现场供气设备——TCN640制氮机介绍

本文对安装于深圳赛意法微电子有限公司的TCN640制氮机进行简介。该设备由AIR LIQUIDE JAPAN Ltd．(日本液空公司)总体设计、制造，国内技术人员消化改进工艺，具有设备配置先进，安装简单，安全高效，能耗低等优点，其产品氮气的纯度已超过了高纯氮的技术指标。