度9.25g,及微米级定位精度的性能指标,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求。